Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов....
Збережено в:
Дата: | 2005 |
---|---|
Автор: | |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-53525 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-535252014-01-23T03:09:03Z Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах Джавадов, Н.Г. Функциональная микро- и наноэлектроника Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов. 2005 Article Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника |
spellingShingle |
Функциональная микро- и наноэлектроника Функциональная микро- и наноэлектроника Джавадов, Н.Г. Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяет упростить конструкцию фильтровых спектральных приборов. |
format |
Article |
author |
Джавадов, Н.Г. |
author_facet |
Джавадов, Н.Г. |
author_sort |
Джавадов, Н.Г. |
title |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
title_short |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
title_full |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
title_fullStr |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
title_full_unstemmed |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
title_sort |
исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2005 |
topic_facet |
Функциональная микро- и наноэлектроника |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53525 |
citation_txt |
Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах / Н.Г. Джавадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 40-41. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT džavadovng issledovanieplenokpolikristalličeskogokremniâdlâprimeneniâvfilʹtrovyhspektralʹnyhpriborah |
first_indexed |
2025-07-05T04:55:55Z |
last_indexed |
2025-07-05T04:55:55Z |
_version_ |
1836781515274452992 |
fulltext |
#�
���������
����
������������� ���������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�������
��
.�������� 9�������
��4��������
���7
�� �.��
�
'���4!
ggg
��
'��>��.�'����
�.������.'�5����4�
. ����7
���
��
�(�������� ��-�������.
������� ! �7�
�����
�������-��'
�����
���������� ���������
���*�C�
7
���D/012D�
���C!
_��(
���4������
���
��-�����
����-�������.
�7
�����
'����'������
84��������9
��
�����*���>��.7
�����
����*�������
'*����
--�.
��������
������7
������*�����
������.�����!
$��>������4 ���
���
��-�����
���������������7
����-�������.
������
.��*��
��'�� �����
.
��'���
�������
���
84���
�����������*����
��5���*����7
���5��
���
������������9��
�!�)�'��*8��������4
����9��
�����'�'��48�������5��
����
� ����������!
,�������4���
���(���.�-�������.
�������
���
�'���7
�������'�5�������
��4�;�E����'YeO'�!
&V,$Wh_$6Y::^X�&V�$):&?&
�!�i<ULMjTk�l!�m!��iLn2aj0OPTk�o!�p!��p30njL0Qk33�/!�o!�2n�LM!�qLK7
KL�aLr3Ln3<0�30sMT20O2�<0�nP2�RP<n<2M2Ona3OLM�Ra<R2an32Q�<s�<t3r27R7/012
P2n2a<QnaTOnTa2� e�J7pu1�1Ra30b�p22n30b�=<0s2a20O2!�1jKR<Q3TK�mN
vT0On3<0LM�<t3r2Q�s<a�LrUL0O2r�Q2K3O<0rTOn<a�n2OP0<M<b32Q!E�1naLQ`<Tab
%vaL0O2+!E����#!
�!�?����
�(�
�6!�:!��i<���
�p!�_!�]������������*�
.�/012�
�-��'
������*�����'
(��
'��
����
�'�
�
�����
(��
������7
��5
�ee�,
�4'����w�I!E��""�!E��!���������!E�V!�x�Ex�!
�!�i<ULMjTk�l!�m!��iLn2aj0OPTk�o!�p!��1LUOPTk�y!�/!��1jr<a�z!�p!
/0na30Q3O�O<0rTOn3U2�<t3r2�E�!D/012�Q<MLa�O2MMQ�ee�pLn2a3LMQ�1O320O2
L0r�J0b3022a30b�{!E����#!E�o<M!���"!E�|!����E���!
#!�}L0r<Mn7{öa0Qn230!�~TK2a3OLM�mLnL� L0r�vT0On3<0LM�u2MLn3<07
QP3RQ�30�1O320O2�L0r��2OP0<M<bj!�~2��12a!�qa<TR�///N�=ajQnLM�L0r�1<M3r
1nLn2�|PjQ3OQ!�o<M!��x��QT`U<M!�s�e�Jr!�`j�z!�pLr2MT0b!E�{2aM30�2!�L!N
1Ra30b2a���"��!
�!�pLan302�7|LQn<a��!��12bTaL�y!��oLMr2Q��!�}!��=P2Uj�y!�JM2Ona3OLM
L0r�RP<n<U<MnL3O�Ra<R2an32Q�<s�30r3TK7n307<t3r2eR7/012eyT�Q<MLa�O2MMQ
ee��!�yRRM!�|PjQ!E��"�x!E�o<M!�;���~�#!E�|!��#xxE�#��!
;!�_
�V!�I
.
�������������
��*����
>����!�?�!��!E�\!N
\
��� �"�#!
��������������
��������
�
�"!��� ���#� !
$�����������������������-�25
��
%���:H�� !������
+
/��������2��D��-E���-��
Y.��>���5���� !� ��
���,$��,��'����'��
��
J7KL3MN� OLULr<U�0Ln3bSKL3M!L�
&VVWX�$6Y:&X�,WX:$?�,$W&?G&V�YWW&)XV?$]$
?GX\:&���W��,G&\X:X:&��6�I&Wh�G$6^Z
V,X?�GYWh:^Z�,G&�$GYZ
5�#����������� #������ #������������"
���������������� �����������F������"
�����F���������������������������#����"
�����%#��������������%�G�H��������"
�&F� �#��������&F�#��@�����
6�.'�5����4����4���8� ��������8���������
�
��
�.��������.
�������*��
����-�����
���*�����7
���*��-
�4�������.�����������'���
���4�-
�4����*�
���
����4�*����
>��*� ��
�(������ ������
�
��*�
�����'�����������
�����
���*��
���������
��'�7
�*�� �.��*���������� 9
����'��-��*!�:���
'�����
������9� �� ���'��
� ����
���������
�� �.����� �
�����8
��
����
'��������-
�4����*���.���'�����
��
\7���
�� ��'��
-
��
�@�A!�$>��������9���������
����������
������
�
�
���8��
.�������
��.���'��7
�*������(����
������� �����
���'����'���>�����@�A!
$���
��������
��4�*����.'�5����
���������
���.�7
��'���
(��
��
.'����
�����*��
���������4 ���7
����������
�����'�94 �-
�4����*���.���'�������9�
������
��������
�*�*!
6�������9�����>����
���������*�-������
��
(�7
�
����������������
����
�
�����
(��
� ��
��'7
�
�������4 �
����4.����
��
����-
�4����*�����
�7
���4�*����
>����!
:�����������
�.�����
��
.����
������'����
����
7
�7���
������ �����
������
����4�� ����
>����� ��
(���.�
����-�����
���*��-
�4������������������*�
�
���*�
�
� �����������
�*�����*� )( 10 λφ �� ��
�
����������E )2( 10 λφ !
������������
���
�����������������
�*�����*��
���
������
�!������
����4.�����������������
���HI7
�
���.��������� 9�����'������'��
(��
'�-
�4���'!
$����
���4����������������
������
�!����@��
�������7
�>���
'���4��*>����
'�������������'*!�:�����
��47
�������'����(��������������������-
�4��������
� 7
9
������5�� �(���4����
����������
�-��
�
����5��
�*������4���'�-�����
�'�
��
����*�������.
�����
'
���5����>�����4��*��
���
.>
�����4����4 !
:�'
�
���������
�4�'��
�.���
��*������
����
7
�
�����
(��
� ��
��'�
�� %,,?+���>���� 9
���
�
>*�����
�.������@�A���*��
���(�����
���4����4 ���
�7
���
�����������>����
����
����%λ≈����'
'+����
��7
�*��������
'����
�����.���'���
(��
����
>����!
G
�!� �!� 6��
���*�'����
� ���
�7���
������ �� ���
��
-
�4����� �� ���
����4�� �� ��
>���N
?�=�
����-�����
���*��-
�4��f�<�E������-
�4��f�C�E�-���7
��.
����
�+
>+
����������������������������������������������������
���������������������������������������������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������������� ���������
�����
���
�
�
����
��
������
�
�
�
��
� ���
�
����
��
!��
����
�
��
���
������������
"�����
�#�$������!��%
����
�������
�����!���
���!�
��� �
��
����!�
��������������
��!���
�%
&
�
��
�� ��
���"�� ����
��� �����������'�
(()�
��
�����*��
�����
��
��'�
�"�+
�
��� ����
����,���
� �����$
����+-��
.��"��������
� ���
��
����
����
�������
��� !�
/0(12%
3�� �����������'�
0(1
�
��������$
�
�
������
"���
�'�
���
�
�
����
����� ����
�#�$
������!���
�
�
������ �
����������
�
��
�
�����
��
.�
�!�
��
�����
����+��
���
�
�"
��
����������$
�����
���*����
����
������
�
��'
!�..����
���
�������
���������� %
(()
��-����
4
"�"
��
���!��"
���"���"
�����
��5�
�
�
�
"�"
.��"���������
�
���*����
���
����$
�������
����-�����
������
"�������
�����������
���"��
�$
���
�����!�"��
�
�
���*��
��*���
����$
��+-��
���"���
/.��.��2
���4
�"#5
��
��������
"����������'�
���"����'�
��!��6��
��
������$
����
���������
�
7�8%
9��"��
�����
(()
���
������$
����
�
��"�-�+
���
������
����
�������
"����$
�����
:9;:%
0"�������
���
��
'
�
(()
��������
�
���*����
�����"����
���'����
<=
��
���!����$
�����
�.��"�������'�
�>$� ���
�%
?�
���
�
� '
�������
�
������"��
�
���
������
.�
�$�%!%�%
�
.
�
���
����
����
��"'����
�
��
�
!���'
�
,����'
���"��
��
'��
����
�����'
!��
�����'
� $
���*��%
&
�!���
��
���
�
����������"
!���'
���"��
�
��6�
�������������
�
,�����@
������
������
4��×4��
A��×A�
"�"%
&
!�����
������
� ���*��
,�����
����
���"��
��
��
�������
.������������
B
������
A�����
������
"�"
%
��"�����
�
.
�
�
��
�����!�����
�
�
�*�������"
��6�"�
�
���
���������
����-����$
�
�
�
!��������
�C��5%%%�C���
��%
0���-�����
�
��"�� $
����
�
��"�-�+
�+��"�
��
D$��4%
��"�����
���������
�
�
�
(()
���
�����
.�
�$
�%!%�%
������
��
�
����������"
���
!���'
������
��
��
�
���"���
�����
�
���
/������
�
�2%
(����"
���
�!��������
,�����
������
�
.
���
�
�� "�
������*�$
�������
��
!�����
�
�
� ���*��
�
������
,������
����$
��
�� �+!�����
��!��*�
�
���'-���+
�
.�
/���%
�2�
�
��
��$��!�"�"��
"�6�
'
�
� E �����
,��
���+$
-�"
!���
���"
.�
�$�%!%�%�
�������+-��
"�6!�
��$
��������'"�
� !�"�
�����
�
������!���� ���"
�
���$
�����+
���
�����������%
3
����������"
����-�����
�
��
����
� ���*��
�.
�������
������
��
��
������."������"�
�������
�
��
�"
������!�
�
���'-����
/���%
52�
� ��������$
���
!��
�6����"
.�
�$�%!%�%
"����"�������
�����$
�� �
�������
��""�����
�'��
�
��
��*�����'�
���$
����
��
�����*��
�����
�!���
����������
���
���$
��
���%
&�������
���
����
����
��"'����
�
��
���$
�
�
����������"
���
,����'
(()�
��
�
��
!���'
/�"%
���%
52�
%
�%
�������+-��
��!
!���
���"
���
�
��
������*�������
���-�!�
� ���*�%
�����!������
����
��������
������!�����
.�
�$
����
��
������
�
���
��"��
���
�"����
����
�����$
!��,���
�
��"�-�+
"������"�
���
F:$��
������$
���
�
�
"����"�����
����
��
������
�
"����������$
'�
������
�� �+!��
�
��
!����
����'
��4�
"�"
�
���
��� �
�4��
&G&
/�������
�����
�2%
3
�������$
���"
���"���
������
����!��
���,��
��� ���
��$
������
0(1�
"����"�"
.�
�����
��
������
�
�!��$
���
�
�
!������������+
� ���
�
/���%
��
�����
�2
�
���
�
!�
�������
����
&G&
%
&
����
����������
� ���
�
����
��
���
!����
����'
����
"�"
����
��$
������
�
"����������
'�
(()
�"��
��������
��$
� !��
4��
&G&
%
HHH
(����!���'�
�����!�����
.�
�����
��������
�����
�
������
��������
�����������
���"��
��$
�������
�
�
��
"�6��
����������
�
�
�����
��
.�
�$
�����
����
!�
����
�����'�
��� ����
�
����"
!��$
������
����
���
����!�� �"�"
��! ���"
���!����
���"���
�����
(()�
�
�
"�6��
����������
�
����$
���������"�
"�
�!�"�
����
������ %
�3(0IJ10&KLLMN
�3�0OL�)�
�%P���" �����
K%
:%�
9�"�,����
)%
�%
9�����!������
�
��$
"������
� -���
��!��6���
�����
�
�������'�
���!�,�'�
"�����
GG
Q�����
�
"��.��'
�
������%B
�RA�%B
�
��%B
3%
���AB��4�%
�% STUVTW
X%
Y%
Z[\
]\^\=T_`\Wa
Tb
cWVade`\WaV
bTd
`\fVedcWg
fa`TV_[\dch
TiTW\
]edcWg
=fVa
bcbaj
j\fdV
GG
k%
l[jV%
mhc%
nWVad%B
�Ro5%B
pT=%
4%B
9%
R5ABR5R%
5% ?6���!��
L%
q%�
)���"���
Q%
Q%
)���
��������'�
.�
�$
����"����
��
������
������
��������
�����������
���"��
GG
Q�����
/LKL
K��� ��!6���2%B
�RRA%B
�%
��
�
�%B
3%
�AB�R%
�% <U]e==fj\^
<%
X%�
rfVc`T^
s%
S%
Z[\
Vc`e=afW\TeV
gdTta[
Tb
`TWT$
fW]
_T=jhdjVaf==cW\
Vc=chTW
bc=`V
tca[
hTWadT==\]
_fdf`\a\dV
GG
Z[cW
mT=c]
sc=`V%B
�RA�%B
pT=%
����
u
5%B
l%
�5oB��5%
9��%
�%
1�����"��
�
.�
�$�%!%�%
�
����
���
���'�
����$
"�
���
(()@
�
B
,�����
������
"�� �
�
�
��
!�
A�
"�"v
�
B
,�����
������
���
� ��� �
��
"�"
�
.
�
"&
�4�
A�
�
���
���
��4
��A
���
��
""
�
�
9��%
5%
Q�
�����
��������
�
.
/ 2
�
�+��$�"����'�
�
��
/ 2
������"��
�
(()
�
�������'"
���"���"
�����
/�
B
��5
"�"v
�
B
�
"�"v
B
�
"�"2
�
.
�
"&
���
�4�
A�
�
�
A
��
�4
��
�
��5
��
�
��
�
"�K
5�
��
��
�
�
5
9��%
�%
3���
�����'�
������"��
�
(()@
�B
"����������
'�
/��5
"�"2v
�
B
������������$
'�
/�
"�"2
���
���
��4
��A
���
λ�
"�"
���
���
�
�
Q
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
%
�!
%
|