Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs

Рассмотрено проектирование монолитных трансформаторов. Предложен способ оптимизации электромагнитных структур. Трансформаторы применены в смесителях с малыми потерями преобразования в широкой полосе частот....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2006
Hauptverfasser: Бондарь, Д.Б., Глубоков, А.А., Шелковников, Б.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53255
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs / Д.Б. Бондарь, А.А. Глубоков, Б.Н. Шелковников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 25-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-53255
record_format dspace
spelling irk-123456789-532552014-01-19T03:14:14Z Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs Бондарь, Д.Б. Глубоков, А.А. Шелковников, Б.Н. Техника и технологии СВЧ Рассмотрено проектирование монолитных трансформаторов. Предложен способ оптимизации электромагнитных структур. Трансформаторы применены в смесителях с малыми потерями преобразования в широкой полосе частот. 2006 Article Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs / Д.Б. Бондарь, А.А. Глубоков, Б.Н. Шелковников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 25-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53255 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Техника и технологии СВЧ
Техника и технологии СВЧ
spellingShingle Техника и технологии СВЧ
Техника и технологии СВЧ
Бондарь, Д.Б.
Глубоков, А.А.
Шелковников, Б.Н.
Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрено проектирование монолитных трансформаторов. Предложен способ оптимизации электромагнитных структур. Трансформаторы применены в смесителях с малыми потерями преобразования в широкой полосе частот.
format Article
author Бондарь, Д.Б.
Глубоков, А.А.
Шелковников, Б.Н.
author_facet Бондарь, Д.Б.
Глубоков, А.А.
Шелковников, Б.Н.
author_sort Бондарь, Д.Б.
title Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
title_short Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
title_full Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
title_fullStr Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
title_full_unstemmed Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs
title_sort монолитные трансформаторы в многослойной технологии gaas
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2006
topic_facet Техника и технологии СВЧ
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53255
citation_txt Монолитные трансформаторы в многослойной технологии GaAs / Д.Б. Бондарь, А.А. Глубоков, Б.Н. Шелковников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 25-30. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT bondarʹdb monolitnyetransformatoryvmnogoslojnojtehnologiigaas
AT glubokovaa monolitnyetransformatoryvmnogoslojnojtehnologiigaas
AT šelkovnikovbn monolitnyetransformatoryvmnogoslojnojtehnologiigaas
first_indexed 2025-07-05T04:42:43Z
last_indexed 2025-07-05T04:42:43Z
_version_ 1836780684438405120
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 25 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 12.07 2005 ã. � 12.09 2006 ã. Îïïîíåíòû ä. ò. í. Ê. Ñ. ÑÓÍÄÓ×ÊΠ(ÍÊÀÓ, ã. Êèåâ), Â. È. ÌÀÉ (ÍÏÏ "Ñàòóðí", ã. Êèåâ) ÌÎÍÎËÈÒÍÛÅ ÒÐÀÍÑÔÎÐÌÀÒÎÐÛ Â ÌÍÎÃÎÑËÎÉÍÎÉ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ GaAs Ä. Á. ÁÎÍÄÀÐÜ, À. À. ÃËÓÁÎÊÎÂ, ê. ò. í. Á. Í. ØÅËÊÎÂÍÈÊΠÓêðàèíà, ÍÒÓÓ "Êèåâñêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èíñòèòóò" Å-mail: bshelk@inbox.ru Ðàññìîòðåíî ïðîåêòèðîâàíèå ìîíîëèò- íûõ òðàíñôîðìàòîðîâ. Ïðåäëîæåí ñïî- ñîá îïòèìèçàöèè ýëåêòðîìàãíèòíûõ ñòðóêòóð. Òðàíñôîðìàòîðû ïðèìåíåíû â ñìåñèòåëÿõ ñ ìàëûìè ïîòåðÿìè ïðåîá- ðàçîâàíèÿ â øèðîêîé ïîëîñå ÷àñòîò. Ìîíîëèòíûå ïëàíàðíûå òðàíñôîðìàòîðû [1, 2] íà- øëè øèðîêîå ïðèìåíåíèå â ñîâðåìåííîé ìèêðîýëåê- òðîíèêå, â ÷àñòíîñòè â òåõíèêå ÑÂ×. Òàê, èõ èñïîëü- çîâàíèå â óñèëèòåëÿõ ìîùíîñòè è ñìåñèòåëÿõ ïîçâî- ëÿåò çàìåòíî óëó÷øèòü ôóíêöèîíàëüíûå õàðàêòåðèñ- òèêè èçäåëèé.  ñõåìàõ ñìåñèòåëåé, íàïðèìåð, òðàíñ- ôîðìàòîðû âûïîëíÿþò ñîãëàñóþùóþ, ðàçâÿçûâàþ- ùóþ è ñåëåêòîðíóþ ôóíêöèè. Ïåðâàÿ çàêëþ÷àåòñÿ â ñîãëàñîâàíèè èìïåäàíñîâ äëÿ ñîáëþäåíèÿ óñëîâèÿ ïåðåäà÷è ìàêñèìàëüíîé ìîùíîñòè è ìèíèìàëüíûõ ïî- òåðü. Ðàçâÿçûâàþùàÿ è ñåëåêòîðíàÿ ôóíêöèè îáåñ- ïå÷èâàþò ðàçäåëåíèå ìîäóëèðîâàííîãî ñèãíàëà è ïðî- ìåæóòî÷íîé ÷àñòîòû, à òàêæå ïîäàâëåíèå ïàðàçèòíûõ ïðîäóêòîâ ìîäóëÿöèè. Íàèáîëåå øèðîêî êîíñòðóêöèè òðàíñôîðìàòîðîâ è èõ õàðàêòåðèñòèêè ïðåäñòàâëåíû â ñèëèêîíîâûõ òåõ- íîëîãèÿõ CMOS, BiCMOS. Öåëüþ äàííîé ðàáîòû ÿâ- ëÿåòñÿ èññëåäîâàíèå è ðàçðàáîòêà êîíñòðóêöèé òðàíñ- ôîðìàòîðîâ â ìíîãîñëîéíîé GaAs-òåõíîëîãèè, ïðå- èìóùåñòâàìè êîòîðîé ÿâëÿþòñÿ íåáîëüøèå ðàçìåðû ýëåêòðîìàãíèòíîé ñòðóêòóðû (ÝÌ-ñòðóêòóðû) è íåäî- ðîãîé ïðîöåññ åå èçãîòîâëåíèÿ, à òàêæå øèðîêîïî- ëîñíîñòü è âîçìîæíîñòü âûïîëíèòü êîíñòðóêöèþ ñìå- ñèòåëÿ èëè óñèëèòåëÿ â åäèíîé ìîíîëèòíîé ñòðóêòóðå. Êàê âèäíî èç ðèñ. 1, òåõíîëîãèÿ GaAs ïîçâîëÿåò ðåàëèçîâàòü íåñêîëüêî äèýëåêòðè÷åñêèõ è ìåòàëëè- ÷åñêèõ ñëîåâ. Ýòî äàåò âîçìîæíîñòü ñîçäàâàòü âåð- òèêàëüíûå èíäóêòèâíûå ñâÿçè, óìåíüøàòü ïàðàçèòíûå åìêîñòíûå ñâÿçè è ïðîåêòèðîâàòü áîëåå êîìïàêòíûå ÝÌ-ñòðóêòóðû. Ê íàñòîÿùåìó âðåìåíè ïðåäëîæåíî ìíîãî êîí- ñòðóêöèé òðàíñôîðìàòîðîâ â òåõíîëîãèÿõ LTCC, CMOS, BiCMOS, RFIC [1�7]. Àâòîðàìè áûëè ïðåä- ëîæåíû êîíñòðóêöèè â GaAs-òåõíîëîãèè â ðàáîòå [2]. Îäíàêî äî ýòîãî ìîìåíòà íå áûëî óñòàíîâëåíî ÷åòêî- ãî ñîîòâåòñòâèÿ ìåæäó êîíñòðóêòèâíûìè ðàçìåðàìè è ýëåêòðè÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè ÝÌ-ñòðóêòóð.  äàííîé ðàáîòå ïðîâîäèòñÿ àíàëèç çàâèñèìîñòè îñíîâ- íûõ õàðàêòåðèñòèê òðàíñôîðìàòîðîâ (êîýôôèöèåíòîâ ïåðåäà÷è è îòðàæåíèÿ, ðàáî÷åé ïîëîñû) îò îñîáåííî- ñòåé êîíñòðóêöèè è ðàçìåðîâ. Êîíñòðóêöèÿ òðàíñôîðìàòîðà Ðàññìîòðèì òèïè÷íóþ êîíñòðóêöèþ ìîíîëèòíîãî ñîñðåäîòî÷åííîãî ïëàíàðíîãî òðàíñôîðìàòîðà (ðèñ. 2). Îí ñîñòîèò èç äâóõ îáìîòîê (ïî òðè âèòêà â êàæäîé), âûïîëíåííûõ èç ñåðåáðà è ðàñïîëîæåííûõ â ñëîå ïîëèàìèäà ñ îòíîñèòåëüíîé äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíè- öàåìîñòüþ ε=2,8. Âòîðè÷íàÿ îáìîòêà èìååò ñðåäíèé âûâîä äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïîëîâèííîãî íàïðÿæåíèÿ. Òðàíñôîðìàòîð âûïîëíåí íà ïîäëîæêå èç GaAs è èìååò ïëîùàäü 1 ìì2. Ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîèñõîäÿùèå â òàêîì òðàíñôîðìàòîðå, óäîáíî ïîÿñíèòü ñ ïîìîùüþ ýêâè- âàëåíòíîé ýëåêòðè÷åñêîé ñõåìû, ïðåäëîæåííîé Êåð- ðåðîì â [1] (ðèñ. 3), ãäå ñîáñòâåííûå èíäóêòèâíîñòè îáìîòîê; âçàèìíûå èíäóêòèâíîñòè îáìîòîê; îìè÷åñêèå ñîïðîòèâëåíèÿ îáìîòîê; ïàðàçèòíûå åìêîñòíûå ñâÿçè ìåæäó ïåðâè÷íîé è âòîðè÷íîé îáìîòêàìè; ïàðàçèòíûå åìêîñòíûå ñâÿçè ìåæäó îáìîòêàìè è ïîäëîæêîé; ðåçèñòèâíûå ïîòåðè â ïîäëîæêå. L1, L2, L3 � Ì12, Ì13 � R2, R3, R4 � Ñ1, Ñ4 � Ñ2, Ñ3, Ñ5 � R1, R5, R6 �Ðèñ. 1. ÝÌ-ñòðóêòóðà â òåõíîëîãèè GaAs Ñëîé 2: 4 ìêì Ñëîé 1: 2 ìêì Ïîëèàìèä Ïëàñòèíà GaAs Ñëîé 0 Ðèñ. 2. Òèïè÷íàÿ ñòðóê- òóðà ìîíîëèòíîãî ïëà- íàðíîãî òðàíñôîðìà- òîðà Y Z 26 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 Ðàññìîòðèì âëèÿíèå ýòèõ ïàðàìåòðîâ íà õàðàêòå- ðèñòèêè òðàíñôîðìàòîðà. Ñîáñòâåííûå èíäóêòèâíîñòè îáìîòîê îáåñïå÷èâà- þò ìàãíèòíóþ ñâÿçü ìåæäó îáìîòêàìè è, ñëåäîâà- òåëüíî, âëèÿþò íà êîýôôèöèåíòû ïåðåäà÷è S13, S14, S15, S25, S24 è S23. Âåëè÷èíà ñîáñòâåííîé èíäóêòèâíî- ñòè ïåðâè÷íîé îáìîòêè ìîæåò áûòü îïðåäåëåíà [2] èç ÷àñòîòíûõ çàâèñèìîñòåé Z-ïàðàìåòðîâ ñëåäóþùèì îáðàçîì: { }( )12abs Im , 2 Z L f = π Êàê ñëåäóåò èç ôîðìóëû, âåëè÷èíà èíäóêòèâíîñ- òè îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíà ÷àñòîòå: L óìåíüøàåòñÿ ïðè óâåëè÷åíèè f. Ýêñïåðèìåíòàëüíûé ãðàôèê çàâè- ñèìîñòè èíäóêòèâíîñòè ïåðâè÷íîé îáìîòêè ðàññìàò- ðèâàåìîãî òðàíñôîðìàòîðà îò ÷àñòîòû (ðèñ. 4) ïîä- òâåðæäàåò ñêàçàííîå âûøå. Íåîäíîðîäíîñòü õàðàêòåðèñòèêè íà ÷àñòîòå 4 ÃÃö îáóñëîâëåíà íàëè÷èåì ñîáñòâåííîãî ðåçîíàíñà îá- ìîòêè, êîòîðûé âîçíèêàåò, åñëè èíäóêòèâíîñòü ïåð- âè÷íîé îáìîòêè îáðàçóåò êîëåáàòåëüíûé êîíòóð ñ åìêîñòÿìè Ñ2, Ñ3 è Ñ5 (ðèñ. 3). Ýòî ïàðàçèòíûå åì- êîñòíûå ñâÿçè ìåæäó îáìîòêîé è ïîäëîæêîé, èõ âå- ëè÷èíû îïðåäåëÿþòñÿ ïî ôîðìóëå ( )202 1 fL C π = , ãäå f0 � ÷àñòîòà ñîáñòâåííîãî ðåçîíàíñà. Çíàÿ âåëè÷èíó Ñ, ìîæíî íà îïðåäåëåííîé ÷àñòîòå fê óñòðàíèòü (èëè óìåíüøèòü) åå âëèÿíèå ïóòåì âêëþ- ÷åíèÿ êîìïåíñèðóþùåé èíäóêòèâíîñòè âåëè÷èíîé ( ) 2 0 ê 2 êê 1 2 f L L fÑ f   = =   π   . Ðàññìîòðèì òðè ñòðóêòóðû òðàíñôîðìàòîðîâ ñ ðàçëè÷íûì êîëè÷åñòâîì âèòêîâ â îáìîòêàõ: 4, 5 è 6, ñîîòâåòñòâåííî. Âñå îíè èìåþò îêòàãîíàëüíóþ ôîð- ìó. Îáìîòêè òðàíñôîðìàòîðîâ ðàñïîëîæåíû â äâóõ ìåòàëëè÷åñêèõ ñëîÿõ è èìåþò âåðòèêàëüíûå ìàãíèò- íûå ñâÿçè. Ïðåèìóùåñòâà äàííîé êîíñòðóêöèè ïåðåä îêòàãî- íàëüíîé îäíîñëîéíîé çàêëþ÷àþòñÿ â ëó÷øåé ìàãíèò- íîé ñâÿçè ïðè ìåíüøåì çíà÷åíèè ïàðàçèòíûõ åìêîñ- òåé, à òàêæå â âîçìîæíîñòè èçìåíÿòü çíà÷åíèÿ ÷àñòî- òû ñîáñòâåííîãî ðåçîíàíñà ïóòåì èçìåíåíèÿ ðàññòî- ÿíèÿ ìåæäó âèòêàìè ïî ãîðèçîíòàëè è âåðòèêàëè. Ïðåèìóùåñòâî òàêîé ñòðóêòóðû ïåðåä òåòðàãîíàëü- íîé äâóõñëîéíîé ñòðóêòóðîé � ëó÷øàÿ ñîãëàñîâàí- íîñòü íà ïîâîðîòàõ îáìîòîê, âûïîëíåííûõ ïîä óã- ëîì 45°, à íå 90°. Ïðè èçìåíåíèè êàêîãî-ëèáî ðàçìå- ðà ìåíÿþòñÿ ýëåêòðè÷åñêèå è ìàãíèòíûå ñâÿçè, à ñëå- äîâàòåëüíî, è õàðàêòåðèñòèêè ñòðóêòóðû â öåëîì. Ïîýòîìó âîçíèêàåò çàäà÷à èññëåäîâàíèÿ çàâèñèìîñ- òåé ýëåêòðè÷åñêèõ ñâîéñòâ îò êîíñòðóêöèè. Ïðåäëàãàåòñÿ ðåøàòü ýòó çàäà÷ó ñ ïîìîùüþ ïðî- ãðàììèðîâàíèÿ êîíñòðóêöèè, ò. å. ââåäåíèÿ ïåðåìåí- íûõ âìåñòî ÷èñëîâûõ ðàçìåðîâ è çàäàíèÿ êîíñòðóê- òèâíûõ ñîîòíîøåíèé ñ ïîìîùüþ ôîðìóë. Ïðèìåð òà- êîãî çàäàíèÿ ïðèâåäåí â òàáëèöå. Êîîðäèíàòû õàðàêòåðíûõ òî÷åê ìîíîëèòíîé êîí- ñòðóêöèè âûðàæàþòñÿ (ðèñ. 5) ÷åðåç çàäàííûå ïåðå- ìåííûå [2]. Òàê, êîîðäèíàòû âåðøèí ÷åòûðåõóãîëü- íèêà ABCD ñîîòâåòñòâåííî èìåþò âèä: ãäå abs(Im{Z12}) � f � àáñîëþòíàÿ âåëè÷èíà ìíèìîé ÷àñòè ïàðàìåò- ðà Z12, õàðàêòåðèçóþùåãî ñîïðîòèâëåíèå ïåð- âè÷íîé îáìîòêè; ÷àñòîòà, íà êîòîðîé îïðåäåëÿåòñÿ âåëè÷èíà èíäóêòèâíîñòè. Íàçâàíèå Çíà÷åíèå Åä. èçì. Îïèñàíèå w 30 ìêì Øèðèíà ìèêðîïîëîñêè s 10 ìêì Ðàññòîÿíèå ìåæäó âèòêàìè dX w/(2 sqrt(2)) — Âñïîìîãàòåëüíàÿ ïåðåìåííàÿ 1 Lvia 2,5 (s+w) — Âñïîìîãàòåëüíàÿ ïåðåìåííàÿ 2 Hvia 40 ìêì Âûñîòà ïåðåõîäà ìåæäó ñëîÿìè · · Ðèñ. 3. Ýêâèâàëåíòíàÿ ñõåìà ïëàíàðíîãî òðàíñôîðìàòîðà C2 C1 C3 C5 C4 R1 R2 R3 R4 R5 R6 L1 L2 L3 M12 M13 Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü èíäóêòèâíîñòè ïåðâè÷íîé îáìîòêè 3-âèòêîâîãî òðàíñôîðìàòîðà îò ÷àñòîòû 1 2 3 4 5 6 7 8 f, ÃÃö L, íà 80 60 40 20 0 Ðèñ. 5. Ïàðàìåòðû êîíñòðóêöèè òðàíñôîðìàòîðà 0 Y RVia C B A D X w/2 d s 2r w Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 27 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× (w; R1); (w; w+R1); 1 1 2 2 2 2 ; ; ; , 2 2 2 2 2 2Via Via Via w w R R R R R     − − − +          . Èñïîëüçîâàíèå òàêîãî ïîäõîäà ïîçâîëÿåò ñ ïîìî- ùüþ ÝÂÌ ëåãêî îïòèìèçèðîâàòü ðàçìåðû ñòðóêòó- ðû, ïîëó÷èâ íàèëó÷øèå êà÷åñòâåííûå ïîêàçàòåëè. Ðàñïðåäåëåíèå ïîëåé â ÝÌ-ñòðóêòóðå Ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ÝÌ-ñòðóêòóðû íåîáõîäèìî óäåëèòü âíèìàíèå ðàñïðåäåëåíèþ ýëåêòðîìàãíèòíî- ãî ïîëÿ. Ýòî ïîçâîëÿåò îáåñïå÷èòü íàèëó÷øèå óñëî- âèÿ ðàñïðîñòðàíåíèÿ âîëí: îäíîðîäíîñòü, ðåãóëÿð- íîñòü ñòðóêòóðû, íåîáõîäèìûå ñîîòíîøåíèÿ ìåæäó ðàçìåðàìè ìèêðîïîëîñîê è äëèíîé âîëíû. Ïðèìåð ðàñïðåäåëåíèÿ ìàãíèòíîãî ïîëÿ äëÿ ìîäåëèðóåìîãî 5-âèòêîâîãî òðàíñôîðìàòîðà ïðèâåäåí íà ðèñ. 6. Âåêòîðû Å è Í èìåþò íóëè è ïîëþñà. Î÷åâèäíî, ÷òî èíäóêòèâíàÿ ñâÿçü ìåæäó ìåòàëëè÷åñêèìè ñëîÿ- ìè áóäåò ìàêñèìàëüíîé â ïîëþñàõ âåêòîðà Í, à ìè- íèìàëüíîé � â åãî íóëåâûõ òî÷êàõ. Ýòî æå ñïðàâåä- ëèâî è äëÿ ýëåêòðè÷åñêîãî âåêòîðà Å, ò. å. ïàðàçèòíàÿ åìêîñòíàÿ ñâÿçü áóäåò íàèáîëüøåé â ïîëþñàõ, à ìè- íèìàëüíîé � â íóëÿõ âåêòîðà Å. (Äàííàÿ èíôîðìà- öèÿ ìîæåò áûòü ïîëåçíà êàê ïðè ïðîåêòèðîâàíèè íî- âûõ êîíñòðóêöèé òðàíñôîðìàòîðîâ, òàê è ïðè èññëå- äîâàíèè ñóùåñòâóþùèõ.) Ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ òðàíñôîðìàòîðîâ Áûë ïðîâåäåí ñðàâíèòåëüíûé àíàëèç òðàíñôîðìà- òîðîâ òðåõ òèïîâ, èìåþùèõ ñîîòâåòñòâåííî 4, 5 è 6 âèòêîâ â ïåðâè÷íîé è âòîðè÷íîé îáìîòêàõ (äàëåå � Òð4, Òð5 è Òð6). Ïðè ìîäåëèðîâàíèè èñïîëüçîâàëñÿ ïðîãðàììíûé ïðîäóêò «Ansoft HFSS» [8]. Ïðåäëàãà- åìûé àëãîðèòì èññëåäîâàíèÿ ñîñòîèò èç ñëåäóþùèõ ýòàïîâ: 1. Çàäàòü ïåðåìåííûå â êîíñòðóêöèè. 2. Ïðîâåñòè ìîäåëèðîâàíèå äëÿ èñõîäíûõ ðàçìåðîâ. 3. Èçìåíèòü çíà÷åíèå ïåðåìåííûõ è ïðîâåñòè ìî- äåëèðîâàíèå. 4. Ïîâòîðèòü ïï. 1�4 äëÿ íåñêîëüêèõ èòåðàöèé. 5. Ïîñòðîèòü ãðàôèêè çàâèñèìîñòåé èíòåðåñóþ- ùèõ õàðàêòåðèñòèê îò êîíñòðóêòèâíûõ ðàçìåðîâ. 6. Ïðîâåñòè àïïðîêñèìàöèþ êðèâûõ äëÿ òî÷åê, â êîòîðûõ ñ÷åò íå ïðîâîäèëñÿ. 7. Îïðåäåëèòü ïî ãðàôèêàì îïòèìóì è ñîîòâåò- ñòâóþùåå çíà÷åíèå ðàçìåðà ýëåìåíòà êîíñòðóêöèè. 8. Óñòàíîâèòü íàéäåííîå çíà÷åíèå äëÿ ñîîòâåòñòâó- þùåé ïåðåìåííîé è ïðîâåñòè ìîäåëèðîâàíèå. Íèæå ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèÿ õàðàê- òåðèñòèê òðàíñôîðìàòîðîâ â çàâèñèìîñòè îò çíà÷å- íèé êîíñòðóêòèâíûõ ðàçìåðîâ. Çàâèñèìîñòü îò êîëè÷åñòâà âèòêîâ.  ðåçóëüòàòå ìîäåëèðîâàíèÿ áûëè ïîëó÷åíû çàâè- ñèìîñòè êîýôôèöèåíòîâ ïåðåäà÷è òðàíñôîðìàòîðà îò ÷à- ñòîòû. Ïîñêîëüêó ñòðóêòóðà òðàíñôîðìàòîðà ñèììåò- ðè÷íàÿ, òî ãðàôèêè S-ïàðàìåòðîâ S15 è S23 ñîâïàäàþò. Ñ óâåëè÷åíèåì ÷èñëà âèòêîâ ðàáî÷àÿ ïîëîñà íå- ìíîãî ñóæàåòñÿ è ñìåùàåòñÿ âëåâî. Òàê, äëÿ òðàíñ- ôîðìàòîðà ñ 6 âèòêàìè îíà ñîñòàâëÿåò 0,6�6,5 ÃÃö, à äëÿ òðàíñôîðìàòîðà ñ 5 âèòêàìè � 1,0�10,4 ÃÃö (ïî óðîâíþ �10 äÁ). Î÷åâèäíî, ÷òî äëÿ ñîçäàíèÿ íèçêî÷à- ñòîòíîãî òðàíñôîðìàòîðà íåîáõîäèìî óâåëè÷èâàòü êî- ëè÷åñòâî âèòêîâ. Íî ÷èñëî âèòêîâ òðàíñôîðìàòîðîâ îãðàíè÷åíî èç ñëåäóþùèõ ñîîáðàæåíèé. Ïðè ôèêñèðîâàííûõ ðàç- ìåðàõ ïîäëîæêè, íàïðèìåð 1×1 ìì, óâåëè÷åíèå êî- ëè÷åñòâà âèòêîâ ìîæåò äîñòèãàòüñÿ: � óìåíüøåíèåì øèðèíû ìèêðîïîëîñîê; � óìåíüøåíèåì ðàññòîÿíèÿ ìåæäó âèòêàìè; � óìåíüøåíèåì âíóòðåííåãî äèàìåòðà îáìîòîê. Ïåðâûé ñïîñîá îãðàíè÷åí, ò. ê. ïðè óìåíüøåíèè øèðèíû ìèêðîïîëîñîê óâåëè÷èâàþòñÿ âîëíîâûå ñî- ïðîòèâëåíèÿ, ÷òî â êîíå÷íîì èòîãå ïðèâîäèò ê íåñî- ãëàñîâàííîñòè èìïåäàíñîâ òðàíñôîðìàòîðà è äðóãèõ ýëåìåíòîâ ñìåñèòåëÿ. Æåëàòåëüíûì ÿâëÿåòñÿ 50-îì- íîå ñîïðîòèâëåíèå ïîðòîâ, ÷òî èìååò ìåñòî ïðè çíà- ÷åíèÿõ w ïîðÿäêà 30 ìêì. Âòîðîé ñïîñîá òàêæå íå íàõîäèò øèðîêîãî ïðè- ìåíåíèÿ èç-çà çíà÷èòåëüíîãî óâåëè÷åíèÿ ïàðàçèòíûõ åìêîñòíûõ ñâÿçåé ïðè ñîêðàùåíèè ðàññòîÿíèÿ ìåæ- äó ìèêðîïîëîñêàìè. Òàê, â ëèòåðàòóðå ðåêîìåíäóåò- ñÿ èñïîëüçîâàòü çíà÷åíèÿ s=w. Äîïóñòèìûìè íà ïðàê- òèêå ìîãóò áûòü òàêæå çíà÷åíèÿ s ïîðÿäêà w/2. Òðåòèé ñïîñîá ÿâëÿåòñÿ íàèáîëåå èíòåðåñíûì äëÿ ðàññìîòðåíèÿ, ò. ê. ïîçâîëÿåò øèðîêî âàðüèðîâàòü ïà- ðàìåòðû òðàíñôîðìàòîðà. Ïðàêòèêà ìîäåëèðîâàíèÿ ïîêàçûâàåò, ÷òî íàèáîëüøèé êîýôôèöèåíò ïåðåäà÷è ïîëó÷àåòñÿ ïðè çíà÷åíèÿõ âíóòðåííåãî äèàìåòðà îá- ìîòîê íå ìåíåå 2w. Òàêèì îáðàçîì, ìîæíî ïîäñ÷èòàòü ìàêñèìàëüíîå êîëè÷åñòâî âèòêîâ äëÿ äàííîé òåõíîëîãèè èç óðàâíåíèÿ 2w+2(nw+(n�1)s+d)=1000 ìêì, Ðèñ. 6. Ðàñïðåäåëåíèå ìàãíèòíîãî ïîëÿ äëÿ 5-âèòêîâîãî òðàíñôîðìàòîðà z y x øèðèíà âèòêà; âíóòðåííèé ðàäèóñ; ðàäèóñ ìåæñëîéíîãî ñîåäèíåíèÿ. ãäå w � r � RVia � êîëè÷åñòâî âèòêîâ; ðàñòîÿíèå ìåæäó âèòêàìè; ðàññòîÿíèå îò ïîñëåäíåãî âèòêà äî ãðàíèöû ïîäëîæêè (ðèñ. 5). ãäå n � s � d � 28 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 Ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ ïîêàçûâàþò, ÷òî d äîë- æíî áûòü íå ìåíåå 2w. Òîãäà èìååì: 2w+2nw+2(n�1)w/2+4w=1000; w(2+2n+n�1+4)=1000; 30(5+3n)=1000; 90n=850; n=9. Òàêèì îáðàçîì, êîëè÷åñòâî âèòêîâ îáìîòîê îãðà- íè÷åíî è â äàííîì ïðèìåðå íå äîëæíî ïðåâûøàòü 9. Ðåêîìåíäóåìîå êîëè÷åñòâî âèòêîâ äëÿ òðàíñôîðìà- òîðîâ äàííîãî äèàïàçîíà � 4�6. Çàâèñèìîñòè îò âûñîòû ïîäëîæêè, øèðèíû ìèê- ðîïîëîñêè è ðàññòîÿíèÿ ìåæäó âèòêàìè. Ïðîâîäèëîñü ìîäåëèðîâàíèå äàííîé ñòðóêòóðû ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ âûñîòû ïîäëîæêè, øèðè- íû ìèêðîïîëîñêè è ðàññòîÿíèÿ ìåæäó âèòêàìè, â ðåçóëüòàòå ÷åãî áûëè ïîëó÷åíû çàâèñèìîñòè S-ïàðà- ìåòðîâ îò ýòèõ âåëè÷èí. Íà îñíîâàíèè ïîëó÷åííîé èíôîðìàöèè ïðîâîäèëàñü îïòèìèçàöèÿ êîíñòðóêöèè òðàíñôîðìàòîðà. Óñòàíîâëåíî, ÷òî ðàáî÷àÿ ïîëîñà øèðå äëÿ òðàíñ- ôîðìàòîðîâ ñ áîëüøåé âûñîòîé ïîäëîæêè, ÷òî îáóñ- ëîâëåíî óâåëè÷åíèåì ÷àñòîòû ñîáñòâåííîãî ðåçîíàí- ñà. Êàê èçâåñòíî, ÷àñòîòà ñîáñòâåííîãî ðåçîíàíñà âû- ðàæàåòñÿ ôîðìóëîé ( )0 1 2 ,f LC= π Ïðè óâåëè÷åíèè ðàññòîÿíèÿ óìåíüøàåòñÿ ïàðàçèò- íàÿ åìêîñòü è ñîîòâåòñòâåííî óâåëè÷èâàåòñÿ f0, ÷òî ïðèâîäèò ê ðàñøèðåíèþ ðàáî÷åé ïîëîñû ÷àñòîò òðàíñ- ôîðìàòîðà. Òàêæå èññëåäîâàëèñü çàâèñèìîñòè S-ïàðàìåòðîâ îò âíóòðåííåãî äèàìåòðà îáìîòîê À=2r. Óñòàíîâëå- íî, ÷òî ðàáî÷èé äèàïàçîí ñìåùàåòñÿ â îáëàñòü áîëåå íèçêèõ ÷àñòîò ïðè óâåëè÷åíèè ýòîãî ðàçìåðà. Ìîäåëèðîâàíèå ïîêàçàëî, ÷òî çàâèñèìîñòü ÷àñ- òîòíûõ õàðàêòåðèñòèê S-ïàðàìåòðîâ îò øèðèíû ìèê- ðîïîëîñêè íåëèíåéíàÿ. Íàèáîëåå øèðîêàÿ ðàáî÷àÿ ïîëîñà (0,5�7 ÃÃö ) íàáëþäàåòñÿ ïðè w=10, íî ïðè ýòîì êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ äîâîëüíî âåëèê: �14<S33<�12. Íàèìåíüøèé êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ (�15<S33<�18) íàáëþäàåòñÿ ïðè w=30, íî â óçêîé ïîëîñå ÷àñòîò (0,9�2 ÃÃö). Ñåìåéñòâà çàâèñèìîñòåé ÷àñòîòíûõ õàðàêòåðèñòèê S-ïàðàìåòðîâ îò ðàññòîÿíèÿ ìåæäó âèòêàìè s èìåþò ñëåäóþùèé õàðàêòåð. Ðàáî÷àÿ ïîëîñà òðàíñôîðìàòî- ðà ðàñøèðÿåòñÿ ïðè óâåëè÷åíèè s äî 10 ìêì. Ýòî ñâÿ- çàíî ñ óìåíüøåíèåì âåëè÷èíû ïàðàçèòíûõ åìêîñòåé è, ñîîòâåòñòâåííî, óâåëè÷åíèåì ÷àñòîòû ñîáñòâåííî- ãî ðåçîíàíñà, ÷òî è ïðèâîäèò ê ðàñøèðåíèþ ïîëîñû. S-ïàðàìåòðû òðàíñôîðìàòîðîâ. Èç ïîëó÷åííûõ ðåçóëüòàòîâ èññëåäîâàíèÿ âûáå- ðåì íàèëó÷øèå è ïðåäñòàâèì äëÿ íèõ ðåçóëüòàòû ìî- äåëèðîâàíèÿ â âèäå ãðàôèêîâ çàâèñèìîñòåé êîýô- ôèöèåíòîâ ïåðåäà÷è è êîýôôèöèåíòîâ îòðàæåíèÿ îò ÷àñòîòû (ðèñ. 7). Ìîäåëèðîâàíèå ñìåñèòåëåé íà îñíîâå òðàíñôîð- ìàòîðîâ Òð4, Òð5 è Òð6 Íà îñíîâå ïîëó÷åííûõ òðàíñôîðìàòîðîâ áûëè ïîñòðîåíû áàëàíñíûå êîëüöåâûå ñìåñèòåëè. Ïðè ýòîì èññëåäîâàëèñü íàèáîëåå âàæíûå õàðàêòåðèñòèêè ñìå- ñèòåëåé: ïîòåðè ïðåîáðàçîâàíèÿ, 1-äÁ-òî÷êà êîìïðåñ- ñèè, øóìû, äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí, èíòåðìîäóëÿöè- îííûå èñêàæåíèÿ (IMD), èçîëÿöèÿ ïîðòîâ. Ðåçóëüòà- òû ìîäåëèðîâàíèÿ ñìåñèòåëÿ ñ ïîìîùüþ ïðîãðàì- ìíîãî ïðîäóêòà "ADS" [9] ïðèâåäåíû íà ðèñ. 8�10. èíäóêòèâíîñòü ÝÌ-ñòðóêòóðû; ïàðàçèòíàÿ åìêîñòü (â äàííîì ñëó÷àå ìåæäó ïîäëîæêîé è ìåòàëëè÷åñêèì ñëîåì). ãäå L � Ñ � Ðèñ. 7. S-ïàðàìåòðû òðàíñôîðìàòîðîâ Òð6: a � w=30 ìêì; á � w=20 ìêì; â � w=15 ìêì; 1 � êîýôôèöèåíòû ïåðåäà÷è S(1,5); 2 � êîýôôèöèåíòû îòðà- æåíèÿ S(1,1) á) �5 �10 �15 �20 �25 0 5 10 1 2 S- ïà ðà ì åò ðû , äÁ ×àñòîòà, ÃÃö 0 �5 �10 �15 �20 �25 ×àñòîòà, ÃÃö 0 5 10 à) 1 2 S- ïà ðà ì åò ðû , äÁ â) 0 5 10 �5 �10 �15 �20 �25 1 2 S- ïà ðà ì åò ðû , äÁ ×àñòîòà, ÃÃö Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 29 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× Ðèñ. 9. Õàðàêòåðèñòèêè ñìåñèòåëÿ íà îñíîâå òðàíñôîðìàòîðà Òð4: à � ïîòåðè ïðåîáðàçîâàíèÿ; á � êîýôôèöèåíò øóìà Ï îò åð è ïð åî áð àç îâ àí èÿ , äÁ ×àñòîòà, ÃÃö a) 0 �20 �40 �60 �80 1 3 5 7 9 Ê îý ô ô èö èå íò ø óì à, ä Á ×àñòîòà, ÃÃö á) 60 40 20 0 1 3 5 7 9 Ðèñ. 10. Õàðàêòåðèñòèêè ñìåñèòåëÿ íà îñíîâå òðàíñôîðìàòîðà Òð6: à � ïîòåðè ïðåîáðàçîâàíèÿ; á � êîýôôèöèåíò øóìà Ï îò åð è ïð åî áð àç îâ àí èÿ , äÁ ×àñòîòà, ÃÃö a) 0 �20 �40 �60 0 2 4 6 8 10 Ê îý ô ô èö èå íò ø óì à, ä Á ×àñòîòà, ÃÃö a) 50 40 30 20 10 0 2 4 6 8 10 Ðèñ. 8. Õàðàêòåðèñòèêè ñìåñèòåëÿ íà îñíîâå òðàíñôîðìàòîðà Òð5: à � ïîòåðè ïðåîáðàçîâàíèÿ; á � êîýôôèöèåíò øóìà; â � èíòåðìîäóëÿöèîííûå èñêàæåíèÿ; ã � àìïëèòóäíàÿ õàðàêòåðèñòèêà Ï îò åð è ïð åî áð àç îâ àí èÿ , äÁ ×àñòîòà, ÃÃö à) 0 �20 �40 �60 �80 �100 0 2 4 6 8 10 Ê îý ô ô èö èå íò ø óì à, ä Á ×àñòîòà, ÃÃö á) 80 60 40 20 0 2 4 6 8 10 Ï îò åð è ïð åî áð àç îâ àí èÿ , äÁ Ìîùíîñòü ñèãíàëà Â×, äÁì ã) �6 �10 �14 �18 �30 �20 �10 0 10 20Ì îù íî ñò ü ñè ãí àë à Ï × , äÁ ìâ) 25 15 5 �30 �20 �10 0 10 20 Ìîùíîñòü ñèãíàëà Â×, äÁì 30 ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ× Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5 Çàêëþ÷åíèå Òàêèì îáðàçîì, ïðîâåäåíî èññëåäîâàíèå òðåõ êîí- ñòðóêöèé òðàíñôîðìàòîðîâ, âûïîëíåííûõ â ìíîãî- ñëîéíîé GaAs-òåõíîëîãèè. Ïðåäëîæåí ìåòîä ïðî- ãðàììèðîâàíèÿ êîíñòðóêöèè äëÿ èññëåäîâàíèÿ ýëåê- òðîìàãíèòíûõ ñòðóêòóð. Ïîëó÷åíû òðàíñôîðìàòîðû, îáëàäàþùèå øèðîêîé äëÿ äàííîãî äèàïàçîíà ðàáî- ÷åé ïîëîñîé ÷àñòîò (1,5�5 ÃÃö) è èìåþùèå êîýô- ôèöèåíòû ïåðåäà÷è �4...�8 äÁ ïðè êîýôôèöèåíòàõ îòðàæåíèÿ �15...�20 äÁ. Ïðèâåäåíû àíàëèòè÷åñêèå çàâèñèìîñòè ýëåêòðè÷å- ñêèõ è êîíñòðóêòèâíûõ ïàðàìåòðîâ òðàíñôîðìàòîðîâ. Ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû ìîäåëèðîâàíèÿ ñìåñèòåëåé ñ èñïîëüçîâàíèåì ïîëó÷åííûõ òðàíñôîðìàòîðîâ, â êîòîðûõ äîñòèãíóò áîëüøîé êîýôôèöèåíò ïåðåäà÷è ïðè ìàëûõ çíà÷åíèÿõ øóìîâ, èñêàæåíèé è êîýôôèöèåíòå îòðàæåíèÿ. Ïðè ýòîì èññëåäîâàíèÿ ïðîâîäèëèñü â ïðî- ñòåéøèõ îäíîáàëàíñíûõ ñõåìàõ. Ïîòåðè ïðåîáðàçî- âàíèÿ ñìåñèòåëåé ñîñòàâèëè íå áîëåå �6...�8 äÁ â ïîëîñå 1,2�4 ÃÃö. Äèíàìè÷åñêèé äèàïàçîí �30... 5 äÁ. Ïðè èñïîëüçîâàíèè äâóõáàëàíñíûõ ñõåì ñìåñèòå- ëåé ñëåäóåò îæèäàòü ëó÷øèõ ðåçóëüòàòîâ. Òðàíñôîðìàòîðû ìîãóò èñïîëüçîâàòüñÿ â ñìåñè- òåëÿõ, óñèëèòåëÿõ ìîùíîñòè è äðóãèõ ìîíîëèòíûõ ñòðóêòóðàõ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Kehrer D., Simburger W., Wohlmuth H.-D., Scholtz A. L. Modeling of monolithic lumped planar transformers up to 20 GHz // IEEE Custom Integrated Circuits Conference.� San Diego.� 2001.� P. 401�404. 2. Øåëêîâíèêîâ Á. Í., Áîíäàðü Ä. Á., Ãëóáîêîâ À. À. Ìîäåëè- ðîâàíèå ìîíîëèòíûõ ïëàíàðíûõ òðàíñôîðìàòîðîâ íà ïîäëîæêå èç GaAs / 14-ÿ Ìåæäóíàð. Êðûìñêàÿ ìèêðîâîëíîâàÿ êîíô. «ÑÂ×- òåõíèêà è òåëåêîììóíèêàöèîííûå òåõíîëîãèè».� Ñåâàñòîïîëü.� 2004.� Ñ. 16�20. 3. Long J. R. Monolithic transformers for silicon RFIC design // IEEE J. of Solid State Circuits.� 2000.� Vol. 35, N 9.� P. 1368�1392. 4. Long J. R. Monolithic transformers for silicon RFIC design // IEEE J. of Solid State Circuits.� 2000.� Vol. 35, N 9.� P. 1368�1382. 5. Design and Analysis of On-Chip Symmetric Parallel-Plate Coupled-Line Balun for Silicon RF Integrated circuits. H.Y. D. Yang and J. A. Castaneda. Broadcom Corporation, El Segundo, CA 90245. 6. Cheung D. T. S., Long J. R., Hadaway R. A., Harame D. L. Monolithic transformers for silicon RF IC design / Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting.� Minneapolis.� 1998.� P. 105�108. 7. Sevick J. Understanding transformer operation in double- balanced diode mixers // Applied microwave & wireless, 2000, p. 80�81. 8. Ansoft HFSS in versions 5 and 6 and online help / Ansoft Corpo- ration, Pittsburgh, PA 15219. 9. Agilent Advanced design system (ADS), 2002, User Manuals / Agilent technology, Palo Alto, CA 94304. ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ