В портфеле редакции
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52978 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 58. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52978 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-529782014-01-15T03:09:25Z В портфеле редакции Библиография 2006 Article В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 58. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52978 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Библиография Библиография |
| spellingShingle |
Библиография Библиография В портфеле редакции Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| format |
Article |
| title |
В портфеле редакции |
| title_short |
В портфеле редакции |
| title_full |
В портфеле редакции |
| title_fullStr |
В портфеле редакции |
| title_full_unstemmed |
В портфеле редакции |
| title_sort |
в портфеле редакции |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Библиография |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52978 |
| citation_txt |
В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 58. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2025-07-05T04:26:55Z |
| last_indexed |
2025-07-05T04:26:55Z |
| _version_ |
1836779690385211392 |
| fulltext |
58
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4
÷åíèÿõ ïó÷êîâ ïëîùàäüþ Sï 0,04 ì2. Ïëîùàäü ïîïå-
ðå÷íîãî ñå÷åíèÿ ïó÷êà óìåíüøàëàñü äî 10�4 ì2 ïðè
èñïîëüçîâàíèè âîãíóòîé â ñòîðîíó ðàçðÿäà ñôåðè-
÷åñêîé ñèñòåìû èçâëå÷åíèÿ è ðàçìåùåíèè îáðàáàòû-
âàåìîãî èçäåëèÿ âáëèçè öåíòðà ñôåðû [14]. Ïëîùàäü
ïîïåðå÷íîãî ñå÷åíèÿ ïó÷êà óâåëè÷èâàëàñü äî 0,2 ì2
ïðè èçìåíåíèè âîãíóòîñòè ñèñòåìû èçâëå÷åíèÿ íà
ïðîòèâîïîëîæíóþ è ðàçìåùåíèè îáðàáàòûâàåìîãî
èçäåëèÿ íà ðàññòîÿíèè ïîðÿäêà 0,6 ì îò óñòðîéñòâà.
Áûë ðàçðàáîòàí âíóòðèâàêóóìíûé âàðèàíò èñòî÷-
íèêà èîíîâ áåç ïðèíóäèòåëüíîãî îõëàæäåíèÿ ñ êà-
ïèëëÿðíûì ñàìîíàêàëèâàþùèìñÿ êàòîäîì ñ êðîø-
êîé LaB6. Íåéòðàëèçàöèÿ çàðÿäà èîíîâ â ïó÷êå îáåñ-
ïå÷èâàåòñÿ áåç èñïîëüçîâàíèÿ òåðìîêàòîäà [18].
 òàáëèöå ïðèâåäåíû êîíêðåòíûå òåõíîëîãè÷å-
ñêèå ïðîöåññû, äëÿ êîòîðûõ ðàçðàáàòûâàëèñü ðàññìîò-
ðåííûå â ñòàòüå èñòî÷íèêè èîíîâ, è íåêîòîðûå âû-
õîäíûå ïàðàìåòðû ýòèõ èñòî÷íèêîâ.
Çàêëþ÷åíèå
 ðàçðàáîòàííûõ èñòî÷íèêàõ èîíîâ äëÿ îáðàáîò-
êè â âàêóóìå áîëüøèõ ïîâåðõíîñòåé ìàêñèìàëüíî
èñïîëüçîâàíû ñïåöèôè÷åñêèå îñîáåííîñòè äâîéíî-
ãî ýëåêòðè÷åñêîãî ñëîÿ, à èìåííî, ðåàëèçîâàíû
óñêîðåííûå â ÄÝÑ ïîòîêè êàê ýëåêòðîíîâ, òàê è èîíîâ,
â âàêóóì â ñòîðîíó ìíîãîàïåðòóðíîãî ýìèññèîííî-
ãî ýëåêòðîäà. Ïîëó÷åíà âîçìîæíîñòü ôîðìèðîâàòü
ïó÷êè ïðîèçâîëüíîãî ñå÷åíèÿ çà ñ÷åò ñîîòâåòñòâóþ-
ùåãî ðàñïîëîæåíèÿ àíîäîâ íà ïðîìåæóòî÷íîì ýëåê-
òðîäå, óìåíüøåíà íà ïîðÿäîê íàïðÿæåííîñòü ìàãíèò-
íîãî ïîëÿ, íåîáõîäèìàÿ äëÿ ïîâûøåíèÿ â íåñêîëüêî
ðàç íàïðÿæåíèÿ ÄÝÑ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Àrdenne Ì. Tabellen der electronenphysik, ionenphysik und
übermicroscopie.� Berlin: VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften,
1956.
2. Íèêèòèíñêèé Â. À., Çàõàðîâ À. Ñ., Êîâàëåâ Â. Â. Äâà ñïî-
ñîáà èçâëå÷åíèÿ èîíîâ èç êîíòðàãèðîâàííîãî ðàçðÿäà // Òð. Íî-
âî÷åðêàññêîãî ïîëèòåõíè÷åñêîãî èí-òà.� 1976.� Ò. 324.�
Ñ. 78�90.
3. Íèêèòèíñêèé Â. À., Çàõàðîâ À. Ñ. Âûõîä èîíîâ â âàêóóì èç
ðàçðÿäà, êîíòðàãèðîâàííîãî â ñêðåùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàã-
íèòíîì ïîëÿõ // Æóðíàë òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1974.� Ò. 44,
¹ 6.� Ñ. 1333�1334.
4. Æóðàâëåâ Á. È., Íèêèòèíñêèé Â. À., Çàõàðîâ À. Ñ. Èñòî÷-
íèê èîíîâ íà îñíîâå ðàçðÿäà, êîíòðàãèðîâàííîãî â ñêðåùåííûõ
ïîëÿõ // Ïðèáîðû è òåõíèêà ýêñïåðèìåíòà.� 1977.� ¹ 4.�
Ñ. 204�206.
5. Íèêèòèíñêèé Â. À., Æóðàâëåâ Á. È. Ðàçðÿä, êîíòðàãèðîâàí-
íûé â ñêðåùåííûõ ïîëÿõ, ñ õîëîäíûì ïîëûì êàòîäîì // Æóðíàë
òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1980.� Ò. 50, ¹ 2.� Ñ. 440�441.
6. Íèêèòèíñêèé Â. À., Æóðàâëåâ Á. È. Óñëîâèÿ ñóùåñòâîâà-
íèÿ ðàçðÿäà ñ õîëîäíûì êàòîäîì, êîíòðàãèðîâàííîãî â ñêðåùåí-
íûõ ïîëÿõ // Òàì æå.� 1982.� Ò. 52, ¹ 5.� Ñ. 880�883.
7. Íèêèòèíñêèé Â. À., Æóðàâëåâ Á. È., Ãàïîíåíêî À. Ò. Äâóõ-
êàñêàäíûé ñàìîñòîÿòåëüíûé ðàçðÿä íèçêîãî äàâëåíèÿ // Òàì æå.�
1985.� Ò. 55, ¹ 8.� Ñ. 1637�1639.
8. Æóðàâëåâ Á. È., Íèêèòèíñêèé Â. À., Ãàïîíåíêî À. Ò. Ãàçî-
ðàçðÿäíûé èñòî÷íèê èîíîâ ñ õîëîäíûì êàòîäîì // Ïðèáîðû è
òåõíèêà ýêñïåðèìåíòà.� 1985.� ¹ 4.� Ñ. 157�158.
9. Ñòîãíèé À. È., Íèêèòèíñêèé Â. À., Æóðàâëåâ Á. È. Äâóõ-
êàñêàäíûé ñàìîñòîÿòåëüíûé ðàçðÿä íèçêîãî äàâëåíèÿ áåç ìàãíèò-
íîãî ïîëÿ // Æóðíàë òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1988.� Ò. 58, ¹ 5.�
Ñ. 993�995.
10. Æóðàâëåâ Á. È., Ïðèëåïñêèé Â. Â., Ãîðëàòîâ Â. Ñ. Òåõíî-
ëîãè÷åñêèé èñòî÷íèê èîíîâ // Ïðèáîðû è òåõíèêà ýêñïåðèìåí-
òà.� 1993.� ¹ 3.� Ñ. 215�218.
11. Ëîçîâîé Á. Ñ., Êàïëàí À. À., Íèêèòèíñêèé Â. À. è äð.
Ãåîìåòðèÿ ïðîïëàâëåíèÿ ñâàðíîãî øâà ñ ïîìîùüþ ïëàçìåííîãî
èñòî÷íèêà ýëåêòðîíîâ // Ñâàðî÷íîå ïðîèçâîäñòâî.� 1980.�
¹ 5.� Ñ. 19�20.
12. Ïàò. 1568793 Ðîññèè. Èñòî÷íèê çàðÿæåííûõ ÷àñòèö /
Â. À. Íèêèòèíñêèé, Ñ. È. Îáúåäêîâ, À. È. Ñòîãíèé, Î. À. Áîãàòû-
ðåâ.� 1995.� Á. È. ¹ 9.
13. Íèêèòèíñêèé Â. À., Áîãàòûðåâ Î. À. Âûñîêîâîëüòíûé ðàç-
ðÿä ñ êàòîäíûì ïÿòíîì ïðè ïîñòîÿííîì íàïðÿæåíèè íà ýëåêòðî-
äàõ // Ïèñüìà â Æóðíàë òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1988.� Ò. 54,
¹ 4.� Ñ. 347�349.
14. Ïàò. 1210607 Ðîññèè. Óñòðîéñòâî äëÿ èîííî-ëó÷åâîé
îáðàáîòêè / Ì. À. Ôóðìàí, Â. À. Íèêèòèíñêèé, Á. È. Æóðàâëåâ è
äð.� 1995.� Á. È. ¹ 8.
15. Ïàò. 1616412 Ðîññèè. Èñòî÷íèê çàðÿæåííûõ ÷àñòèö /
Â. À. Íèêèòèíñêèé, Î. À. Áîãàòûðåâ, Ñ. È. Îáúåäêîâ.� 1995.�
Á. È. ¹ 10.
16. Íèêèòèíñêèé Â. À., Ãàïîíåíêî À. Ò., Îáúåäêîâ Ñ. È. Èñ-
òî÷íèêè èîíîâ íåïðåðûâíîãî äåéñòâèÿ // Ïðèáîðû è òåõíèêà
ýêñïåðèìåíòà.� 1992.� ¹ 4.� Ñ. 244.
17. Nikitinsky V. A., Kreindel Yu. E. The constrictied discharge
of low pressure with the cathode spot in magnetic field // 10th Intern.
Conf. Phenomena Iîniz. Gases.� Oxford.� 1971.� Ð. 217.
18. Æóðàâëåâ Á. È., Íèêèòèíñêèé Â. À., Ãàïîíåíêî À. Ò. Êîìïåí-
ñàöèÿ çàðÿäà ïó÷êà èîíîâ áåç èñïîëüçîâàíèÿ òåðìîêàòîäà // Æóðíàë
òåõíè÷åñêîé ôèçèêè.� 1987.� Ò. 57, ¹ 9.� Ñ. 1826�1828.
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Âçàèìîâëèÿíèå îáúåêòîâ ìàëûõ ðàçìåðîâ â ìèêðîñõåìå. (Ðîññèÿ, ã. Ñàíêò-Ïåòåðáóðã)
Ñâîéñòâà ëåãèðîâàííûõ óãëåðîäíûõ (àëìàçîïîäîáíûõ) ïëåíîê. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Èçìåðèòåëü ìîùíîñòè óëüòðàôèîëåòîâîãî èçëó÷åíèÿ â äèàïàçîíàõ ÓÔ-À, ÓÔ-Â, ÓÔ-Ñ è èõ êîìáèíà-
öèé. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ïîâûøåíèå íàäåæíîñòè èçäåëèé ýëåêòðîííîé òåõíèêè íà ñòàäèè ïðîèçâîäñòâà. (Ìîëäîâà, ã. Êèøèíåâ)
Èññëåäîâàíèå âîçìîæíîñòåé äèñòàíöèîííîãî íåðàçðóøàþùåãî òåïëîâèçèîííîãî êîíòðîëÿ ñîñòîÿ-
íèÿ âçëåòíî-ïîñàäî÷íûõ ïîëîñ â àýðîïîðòàõ. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Îïûò ïðèìåíåíèÿ åâðîïåéñêîãî ñòàíäàðòà PSS-49 ïðè ðàçðàáîòêå íèçêî-
òåìïåðàòóðíûõ òåïëîâûõ òðóá äëÿ ïàññèâíîé ñèñòåìû òåïëîâîãî êîíòðîëÿ
ìèêðîñïóòíèêà BIRD. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ýêñïåðèìåíòàëüíîå èññëåäîâàíèå òåìïåðàòóðíîãî ïîëÿ ðàäèàòîðà êóëå-
ðà. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Òåñòåð òåðàïåâòà. (Ðîññèÿ, ã. Òàãàíðîã)
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Ø
Ø
Ø
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
|