Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов

Предложена физическая модель и эквивалентная электрическая схема определения электрического сопротивления контакта и его составляющих, распределения тока и потенциала по слоям....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	Лугин, А.Н., Оземша, М.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Назва видання:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:	Электронные средства: исследования, разработки
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53390
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 15-20. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-53390
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-533902014-01-20T03:13:42Z Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов Лугин, А.Н. Оземша, М.М. Электронные средства: исследования, разработки Предложена физическая модель и эквивалентная электрическая схема определения электрического сопротивления контакта и его составляющих, распределения тока и потенциала по слоям. 2006 Article Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 15-20. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53390 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки
spellingShingle	Электронные средства: исследования, разработки Электронные средства: исследования, разработки Лугин, А.Н. Оземша, М.М. Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description	Предложена физическая модель и эквивалентная электрическая схема определения электрического сопротивления контакта и его составляющих, распределения тока и потенциала по слоям.
format	Article
author	Лугин, А.Н. Оземша, М.М.
author_facet	Лугин, А.Н. Оземша, М.М.
author_sort	Лугин, А.Н.
title	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
title_short	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
title_full	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
title_fullStr	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
title_full_unstemmed	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
title_sort	электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate	2006
topic_facet	Электронные средства: исследования, разработки
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53390
citation_txt	Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 15-20. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
series	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv	AT luginan élektričeskoesoprotivleniekontaktatonkoplenočnyhrezistorov AT ozemšamm élektričeskoesoprotivleniekontaktatonkoplenočnyhrezistorov
first_indexed	2025-07-05T04:48:11Z
last_indexed	2025-07-05T04:48:11Z
_version_	1836781029027741696
fulltext	Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 15 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 10.04�21.08 2006 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Ã. ÑÏÈÐÈÍ (ÀÏÈ, ôèë. ÍÃÒÓ, ã. Àðçàìàñ) Ê. ò. í. À. Í. ËÓÃÈÍ, Ì. Ì. ÎÇÅÌØÀ Ðîññèÿ, ã. Ïåíçà, ÍÈÈ ýëåêòðîííî-ìåõàíè÷åñêèõ ïðèáîðîâ E-mail: niiemp@penza.com ÝËÅÊÒÐÈ×ÅÑÊÎÅ ÑÎÏÐÎÒÈÂËÅÍÈÅ ÊÎÍÒÀÊÒÀ ÒÎÍÊÎÏËÅÍÎ×ÍÛÕ ÐÅÇÈÑÒÎÐÎÂ Ïðåäëîæåíà ôèçè÷åñêàÿ ìîäåëü è ýêâè- âàëåíòíàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà îïðåäå- ëåíèÿ ýëåêòðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ êîíòàêòà è åãî ñîñòàâëÿþùèõ, ðàñïðå- äåëåíèÿ òîêà è ïîòåíöèàëà ïî ñëîÿì. Ïðîáëåìà èññëåäîâàíèÿ õàðàêòåðèñòèê òîíêîïëå- íî÷íîãî êîíòàêòà ïðàêòè÷åñêè âñåãäà àêòóàëüíà â ìèêðîýëåêòðîíèêå, îäíèì èç ýëåìåíòîâ êîòîðîé ÿâ- ëÿþòñÿ òîíêîïëåíî÷íûå ðåçèñòîðû (ÒÏÐ) [1�8]. Ïóá- ëèêàöèè ïîñëåäíèõ ëåò [9�11] ñâèäåòåëüñòâóþò î åå çíà÷èìîñòè è â íàñòîÿùèé ïåðèîä. Â òî æå âðåìÿ èìå- þùèåñÿ òåîðåòè÷åñêèå èññëåäîâàíèÿ ïîêà íå äàþò ïîë- íîãî îòâåòà ïî êîëè÷åñòâåííîé îöåíêå ýëåêòðè÷å- ñêèõ õàðàêòåðèñòèê ñîñòàâëÿþùèõ êîíòàêòíîãî óçëà (ðàñïðåäåëåíèÿ òîêîâ, ïîòåíöèàëîâ, ñîïðîòèâëåíèÿ ñ òî÷íûì óêàçàíèåì íàèáîëåå íàãðóæåííûõ, à çíà÷èò íàèáîëåå íåñòàáèëüíûõ è íåíàäåæíûõ ìåñò), à èõ ðå- êîìåíäàöèè íå ïîçâîëÿþò â äîñòàòî÷íîé ìåðå â öå- ëîì ïðîèçâåñòè îöåíêó êîíñòðóêöèè è òåõíîëîãèè ïðè ïðîåêòèðîâàíèè îñîáîñòàáèëüíûõ òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ. Òàêîå ïîëîæåíèå îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî ñîïðîòèâ- ëåíèå êîíòàêòà, êîòîðîå ÿâëÿåòñÿ ñîñòàâëÿþùåé ïîëíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ÒÏÐ, îïðåäåëÿåòñÿ â íàñòîÿùåå âðåìÿ â îñíîâíîì ñîïðîòèâëåíèåì ìåòàëëèçàöèè è, ðåæå, ñîïðîòèâëåíèåì ïåðåõîäíîãî ñëîÿ, êîòîðûå èìåþò òåìïåðàòóðíóþ è âðåìåííóþ ñòàáèëüíîñòü ìíîãî íèæå àíàëîãè÷íûõ õàðàêòåðèñòèê ìàòåðèàëà ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Òàê, â ðàáîòå [11] ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà îöå- íèâàåòñÿ âåëè÷èíîé ñîïðîòèâëåíèÿ ìåòàëëèçàöèè íà îñíîâå ñèñòåìû "âàíàäèé�àëþìèíèé", ðàâíîé 0,39� 2,0 Îì. Òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò ñîïðîòèâëåíèÿ (ÒÊÑ) èëè òåìïåðàòóðíàÿ íåñòàáèëüíîñòü ýòèõ ìåòàë- ëîâ äîñòèãàåò âåëè÷èíû (3400�4700)·10�6 1/°Ñ è îãðàíè÷èâàåò ïîëó÷åíèå íèçêèõ çíà÷åíèé òåìïåðàòóð- íîãî êîýôôèöèåíòà ñîïðîòèâëåíèÿ ÒÏÐ â öåëîì. Â òî æå âðåìÿ ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà ñîñòîèò èç ñîïðîòèâëåíèÿ ìåòàëëèçàöèè, ïåðåõîäíîãî ñëîÿ è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ, íàõîäÿùèõñÿ ïîä ìåòàëëèçàöèåé. ×åòêîãî ïîíèìàíèÿ ðàçìåðîâ âêëàäà êàæäîé ñîñòàâ- ëÿþùåé â ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà, à òàêæå ìåòîäîâ èõ îïðåäåëåíèÿ, â íàñòîÿùåå âðåìÿ íåò. Â îñíîâíîì âñå èçâåñòíûå òåîðåòè÷åñêèå èññëåäîâàíèÿ ïîñòðîåíû íà ìàòåìàòè÷åñêèõ ðàñ÷å- òàõ è àíàëèçå ïëîñêèõ ìîäåëåé, ïðåäñòàâëåííûõ â ðàáîòàõ [1, 3], à çàòåì â ðàáîòå [5, ñ. 367�373]. Ïî- äîáíûé ïîäõîä ê ðàñ÷åòó èçëîæåí â ðàáîòàõ [2, 12, 13]. Â íèõ íå ïðèâîäèòñÿ èíôîðìàöèÿ î âåëè÷èíå ñî- ñòàâëÿþùèõ êîíòàêòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ � ñîïðîòèâ- ëåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê, îáðàçóþùèõ êîíòàêò, ñîïðîòèâ- ëåíèÿ ïåðåõîäíîãî ñëîÿ, à ïðè íàëè÷èè ïîäñëîÿ � è åãî ñîïðîòèâëåíèÿ. Ïðèíÿòûå óïðîùåííûå ôèçèêî-ìàòåìàòè÷åñêèå îäíîìåðíûå ìîäåëè ïîçâîëÿþò ïðîâîäèòü èññëåäî- âàíèå òîëüêî â îäíîì èçìåðåíèè � ïî äëèíå êîíòàê- òà (ðèñ. 1). Ðàñïðåäåëåíèå òîêîâ è ïîòåíöèàëîâ ïî òîëùèíå ñëîåâ è, òåì áîëåå, ïî èõ øèðèíå íå àíàëè- çèðóåòñÿ. Ìîäåëèðîâàíèå ñ ïðèìåíåíèåì ýêâèâàëåíò- íûõ ýëåêòðè÷åñêèõ ñõåì (ðèñ. 2) òàêæå îäíîìåðíî, óïðîùåííî è â íåïîëíîé ìåðå îòðàæàåò ïðîèñõîäÿ- ùèå ïðîöåññû ðàñïðåäåëåíèÿ òîêîâ è ïîòåíöèàëîâ â ðåàëüíîì îáúåìíîì êîíòàêòíîì óçëå. Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî ïî ýòîé æå ïðè÷èíå è èñïîëüçîâàíèå â óïîìÿíóòûõ ìîäåëÿõ è â ðàñ÷åòàõ óäåëüíîãî ýëåêòðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ â âèäå óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî è ïîãîííîãî ñîïðîòèâëå- íèÿ òîíêèõ ïëåíîê, ïîãîííîé ïðîâîäèìîñòè ïåðåõîä- íîãî ñëîÿ äëÿ òîêà â íàïðàâëåíèè, ïåðïåíäèêóëÿð- íîì ýòîìó ñëîþ, ìîæåò îòâå÷àòü òîëüêî òåì óïðî- Ðèñ. 1. Îäíîìåðíàÿ ðàñ÷åòíàÿ ìîäåëü êîíòàêòíîãî óçëà [1]: à � óñëîâíûé ðàçðåç êîíòàêòíîãî óçëà; á � îòðåçîê êîíòàêòíîãî óçëà; I0 � òîê íà âõîäå (âûõîäå) êîíòàêòíîãî óçëà; U0 � ïàäåíèå íà- ïðÿæåíèÿ íà êîíòàêòíîì óçëå; U � òåêóùåå çíà÷åíèå ïàäåíèÿ íàïðÿæåíèÿ íà ïåðåõîäíîì ñëîå; r1, r2 � ïîãîííûå ñîïðîòèâëå- íèÿ ñëîÿ ìåòàëëèçàöèè è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ; rê � ñîïðîòèâëåíèå ïåðåõîäíîãî ñëîÿ à) I0 I I0�I I0U0 r1 rê r2 õ=0 õ U á) I0�I U I r1 rê r2õ dx I I dx x ∂+ ∂ U U dx x ∂+ ∂ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 16 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ ùåííûì ìîäåëÿì, êîòîðûå èññëåäîâàëèñü. Â ðåàëü- íîì æå êîíòàêòå â îáùåì ñëó÷àå íàïðàâëåíèå òîêà èìååò ïðîñòðàíñòâåííûé õàðàêòåð, è çàäà÷à äîëæíà ðåøàòüñÿ ñ ó÷åòîì òðåõ âçàèìíîïåðïåíäèêóëÿðíûõ íàïðàâëåíèé ðàñïðîñòðàíåíèÿ òîêà. Íåîáõîäèìîñòü ñîçäàíèÿ ÒÏÐ ñ äîïóñêàåìûì îò- êëîíåíèåì è íåñòàáèëüíîñòüþ ñîïðîòèâëåíèÿ íå áî- ëåå ±0,001% è ÒÊÑ ±1·10�6 1/°Ñ âûäâèãàåò çàäà÷ó óãëóáëåííîãî èçó÷åíèÿ óêàçàííûõ ïðîáëåì, è ïðåæäå âñåãî ïðîáëåìû îöåíêè âåëè÷èíû ñîñòàâëÿþùèõ êîí- òàêòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ è ðàñïðåäåëåíèÿ òîêîâ è ïî- òåíöèàëîâ â êîíòàêòå. Äëÿ ðåøåíèÿ ïîñòàâëåííîé çàäà÷è áûëè ðàññìîò- ðåíû ñõåìàòè÷íûå èçîáðàæåíèÿ òîíêîïëåíî÷íîãî ðå- çèñòîðà è îáúåìíîé êîíñòðóêöèè êîíòàêòíîãî óçëà, õàðàêòåðíûå äëÿ áîëüøèíñòâà ÒÏÐ è ìíîãèõ ìèêðî- ñõåì (ðèñ. 3). Ðåçèñòîð ñîñòîèò èç ìåòàëëèçàöèè 1, ïîäñëîÿ 2, ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ 3 ñ âåëè÷èíîé óäåëü- íîãî îáúåìíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ìàòåðèàëîâ ñîîòâåò- ñòâåííî ρê, ρï, ρ, äèýëåêòðè÷åñêîé ïîäëîæêè 4, ñîåäè- íèòåëüíûõ ïðîâîäíèêîâ 5. Ðåçèñòèâíûé ñëîé, íàõî- äÿùèéñÿ ïîä ìåòàëëèçàöèåé è ïîäñëîåì, ÿâëÿåòñÿ ñîñòàâíîé ÷àñòüþ êîíòàêòíîãî óçëà (êîíòàêòà). Â îá- ùåì ñëó÷àå ïîäñëîé ìîæíî èäåíòèôèöèðîâàòü è êàê àäãåçèîííûé, è êàê áàðüåðíûé, èìåþùèå ðàçëè÷íîå íàçíà÷åíèå, à òàêæå êàê ïåðåõîäíîé, îáðàçóþùèéñÿ ìåæäó ìåòàëëèçàöèåé è ðåçèñòèâíûì ñëîåì. Äëÿ ïðîâåäåíèÿ äàëüíåéøåãî ðàñ÷åòà è àíàëèçà ïðåäñòàâèì ðàñïðåäåëåíèå òîêà â êîíòàêòíîì óçëå â âèäå ðèñ. 4. Ïîñêîëüêó ïðèìåíèòü ìåòîäèêó ðàñ÷åòà, èçëîæåí- íóþ â ðàáîòå [1], áûëî äîñòàòî÷íî ñëîæíî, äëÿ àíà- ëèçà ïàðàìåòðîâ êîíòàêòíîãî óçëà èñïîëüçîâàëàñü ìåòîäèêà, ïîäîáíàÿ èçëîæåííîé â ðàáîòå [14]. Äëÿ ýòîãî âåñü îáúåì êîíñòðóêöèè ïî îñÿì X, Y, Z áûë ðàçäåëåí íà êóáèêè, âåëè÷èíà ðåáðà lp êîòîðûõ êðàò- íà ìèíèìàëüíîìó ðàçìåðó òîëùèí ñëîåâ lê, lï, l èëè (ïðè l< lï< lê, ÷òî õàðàêòåðíî äëÿ ÒÏÐ) âåëè÷èíå p , l l p = ãäå p=2, 3� . Äàëåå êàæäûé èç êóáèêîâ áûë ïðåäñòàâëåí â âèäå ðåçèñòîðà ñ ñîïðîòèâëåíèåì, ýêâèâàëåíòíûì óäåëü- íîìó îáúåìíîìó ñîïðîòèâëåíèþ ñëîÿ. Â ðåçóëüòàòå áûëà ïîëó÷åíà îáúåìíàÿ ìîäåëü â âèäå ýêâèâàëåíò- íîé ýëåêòðè÷åñêîé ñõåìû çàìåùåíèÿ êîíòàêòíîãî óçëà (ðèñ. 5). Äëÿ ðàñ÷åòà ñîïðîòèâëåíèÿ, òîêîâ è ïîòåíöèàëîâ îòäåëüíûõ ó÷àñòêîâ êîíòàêòíîãî óçëà, òàê æå, êàê è â ðàáîòå [14], èñïîëüçîâàëñÿ ìåòîä óçëîâûõ ïîòåíöèà- ëîâ [15], à äëÿ ðåøåíèÿ ïîëó÷åííûõ è ïðåäñòàâëåííûõ â ìàòðè÷íîé ôîðìå óðàâíåíèé � ìåòîä Ãàóññà [16]. Ðàñ÷åò ïàðàìåòðîâ êîíòàêòíîãî óçëà ïðîâîäèëñÿ ñ ó÷åòîì òîëùèí ìåòàëëèçàöèè è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ, áëèçêèõ ê ðåàëüíûì, � lê äî 2 ìêì, l äî 0,1 ìêì (1000 Å). Òîëùèíà ïîäñëîÿ ïðèíèìàëàñü ðàâíîé 2 l pîò òîëùèíû ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Èñõîäíóþ âåëè÷èíó óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ìàòåðèàëà ïðèíèìàëè ρs=500 Îì/ ; ïSρ =5 Îì/ è êSρ =0,05 Îì/ ñîîòâåòñòâåííî äëÿ ðå- çèñòèâíîãî ñëîÿ, ïîäñëîÿ è ìåòàëëèçàöèè. Ýòî òàêæå Ðèñ. 2. Ìîäåëü êîíòàêòíîãî óçëà â âèäå ýêâèâàëåíòíîé ýëåêòðè÷åñêîé ñõåìû [3]: à � Ò-îáðàçíàÿ ñõåìà; á � Ï-îáðàçíàÿ ñõåìà à) I0 I0 r1 r2 rê á) I0 I0 r1 r2 rê Ðèñ. 3. Ñõåìàòè÷íîå èçîáðàæåíèå òîíêîïëåíî÷íîãî ðå- çèñòîðà (à) è óïðîùåííîé îáúåìíîé êîíñòðóêöèè êîí- òàêòíîãî óçëà òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà (á): 1 � ìåòàëëèçàöèÿ êîíòàêòà; 2 � ïîäñëîé; 3 � ðåçèñòèâíûé ñëîé; 4 � äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïîäëîæêà; 5 � ñîåäèíèòåëüíûå ïðîâîäíè- êè; M, N, lê, lï, l � ëèíåéíûå ðàçìåðû êîíòàêòíîãî óçëà; m, n � ëèíåéíûå ðàçìåðû ó÷àñòêà ðåçèñòèâíîé ïëåíêè, ïðèìûêàþùåé ê êîíòàêòó; À � òî÷êà ïðèñîåäèíåíèÿ ñîåäèíèòåëüíîãî ïðîâîäíè- êà è âõîæäåíèÿ òîêà à) 1 2 3 4 5 5 á) lê lï l Ì Ì/2 À N/2 N Z X Y n m 1 2 3 I I1I3 I5 I I2 I4 I8 I9 I7 Ðèñ. 4. Ñõåìàòè÷íîå ïðåäñòàâëåíèå ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà â êîíòàêòíîì óçëå: I � âõîäÿùèé (âûõîäÿùèé) òîê; I1 � I9 � ñîñòàâëÿþùèå òîêà ïî îñÿì X, Y, Z â ñëîÿõ êîíòàêòíîãî óçëà I6 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 17 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ ñîîòâåòñòâóåò âåëè÷èíàì, íàèáîëåå ÷àñòî èñïîëüçóå- ìûì â ïðîèçâîäñòâå ïðåöèçèîííûõ ÒÏÐ èç êåðìåòà Ê20Ñ, ïîäñëîÿ âàíàäèÿ è àëþìèíèåâîé ìåòàëëèçà- öèè. Óäåëüíîå îáúåìíîå ñîïðîòèâëåíèå ñëîåâ îïðå- äåëÿëîñü â ñîîòâåòñòâèè ñ âûðàæåíèåì iS i ilρ = ρ [17, c. 56], ãäå iSρ , ρi, li � óäåëüíîå ïîâåðõíîñòíîå è óäåëüíîå îáúåìíîå ñîïðîòèâëåíèå è òîëùèíà ñëîåâ, ñîîòâåòñòâåííî. Òî åñòü êê ê ,S lρ = ρ ïï ï ,S lρ = ρ Slρ = ρ èëè, ñ ó÷åòîì ïðèíÿòîé ìîäåëè, ê ê ê ð ;S l pl l ρ = ρ ï ï ï ð ;S l pl l ρ = ρ p.S plρ = ρ Â ýòîì ñëó÷àå ñîîòíîøåíèå îáúåìíîãî ñîïðîòèâ- ëåíèÿ äëÿ êàæäîãî ñëîÿ â âèäå iρ ρ ñîñòàâèò: 1 � äëÿ ìåòàëëèçàöèè; ï ê ïï ê ê S S l l ρρ = ρ ρ � äëÿ ïîäñëîÿ; êê ê S S l l ρρ = ρ ρ � äëÿ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Ðàñ÷åò áûë ïðîâåäåí äëÿ ðàçëè÷íûõ âåëè÷èí ãåî- ìåòðè÷åñêèõ ðàçìåðîâ êîíòàêòíîãî óçëà è ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèé óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïîäñëîÿ â ïðåäå- ëàõ îò óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ìåòàëëèçàöèè äî óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Îãðà- íè÷åíèÿ, íàêëàäûâàåìûå â ðàñ÷åòå, îïðåäåëÿþòñÿ âîçìîæíîñòüþ ïðèìåíÿåìîé ÏÝÂÌ. Â äàííîé ðàáîòå áûë ïðîâåäåí ðàñ÷åò êîíòàêòîâ ñ îãðàíè÷åíèåì ïî äëèíå äî 7 ìêì è ïî øèðèíå äî 2 ìêì. Âõîä òîêà â êîíòàêò ðàñïîëàãàëñÿ â öåíòðå âåðõíåé ïîâåðõíîñòè, âûõîä � ïî ñå÷åíèþ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ âíå êîíòàêòà. Ñîîòíîøåíèå ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ è óäåëüíîãî îáúåì- íîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïðè ðàñ÷åòå äëÿ êàæäîãî ñëîÿ ïî- êàçàíî íà íèæåïðèâåäåííûõ ðèñóíêàõ â âèäå òàáëèö , N p l , M p l ,il p l ãäå li=lê, lï, l; ï ê ê 1, ,iρ ρ ρ= ρ ρ ρ èëè ï ê ê ïi ê ê 1, ,S S S S l l l l ρ ρρ = ρ ρ ρ � äëÿ ìåòàëëèçàöèè, ïîäñëîÿ è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ, ñîîòâåòñòâåííî; Ñ � èçìåíÿåìîå ñîîòíîøåíèå. Íåêîòîðûå èç îñíîâíûõ ïîëó÷åííûõ äàííûõ ðàñ- ÷åòà ïðåäñòàâëåíû íà ðèñ. 6�9. Íà ðèñ. 6 ïðèâåäåíû ãðàôèêè ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà j ïî äëèíå ïåðåõîäà èç ïîäñëîÿ â ðåçèñòèâíûé ñëîé â çàâèñèìîñòè îò äëèíû êîíòàêòíîé ïëîùàäêè N ïðè ïîñòîÿííûõ îñòàëüíûõ ðàçìåðàõ è óäåëüíîì ñîïðî- òèâëåíèè ñëîåâ. Êàê ìîæíî çàêëþ÷èòü, 82% âåëè÷è- íû òîêà ïåðåõîäèò â ðåçèñòèâíûé ñëîé íà äëèíå êî- íå÷íîãî ó÷àñòêà êîíòàêòà, ðàâíîé 0,1 ìêì, íåçàâèñè- ìî îò äëèíû êîíòàêòà. Ïðèìåíèòåëüíî ê íàèáîëåå ðàñ- ïðîñòðàíåííîé äëèíå êîíòàêòíîé ïëîùàäêè â 100 ìêì ýòî ñîñòàâèò 10�3 èëè 10�3 îò ïëîùàäè 104 ìêì2 ïðè ðàçìåðàõ êîíòàêòà 100×100 ìêì. Ýòî î÷åíü áëèçêî ê ýêñïåðèìåíòàëüíûì äàííûì (10�6�10�7 îò ïëîùàäè 60 ìì2), ïðèâåäåííûì â ïóáëèêàöèè [4], ïðè ðàçìå- ðàõ êîíòàêòà 6×10 ìì. Íà ðèñ. 7 ïðèâåäåíû ãðàôèêè ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà j ïî äëèíå ïåðåõîäà èç ïîäñëîÿ â ðåçèñòèâíûé ñëîé â çàâèñèìîñòè îò øèðèíû êîíòàêòà Ì, òîëùèíû ìåòàë- ëèçàöèè lê è óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïîäñëîÿ ρï. Êàê ìîæíî îòìåòèòü, 82% âåëè÷èíû òîêà ïåðåõîäèò â ðå- çèñòèâíûé ñëîé íà äëèíå êîíå÷íîãî ó÷àñòêà êîíòàê- òà, òàêæå ðàâíîé 0,1 ìêì, íåçàâèñèìî îò èçìåíÿå- ìûõ ïàðàìåòðîâ Ì, lê, ρï. Íà ðèñ. 8 ïðèâåäåí ãðàôèê èçìåíåíèÿ òîêà j íà äëèíå êîíå÷íîãî ó÷àñòêà êîíòàêòà â 0,1 ìêì â çàâè- ñèìîñòè îò øèðèíû êîíòàêòà. Íà ðèñ. 9 ïîêàçàí ãðàôèê èçìåíåíèÿ òîêà j ïî òîë- ùèíå ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ l â ñå÷åíèè, ïåðïåíäèêóëÿð- íîì ïîâåðõíîñòè ýòîãî ñëîÿ, íà ãðàíèöå îêîí÷àíèÿ êîíòàêòà. Êàê âèäíî, âõîäÿùèé â ðåçèñòèâíûé ñëîé òîê íåðàâíîìåðåí ïî òîëùèíå ýòîãî ñëîÿ � â âåðõíåé j I I = 0,6 0,4 0,2 0 I II III IV 0,82 0,1 0,3 0,5 0,7 0,9 1,1 1,3 1,5 1,7 Õ, ìêì Ðèñ. 6. Ðàñïðåäåëåíèå òîêà j ïî äëèíå ïåðåõîäà èç ïîäñëîÿ â ðåçèñòèâíûé ñëîé â çàâèñèìîñòè îò äëèíû N êîíòàêòà: I � N=0,5 ìêì; II � N=1 ìêì; III � N=1,5 ìêì; IV � N=2,0 ìêì Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 Ñ 20 20 — 1 2 Ñ 20 2 — 10 3 Ñ 20 2 4 1000 M=1,0 ìêì; p=2; N C p l = Èñõîäíûå äàííûå I I ρ i Ðèñ. 5. Îáúåìíàÿ ìîäåëü â âèäå ýêâèâàëåíòíîé ýëåêòðè- ÷åñêîé ñõåìû çàìåùåíèÿ êîíòàêòíîãî óçëà: ρi � îáúåìíîå óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå i-ãî ñëîÿ êîíòàêòíîãî óçëà; I � âõîäÿùèé (âûõîäÿùèé) òîê Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 18 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Ðèñ. 7. Ðàñïðåäåëåíèå òîêà j ïî äëèíå ïåðåõîäà èç ïîäñëîÿ â ðåçèñòèâíûé ñëîé â çàâèñèìîñòè îò øèðèíû êîíòàêòà Ì (à), òîëùèíû ìåòàëëèçàöèè lê (á) è óäåëüíîãî îáúåìíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïîäñëîÿ ρï (â): N=1,0 ìêì; ð=2; X � òåêóùèé ðàçìåð äëèíû; X � îòíîñèòåëüíûé ðàçìåð äëèíû; ï ï ê C ρ= ρ = ρ j I I = 0,6 0,4 0,2 0 0,82 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 I�IV á) Èñõîäíûå äàííûå I � lê=0,5 ìêì; II � lê=1 ìêì; III � lê=1,5 ìêì; IV � lê=2 ìêì X X N = Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 20 20 Ñ — 1 2 20 20 2 — 10 3 20 20 2 4 1000 j I I = 0,6 0,4 0,2 0 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 X X N = I�IV à) Èñõîäíûå äàííûå I � Ì=0,5 ìêì; II � Ì=1 ìêì; III � Ì= =1,5 ìêì; IV � Ì=2 ìêì 0,82 j I I = 0,6 0,4 0,2 0 0,82 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 I�VII â) Èñõîäíûå äàííûå I � ï 1;ρ = II � ï ρ = 5; III � ï ρ = 10; IV � ï ρ = 20; V � ï ρ = 50; VI � ï ρ = 100; VII � ï ρ = 500 Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 20 20 20 — 1 2 20 20 2 — Ñ 3 20 20 2 4 1000 X X N = Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 20 Ñ 20 — 1 2 20 Ñ 2 — 10 3 20 Ñ 2 4 1000 j I I = 0,14 0,1 0,06 0,02 0 0,5 1,0 1,5 2,0 Ì, ìêì Èñõîäíûå äàííûå Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 20 Ñ 20 — 1 2 20 Ñ 2 — 10 3 20 Ñ 2 4 1000 ; 2 M C p p l = = Ðèñ. 8. Èçìåíåíèå òîêà j íà äëèíå è ïî øèðèíå êîíå÷íîãî ó÷àñòêà êîíòàêòà â 0,1 ìêì ïðè åãî ïåðåõîäå â ðåçèñòèâ- íûé ñëîé â çàâèñèìîñòè îò øèðèíû êîíòàêòà Ðèñ. 9. Ðàñïðåäåëåíèå òîêà j ïî ó÷àñòêàì òîëùèíû ðåçè- ñòèâíîãî ñëîÿ â ñå÷åíèè íà ãðàíèöå îêîí÷àíèÿ êîíòàêòà. Çäåñü Z � òåêóùèé ðàçìåð òîëùèíû; Z � îòíîñèòåëü- íûé ðàçìåð òîëùèíû; ð=20 j I I = 0,6 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0,1 0,08 0,08 0,08 0,07 0,07 0,07 0,07 0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 Z Z l = 0,24 0,14 äåñÿòîé ÷àñòè òîê ñîñòàâëÿåò 0,24 îáùåãî òîêà ÷åðåç âåñü ñëîé, ÷òî áîëåå ÷åì â 3 ðàçà áîëüøå òîêà íèæ- íåé äåñÿòîé ÷àñòè. Òàêèì îáðàçîì, íàèáîëåå íàãðóæåííûì ó÷àñòêîì ðåçèñòîðà ïî ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ è ïëîòíîñòè òîêà â êîíòàêòå áóäåò çîíà ïåðåõîäà òîêà â ðåçèñòèâíûé ñëîé, îãðàíè÷åííàÿ âåëè÷èíîé 0,1 ìêì ïî äëèíå ïåðåõîäà íà êîíå÷íîì ó÷àñòêå êîíòàêòà è îêîëî 0,2 îò òîëùè- íû ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ ïî ãëóáèíå â ñå÷åíèè ïî ãðà- íèöå êîíòàêòà. Ïðè ýòîì íà äàííîì ó÷àñòêå óäåëüíàÿ ìîùíîñòü ðàññåÿíèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ ïðàêòè÷åñêè íà ïîðÿäîê. Íà ðèñ. 10 ïðåäñòàâëåíî â ñîêðàùåííîì âèäå ðàñ- ïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà ïî êðàéíèì âåðõíèì è íèæ- íèì ãîðèçîíòàëüíûì ðàñ÷åòíûì ñëîÿì ìåòàëëèçàöèè, ïîäñëîÿ è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ äëÿ èñõîäíûõ äàííûõ, óêàçàííûõ â òàáëèöå ïðè I=1 è ρs=500 Îì/ . Íà ðèñ. 11 äëÿ òåõ æå èñõîäíûõ äàííûõ ïðåäñòàâëåíî Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 19 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà ïî ñëîÿì êîíòàêòà (ìåòàëëè- çàöèÿ�ïîäñëîé�ðåçèñòèâíûé ñëîé) â âåðòèêàëüíîì öåíòðàëüíîì ñå÷åíèè. Èç ïðåäñòàâëåííûõ ðèñ. 10 è 11 âèäíî, ÷òî ýëåêò- ðè÷åñêèé ïîòåíöèàë â ðàçëè÷íûõ òî÷êàõ îáúåìà êîí- òàêòà ðàçëè÷åí, è ïîýòîìó òî÷íîå èçìåðåíèå èëè îïðåäåëåíèå ðàçíîñòè ïîòåíöèàëîâ ïî ýêñïåðèìåíòàëü- íûì äàííûì ìåæäó ñëîÿìè, ïî êðàéíåé ìåðå, äîñòà- òî÷íî ñëîæíî, òàê æå, êàê è îïðåäåëåíèå ýëåêòðè- ÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ, âíîñèìîãî êàæäûì ñëîåì â îòäåëüíîñòè. Ïîýòîìó äëÿ îöåíêè ñîñòàâëÿþùèõ ýëåêòðè÷å- ñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïðåäëàãàåòñÿ èñïîëüçîâàòü ñâå- äåíèÿ î âåëè÷èíå ïîòåíöèàëà â ñå÷åíèè ÀÁ íà ãðàíè- öå êîíòàêòà (êîòîðàÿ â êàêîé-òî ñòåïåíè ýêâèâàëåíòíà òîêó j â ýòîì ñå÷åíèè, ðàâíîìó âõîäíîìó òîêó) è ðàñ- ÷åòíîå çíà÷åíèå ïîòåíöèàëà òî÷åê Â è À/ äëÿ êàæäîãî ñëîÿ. Òîãäà ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå âñåãî êîí- òàêòà ìåæäó òî÷êîé âõîäà I è ñå÷åíèåì ÀÁ, êàê ýòî ñäåëàíî â ðàáîòå [1] ïðè îïðåäåëåíèè ýôôåêòèâíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ, ìîæíî íàéòè èç âûðàæåíèÿ ,AU R I = Îöåíêó ñîïðîòèâëåíèÿ ñîñòàâëÿþùèõ ýëåêòðè÷å- ñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïî ñëîÿì îðèåíòèðîâî÷íî ìîæ- íî ïðîèçâåñòè ïî ñîîòíîøåíèþ ñîîòâåòñòâóþùèõ ñëî- ÿì ïîòåíöèàëîâ òî÷åê À/ è Â îòíîñèòåëüíî òî÷êè âõî- äà è ðàññ÷èòàííîé ðàíåå âåëè÷èíû ñîïðîòèâëåíèÿ êîíòàêòà. Íà ðèñ. 12 ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ñî- ïðîòèâëåíèÿ ó÷àñòêà ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ, îãðàíè÷åí- íîãî êîíòàêòîì, è ó÷àñòêîâ ìåòàëëèçàöèè è ïîäñëîÿ, âíîñÿùèõ äåñòàáèëèçèðóþùèé ôàêòîð â ïàðàìåòðû ðåçèñòîðà (ïîñêîëüêó ìàòåðèàë ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ èìååò âðåìåííóþ è òåìïåðàòóðíóþ ñòàáèëüíîñòü ìíî- ãî ëó÷øå, ÷åì ìàòåðèàë ìåòàëëèçàöèè è ïîäñëîÿ). Îáùåå ñîïðîòèâëåíèå ìåòàëëèçàöèè è ïîäñëîÿ Rêï â ðàññìàòðèâàåìîì ñëó÷àå, ò. å. ïðè l=0,1 ìêì è M=N=lê=1 ìêì, ðàâíî îêîëî 2,1 Îì è îñòàåòñÿ ïðàê- òè÷åñêè ïîñòîÿííûì â øèðîêîì äèàïàçîíå óäåëüíî- ãî ñîïðîòèâëåíèÿ (5�500 Îì/ ) ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Ïðàêòè÷åñêè ïîñòîÿííî è ñîîòíîøåíèå ñîïðîòèâëå- íèÿ, êîòîðîå âíîñèò ðåçèñòèâíûé ñëîé ïîä êîíòàêòîì R, è óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ðåçè- ñòèâíîãî ñëîÿ, êîòîðîå ñîñòàâëÿåò äëÿ ðàññìîòðåí- íîãî ñëó÷àÿ 0,078. Åñëè ïåðåéòè ê êîíòàêòíîé ïëîùàäêå ñ ðàçìåðàìè N=M=100 ìêì, òî ñîïðîòèâëåíèå ìåòàëëèçàöèè è ïîäñëîÿ ñîñòàâèò 0,021 Îì, à ñîïðîòèâëåíèå ðåçèñ- òèâíîãî ó÷àñòêà êîíòàêòà ñîñòàâèò 0,39 Îì, ÷òî îãðà- íè÷èâàåò ñîçäàíèå ïðåöèçèîííûõ ÒÏÐ ñ ìàëûì çíà- ÷åíèåì ýëåêòðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïðè âûñîêîì óäåëüíîì ïîâåðõíîñòíîì ñîïðîòèâëåíèè ðåçèñòèâíî- ãî ñëîÿ. Â òî æå âðåìÿ ýòè ðàñ÷åòû ïîêàçûâàþò, ÷òî à) á) â) ã) ä) å) 0,324 0,330 0,334 0,322 U=0,000 I 0,333 0,324 0,330 0,334 0,346 0,357 0,404 0,346 0,357 0,404 0,346 0,357 0,404 0,346 0,356 2,117 0,346 0,356 2,117 0,346 0,356 2,117 0,346 0,363 2,117 0,346 0,363 2,117 0,346 0,363 2,117 0,347 0,363 38,758 63,758 138,758 0,347 0,363 38,758 63,758 138,758 0,347 0,363 38,758 63,758 138,758 0,347 0,377 38,758 63,758 138,758 0,347 0,377 38,758 63,758 138,758 0,347 0,377 38,758 63,758 138,758 Íîìåð ñëîÿ (ñì. ðèñ. 3, à) N p l M p l il p l n p l ê iρ ρ 1 20 20 20 — 1 2 20 20 2 — 10 3 20 20 2 4 1000 Èñõîäíûå äàííûå Ðèñ. 10. Ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà ïî êðàéíèì âåðõíèì è íèæíèì ãîðèçîíòàëüíûì ðàñ÷åòíûì ñëîÿì ìåòàëëèçà- öèè, ïîäñëîÿ è ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ: à, â, ä � âåðõíèå ñëîè; á, ã, å � íèæíèå ñëîè ãäå R � UA � îáùåå ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà; ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ìåæäó òî÷êîé A è âõîäîì òîêà I â êîíòàêò. 0,322 0,346 0,346 0,346 0,347 0,347 0,000 0,333 0,404 (Â) 2,117 (Â/) 2,117 (À/) 38,758 (À) 38,758 (Á) 63,758 (À//) 63,758 (Á/) 138,758 138,758 I Ã Ã / I Ðèñ. 11. Ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà ïî ñëîÿì êîí- òàêòà â âåðòèêàëüíîì öåíòðàëüíîì ñå÷åíèè. Çíà÷åíèÿ ïîòåíöèàëîâ äàíû äëÿ êðàéíèõ âåðõ- íèõ è íèæíèõ ãîðèçîíòàëüíûõ ðàñ÷åòíûõ ñëîåâ: 1 � ìåòàëëèçàöèÿ; 2 � ïîäñëîé; 3 � ðåçèñòèâíûé ñëîé; À, À/, À//; Á, Á/; Â, Â/ � áëèçëåæàùèå òî÷êè ñëîåâ â ýêâèâàëåíòíîé ýëåêòðè÷åñêîé ñõåìå; Ã, Ã/ � òî÷êè âûõîäà òîêà èç ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ â ýêâèâàëåíòíîé ýëåê- òðè÷åñêîé ñõåìå 1 2 3 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6 20 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ ïðè ρS=500 Îì/ ñîïðîòèâëåíèå äåñòàáèëèçèðóþùèõ ó÷àñòêîâ ñîñòàâëÿåò ìåíåå 5% ïîëíîãî ñîïðîòèâëå- íèÿ êîíòàêòíîãî óçëà. *** Ïî ðåçóëüòàòàì èññëåäîâàíèé ìîæíî ñäåëàòü ñëå- äóþùèå âûâîäû. Ïðåäëîæåííàÿ ôèçè÷åñêàÿ ìîäåëü è ýêâèâàëåíò- íàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íûõ ðå- çèñòîðîâ (ÒÏÐ) ïîçâîëÿþò: � îïðåäåëèòü ðàñïðåäåëåíèå òîêà è ïîòåíöèàëà ïî îáúåìíîé êîíñòðóêöèè êîíòàêòà ÒÏÐ; � ïðîèçâåñòè îöåíêó îáùåãî ñîïðîòèâëåíèÿ êîíòàêòà è îòäåëüíûõ ó÷àñòêîâ, ñîñòàâëÿþùèõ êîí- òàêò, � ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ, ìåòàëëèçàöèè, ïîäñëîÿ; �ïîêàçàòü, ÷òî ðàñïðåäåëåíèå òîêà ïî òîëùèíå l ðåçèñòèâíîé ïëåíêè íåðàâíîìåðíî; ðàñ÷åòíûé òîê â ïðèãðàíè÷íîé çîíå êîíòàêòà â âåðõíåì ñëîå ðåçèñ- òèâíîé ïëåíêè ìíîãîêðàòíî (äëÿ ïðèâåäåííûõ ðàñ- ÷åòîâ áîëåå ÷åì â 2,4 ðàçà íà äëèíå 0,01 ìêì) ïðå- âûøàåò çíà÷åíèå äëÿ ðàâíîìåðíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà, ÷òî ìîæåò ñêàçàòüñÿ íà èçìåíåíèè ñòàáèëüíîñ- òè ýòîé ïëåíêè èç-çà ëîêàëüíîãî ðåçêîãî íàãðåâà îò ïîâûøåííîé ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ; � íà ýòàïå ïðîåêòèðîâàíèÿ ïîëó÷èòü äîñòîâåðíûå äàííûå îá ýëåêòðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèêàõ ñîñòàâëÿ- þùèõ òîíêîïëåíî÷íîãî êîíòàêòà (ñîïðîòèâëåíèè, ðàñ- ïðåäåëåíèè òîêà è ïîòåíöèàëà) è èñïîëüçîâàòü èõ ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ÒÏÐ èëè äðóãèõ ìèêðîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Êðåñèí Î. Ì., Õàðèíñêèé À. Ë. Ìàòåìàòè÷åñêèé àíàëèç òîíêîïëåíî÷íîãî êîíòàêòà // Âîïðîñû ðàäèîýëåêòðîíèêè. Ñåð. Äåòàëè è êîìïîíåíòû àïïàðàòóðû.� 1964.� Âûï. 5.� Ñ. 15�21. 2. Åðìîëàåâ Þ. Ï., Êàðèìîâà Ô. Ã. Èññëåäîâàíèå ïåðåõîäíûõ êîíòàêòîâ ìåæäó ïðîâîäÿùèìè è ðåçèñòèâíûìè ïëåíêàìè // Îá- ìåí îïûòîì â ðàäèîýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè.� 1965.� ¹ 4.� Ñ. 15�17. 3. Êðåñèí Î. Ì., Ðîãèíñêèé È. Ì., Õàðèíñêèé À. Ë. Ýêñïåðè- ìåíòàëüíîå èññëåäîâàíèå ïëåíî÷íîãî êîíòàêòà (íà ìîäåëÿõ) // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 1967.� Âûï. 5.� Ñ. 96�100. 4. Êàéíîâ Ñ. Â., Àëåêñååâà Ý. À. Èññëåäîâàíèå óñëîâèé ïîëó- ÷åíèÿ íàäåæíîãî ïëåíî÷íîãî êîíòàêòà // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ðàäèîêîìïîíåíòû.� 1967.� Âûï. 5.� Ñ. 120�124. 5. Õàðèíñêèé À. Ë. Îñíîâû êîíñòðóèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ ðà- äèîàïïàðàòóðû.� Ë.: Ýíåðãèÿ, 1971. 6. Lohetal W. M. Modeling and ìeasurement of ñontact resistances // IEEE. Transactions on Electron Devices.� 1987.� Vol. ED-34, N 3.� P. 512�524. 7. Ìàðòþøîâ Ê. È., Çàéöåâ Þ. Â., Òèõîíîâ À. È. Ìåòîäû ðàñ÷¸òà ðåçèñòîðîâ.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1971. 8. Çàääå Â. Â., Çàéöåâà À. Ê. Èçìåðåíèå ïåðåõîäíîãî ñîïðî- òèâëåíèÿ êîíòàêòà ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê // Ïðèáîðû è òåõíèêà ýêñïåðèìåíòà.� 1969.� ¹ 4.� Ñ. 191�192. 9. À. ñ. 1538703 Ðîññèè. Ñïîñîá îïðåäåëåíèÿ ïåðåõîäíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ êîíòàêòà ê òîíêîïëåíî÷íûì ðåçèñòîðàì ñ ýëåêò- ðîäàìè / Ã. Ô. Æóêîâ, Â. Ê. Ñìîëèí.� 1995.� Áþë. ¹ 34. 10. Ñòîâïîâîé Ì. À. Îñîáåííîñòè òîïîëîãè÷åñêîãî ðàñ÷åòà ïëàíàðíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ðåçèñòîðîâ // Ïåòåðáóðãñêèé æóðíàë ýëåêòðîíèêè.� 2001.� ¹ 1.� Ñ. 52�53. 11. Ñïèðèí Â. Ã. Îöåíêà âëèÿíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ ýëåêòðîäîâ íà ïîãðåøíîñòü òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà // Âåñòíèê ÌÂÂÎ. Ñåð. Âûñîêèå òåõíîëîãèè â ðàäèîýëåêòðîíèêå, èíôîðìàòèêå, ñâÿ- çè.� 2003.� Âûï. 1.� Ñ. 11�14. 12. Åðìîëàåâ Þ. Ï. Ïåðåõîäíîå ñîïðîòèâëåíèå ôèãóðíûõ êîíòàêòîâ ìåæäó ïðîâîäÿùèìè è ðåçèñòèâíûìè ïëåíêàìè // Èçâ. âóçîâ. Ðàäèîòåõíèêà.� 1966.� Ò. 9, ¹ 4.� Ñ. 553�557. 13. Ñìèðíîâ Â. È., Ìàòòà Ô. Þ. Òåîðèÿ êîíñòðóêöèé êîíòàê- òîâ â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� Ì.: Ñîâ. ðàäèî, 1974. 14. Ëóãèí À. Í., Îçåìøà Ì. Ì. Òîíêîïëåíî÷íûå ðåçèñòîðû ñ ôóíêöèîíàëüíûì ðàñïðåäåëåíèåì óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ // Èçâ. âóçîâ. Ýëåêòðîíèêà.� 2002.� ¹ 1.� Ñ. 44�48. 15. Ñèãîðñêèé Â. Ï. Àíàëèç ýëåêòðîííûõ ñõåì.� Êèåâ: Ãîñ. èçä-âî òåõíè÷. ëèò., 1964. 16. Àìîñîâ À. À., Äóáèíñêèé Þ. À., Êîï÷åíîâà Í. Â. Âû÷èñ- ëèòåëüíûå ìåòîäû äëÿ èíæåíåðîâ.� Ì.: Âûñøàÿ øêîëà, 1994. 17. Íåäîðåçîâ Â. Ã. Êåðìåòíûå òîëñòîïëåíî÷íûå ðåçèñòèâ- íûå ìàòåðèàëû.� Ïåíçà: ÏÃÓ, 2002. Ðèñ. 12. Ñîïðîòèâëåíèå ðåçèñòèâíîãî ó÷àñòêà (à) è îáùåå ñîïðîòèâëåíèå ìåòàëëèçàöèè è ïîäñëîÿ (á) êîíòàêòà â çàâèñèìîñòè îò óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ 0,075 0,05 0,025 S R ρ 0 125 250 375 ρS à) Rêï, Îì 2,25 1,5 0,75 0 125 250 375 ρS á)

Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов

Репозитарії

Схожі ресурси