Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики - Белянин, А.Ф.; Кривченко, В.А.; Лопаев, Д.В.; Павлушкин, Л.В.; Пащенко, П.В.; Пирогов, В.Г.; Поляков, С.Н.; Суетин, Н.В.; Сушенцов, Н.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006)
Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.