Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2005
Автор: Джавадов, Н.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-53525
record_format dspace
spelling irk-123456789-535252014-01-23T03:09:03Z Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах Джавадов, Н.Г. Функциональная микро- и наноэлектроника Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов. 2005 Article Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
Функциональная микро- и наноэлектроника
spellingShingle Функциональная микро- и наноэлектроника
Функциональная микро- и наноэлектроника
Джавадов, Н.Г.
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов.
format Article
author Джавадов, Н.Г.
author_facet Джавадов, Н.Г.
author_sort Джавадов, Н.Г.
title Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
title_short Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
title_full Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
title_fullStr Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
title_full_unstemmed Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
title_sort исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2005
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525
citation_txt Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT džavadovng issledovanieplenokpolikristalličeskogokremniâdlâprimeneniâvfilʹtrovyhspektralʹnyhpriborah
first_indexed 2025-07-05T04:55:55Z
last_indexed 2025-07-05T04:55:55Z
_version_ 1836781515274452992
fulltext #� ��������� ���� ������������� ��������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ������� �� .�������� 9������� ��4�������� ���7 �� �.�� � '���4! ggg �� '��>��.�'���� �.������.'�5����4� . ����7 ��� �� �(�������� ��-�������. ������� ! �7� ����� �������-��' ����� ���������� ��������� ���*�C� 7 ���D/012D� ���C! _��( ���4������ ��� ��-����� ����-�������. �7 ����� '����'������ 84��������9 �� �����*���>��.7 ����� ����*������� '*���� --�. �������� ������7 ������*����� ������.�����! $��>������4 ��� ��� ��-����� ���������������7 ����-�������. ������ .��*�� ��'�� ����� . ��'��� ������� ��� 84��� �����������*���� ��5���*����7 ���5�� ��� ������������9�� �!�)�'��*8��������4 ����9�� �����'�'��48�������5�� ���� � ����������! ,�������4��� ���(���.�-�������. ������� ��� �'���7 �������'�5������� ��4�;�E����'YeO'�! &V,$Wh_$6Y::^X�&V�$):&?& �!�i<ULMjTk�l!�m!��iLn2aj0OPTk�o!�p!��p30njL0Qk33�/!�o!�2n�LM!�qLK7 KL�aLr3Ln3<0�30sMT20O2�<0�nP2�RP<n<2M2Ona3OLM�Ra<R2an32Q�<s�<t3r27R7/012 P2n2a<QnaTOnTa2� e�J7pu1�1Ra30b�p22n30b�=<0s2a20O2!�1jKR<Q3TK�mN vT0On3<0LM�<t3r2Q�s<a�LrUL0O2r�Q2K3O<0rTOn<a�n2OP0<M<b32Q!E�1naLQ`<Tab %vaL0O2+!E����#! �!�?���� �(� �6!�:!��i<��� �p!�_!�]������������*� .�/012� �-��' ������*�����' (�� '�� ���� �'� � ����� (�� ������7 ��5 �ee�, �4'����w�I!E��""�!E��!���������!E�V!�x�Ex�! �!�i<ULMjTk�l!�m!��iLn2aj0OPTk�o!�p!��1LUOPTk�y!�/!��1jr<a�z!�p! /0na30Q3O�O<0rTOn3U2�<t3r2�E�!D/012�Q<MLa�O2MMQ�ee�pLn2a3LMQ�1O320O2 L0r�J0b3022a30b�{!E����#!E�o<M!���"!E�|!����E���! #!�}L0r<Mn7{öa0Qn230!�~TK2a3OLM�mLnL� L0r�vT0On3<0LM�u2MLn3<07 QP3RQ�30�1O320O2�L0r��2OP0<M<bj!�~2��12a!�qa<TR�///N�=ajQnLM�L0r�1<M3r 1nLn2�|PjQ3OQ!�o<M!��x��QT`U<M!�s�e�Jr!�`j�z!�pLr2MT0b!E�{2aM30�2!�L!N 1Ra30b2a���"��! �!�pLan302�7|LQn<a��!��12bTaL�y!��oLMr2Q��!�}!��=P2Uj�y!�JM2Ona3OLM L0r�RP<n<U<MnL3O�Ra<R2an32Q�<s�30r3TK7n307<t3r2eR7/012eyT�Q<MLa�O2MMQ ee��!�yRRM!�|PjQ!E��"�x!E�o<M!�;���~�#!E�|!��#xxE�#��! ;!�_ �V!�I . ������������� ��*���� >����!�?�!��!E�\!N \ ��� �"�#! �������������� �������� � �"!��� ���#� ! $�����������������������-�25 �� %���:H�� !������ + /��������2��D��-E���-�� Y.��>���5���� !� �� ���,$��,��'����'�� �� J7KL3MN� OLULr<U�0Ln3bSKL3M!L� &VVWX�$6Y:&X�,WX:$?�,$W&?G&V�YWW&)XV?$]$ ?GX\:&���W��,G&\X:X:&��6�I&Wh�G$6^Z V,X?�GYWh:^Z�,G&�$GYZ 5�#����������� #������ #������������" ���������������� �����������F������" �����F���������������������������#����" �����%#��������������%�G�H��������" �&F� �#��������&F�#��@����� 6�.'�5����4����4���8� ��������8��������� � �� �.��������. �������*�� ����-����� ���*�����7 ���*��- �4�������.�����������'��� ���4�- �4����*� ��� ����4�*���� >��*� �� �(������ ������ � ��*� �����'����������� ����� ���*�� ��������� ��'�7 �*�� �.��*���������� 9 ����'��-��*!�:��� '����� ������9� �� ���'�� � ���� ��������� �� �.����� � �����8 �� ���� '��������- �4����*���.���'����� �� \7��� �� ��'�� - �� �@�A!�$>��������9��������� ���������� ������ � � ���8�� .������� ��.���'��7 �*������(���� ������� ����� ���'����'���>�����@�A! $��� �������� ��4�*����.'�5���� ��������� ���.�7 ��'��� (�� �� .'���� �����*�� ���������4 ���7 ���������� �����'�94 �- �4����*���.���'�������9� ������ �������� �*�*! 6�������9�����>���� ���������*�-������ �� (�7 � ���������������� ���� � ����� (�� � �� ��'7 � �������4 � ����4.���� �� ����- �4����*����� �7 ���4�*���� >����! :����������� �.����� �� .���� ������'���� ���� 7 �7��� ������ ����� ������ ����4�� ���� >����� �� (���.� ����-����� ���*��- �4������������������*� � ���*� � � ����������� �*�����*� )( 10 λφ �� �� � ����������E )2( 10 λφ ! ������������ ��� ����������������� �*�����*�� ��� ������ �!������ ����4.����������������� ���HI7 � ���.��������� 9�����'������'�� (�� '�- �4���'! $���� ���4���������������� ������ �!����@�� �������7 �>��� '���4��*>���� '�������������'*!�:����� ��47 �������'����(��������������������- �4�������� � 7 9 ������5�� �(���4���� ���������� �-�� � ����5�� �*������4���'�-����� �'� �� ����*�������. ����� ' ���5����>�����4��*�� ��� .> �����4����4 ! :�' � ��������� �4�'�� �.��� ��*������ ���� 7 � ����� (�� � �� ��'� �� %,,?+���>���� 9 ��� � >*����� �.������@�A���*�� ���(����� ���4����4 ��� �7 ��� �����������>���� ���� ����%λ≈����' '+���� ��7 �*�������� '���� �����.���'��� (�� ���� >����! G �!� �!� 6�� ���*�'���� � ��� �7��� ������ �� ��� �� - �4����� �� ��� ����4�� �� �� >���N ?�=� ����-����� ���*��- �4��f�<�E������- �4��f�C�E�-���7 ��. ���� �+ >+ ���������������������������������������������������� ��������������������������������������������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� ����� ��� � � ���� �� ������ � � � �� � ��� � ���� �� !�� ���� � �� ��� ������������ "����� �#�$������!��% ���� ������� �����!��� ���!� ��� � �� ����!� �������������� ��!��� �% & � �� �� �� ���"�� ���� ��� �����������'� (()� �� �����*�� ����� �� ��'� �"�+ � ��� ���� ����,��� � �����$ ����+-�� .��"�������� � ��� �� ���� ���� ������� ��� !� /0(12% 3�� �����������'� 0(1 � ��������$ � � ������ "��� �'� ��� � � ���� ����� ���� �#�$ ������!��� � � ������ � ���������� � �� � ����� �� .� �!� �� ����� ����+�� ��� � �" �� ����������$ ����� ���*���� ���� ������ � ��' !�..���� ��� ������� ���������� % (() ��-���� 4 "�" �� ���!��" ���"���" ����� ��5� � � � "�" .��"��������� � ���*���� ��� ����$ ������� ����-����� ������ "������� ����������� ���"�� �$ ��� �����!�"�� � � ���*�� ��*��� ����$ ��+-�� ���"��� /.��.��2 ���4 �"#5 �� �������� "����������'� ���"����'� ��!��6�� �� ������$ ���� ��������� � 7�8% 9��"�� ����� (() ��� ������$ ���� � ��"�-�+ ��� ������ ���� ������� "����$ ����� :9;:% 0"������� ��� �� ' � (() �������� � ���*���� �����"���� ���'���� <= �� ���!����$ ����� �.��"�������'� �>$� ��� �% ?� ��� � � ' ������� � ������"�� � ��� ������ .� �$�%!%�% � . � ��� ���� ���� ��"'���� � �� � !���' � ,����' ���"�� �� '�� ���� �����' !�� �����' � $ ���*��% & �!��� �� ��� � ����������" !���' ���"�� � ��6� ������������� � ,�����@ ���×��� ���×��� 4��×4�� A��×A� "�"% & !����� ������ � ���*�� ,����� ���� ���"�� �� �� ������� .������������ B ���×��� A��×��� ����×�� "�" % ��"����� � . � � �� �����!����� � � �*�������" ��6�"� � ��� ��������� ����-����$ � � � !�������� �C��5%%%�C��� ��% 0���-����� � ��"�� $ ���� � ��"�-�+ �+��"� �� D$��4% ��"����� ��������� � � � (() ��� ����� .� �$ �%!%�% ������ �� � ����������" ��� !���' ������ �� �� � ���"��� ����� � ��� /������ � �2% (����" ��� �!�������� ,����� ������ � . ��� � �� "� ������*�$ ������� �� !����� � � � ���*�� � ������ ,������ ����$ �� �� �+!����� ��!��*� � ���'-���+ � .� /���% �2� � �� ��$��!�"�"�� "�6� ' � � E ����� ,�� ���+$ -�" !��� ���" .� �$�%!%�%� �������+-�� "�6!� ��$ ��������'"� � !�"� ����� � ������!���� ���" � ���$ �����+ ��� �����������% 3 ����������" ����-����� � �� ���� � ���*�� �. ������� ������ �� �� ������."������"� ������� � �� �" ������!� � ���'-���� /���% 52� � ��������$ ��� !�� �6����" .� �$�%!%�% "����"������� �����$ �� � ������� ��""����� �'�� � �� ��*�����'� ���$ ���� �� �����*�� ����� �!��� ���������� ��� ���$ �� ���% &������� ��� ���� ���� ��"'���� � �� ���$ � � ����������" ��� ,����' (()� �� � �� !���' /�"% ���% 52� % �% �������+-�� ��! !��� ���" ��� � �� ������*������� ���-�!� � ���*�% �����!������ ���� �������� ������!����� .� �$ ���� �� ������ � ��� ��"�� ��� �"���� ���� �����$ !��,��� � ��"�-�+ "������"� ��� F:$�� ������$ ��� � � "����"����� ���� �� ������ � "����������$ '� ������ �� �+!�� � �� !���� ����' ��4� "�" � ��� ��� � �4�� &G& /������� ����� �2% 3 �������$ ���" ���"��� ������ ����!�� ���,�� ��� ��� ��$ ������ 0(1� "����"�" .� ����� �� ������ � �!��$ ��� � � !������������+ � ��� � /���% �� ����� �2 � ��� � !� ������� ���� &G& % & ���� ���������� � ��� � ���� �� ��� !���� ����' ���� "�" ���� ��$ ������ � "���������� '� (() �"�� �������� ��$ � !�� 4�� &G& % HHH (����!���'� �����!����� .� ����� �������� ����� � ������ �������� ����������� ���"�� ��$ ������� � � �� "�6�� ���������� � � ����� �� .� �$ ����� ���� !� ���� �����'� ��� ���� � ����" !��$ ������ ���� ��� ����!�� �"�" ��! ���" ���!���� ���"��� ����� (()� � � "�6�� ���������� � ����$ ���������"� "� �!�"� ���� ������ % �3(0IJ10&KLLMN �3�0OL�)� �%P���" ����� K% :%� 9�"�,���� )% �% 9�����!������ � ��$ "������ � -��� ��!��6��� ����� � �������'� ���!�,�'� "����� GG Q����� � "��.��' � ������%B �RA�%B � ��%B 3% ���AB��4�% �% STUVTW X% Y% Z[\ ]\^\=T_`\Wa Tb cWVade`\WaV bTd `\fVedcWg fa`TV_[\dch TiTW\ ]edcWg =fVa bcbaj j\fdV GG k% l[jV% mhc% nWVad%B �Ro5%B pT=% 4%B 9% R5ABR5R% 5% ?6���!�� L% q%� )���"��� Q% Q% )��� ��������'� .� �$ ����"���� �� ������ ������ �������� ����������� ���"�� GG Q����� /LKL K��� ��!6���2%B �RRA%B �% �� � �%B 3% �AB�R% �% <U]e==fj\^ <% X%� rfVc`T^ s% S% Z[\ Vc`e=afW\TeV gdTta[ Tb `TWT$ fW] _T=jhdjVaf==cW\ Vc=chTW bc=`V tca[ hTWadT==\] _fdf`\a\dV GG Z[cW mT=c] sc=`V%B �RA�%B pT=% ���� u 5%B l% �5oB��5% 9��% �% 1�����"�� � .� �$�%!%�% � ���� ��� ���'� ����$ "� ��� (()@ � B ,����� ������ "�� � � � �� !� A� "�"v � B ,����� ������ ��� � ��� � �� "�" � . � "& �4� A� � ��� ��� ��4 ��A ��� �� "" � � 9��% 5% Q� ����� �������� � . / 2 � �+��$�"����'� � �� / 2 ������"�� � (() � �������'" ���"���" ����� /� B ��5 "�"v � B � "�"v B � "�"2 � . � "& ��� �4� A� � � A �� �4 �� � ��5 �� � �� � "�K 5� �� �� � � 5 9��% �% 3��� �����'� ������"�� � (()@ �B "���������� '� /��5 "�"2v � B ������������$ '� /� "�"2 ��� ��� ��4 ��A ��� λ� "�" ��� ��� � � Q � � � � � � � � � � � � � � � � � � % �! %