Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2005
Hauptverfasser: Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-53683
record_format dspace
spelling irk-123456789-536832014-01-26T03:11:54Z Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. Технологические процессы и оборудование Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла. 2005 Article Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
format Article
author Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
author_facet Борисенко, А.Г.
Полозов, Б.П.
Федорович, О.А.
Болтовец, Н.С.
Иванов, В.Н.
Свешников, Ю.Н.
author_sort Борисенко, А.Г.
title Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_short Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_full Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_fullStr Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_full_unstemmed Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
title_sort плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2005
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683
citation_txt Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT borisenkoag plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT polozovbp plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT fedorovičoa plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT boltovecns plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT ivanovvn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
AT svešnikovûn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ
first_indexed 2025-07-05T05:02:59Z
last_indexed 2025-07-05T05:02:59Z
_version_ 1836781959573929984
fulltext c� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��U�� ����� ������������ �� �������� � �,��. N��� ����U ��� N ����������� �Y��� �� ����N���� ��� ����� � ������ $N1nW�ogOO) �Y��� U ��������. ���� ��� �,��N��� � ������ ����M ��o�gO�O" %�. �����O����� U ������������ �� �������� � �� �. N������ �,��N��� �� �M���� ��������� ��� ��� �� �� Y���� ��u" %�Y� ���O� � ������� ,��� ������ . �� ������ �Yx �� � � �ZZ�� �O O������N���� ��. ��Z������� � ���������� � ��� ���" A� ��� U ��. ��Z����������� ��� ��M �Y��������� ��� ��� � �N. �MO ��N�� ��O �� �N����� �Y��Y� �� Y����M� ��. ������� �� ���������� �� � �M����� ���������� U � ��� ��M ����N���M� �Y��,���" yyy %� ������ ��������M� ���������� YM�� �,�� ��. ���M ��,�� �� ��� � O� ����� ������N� W�×W�� ����. ��,��N���M� �� ������������ O�a��� � � �������. ��.�� �N����� ��� �O�� ��Z��O��������� �YO���" ? ��� ��� ��,�� �� �� �Y��,�� � �� �O ��������� ����������� ��������� � �����MO� �N�� ��O� ���. P���M� � � � �� �N����� ������� � ���O� ��O ����. �����M W��gO�O � N������� ���� ���� ����" &,O������� ,��N���� �����OM� �� ��U �,�� �����. ���� �Y��,�� ��,�� �� �� ��� ����� �� Y���� �g�w ��� �������O����� � ������������ �� �N����� O�a��. � � zW��g�w� N � ��� �� � ��� ��Y����� O� ����x �. � �OMO � ��,�� �� �� O �����O���MO� ���������. �� �N����O� ��� �O�O� ������N� ��Z��O����" &?B#C{E#@D%%LH &?�#A%&(& W" I� ������� @" �"� (� N��� %" �"� K������ F" K" F������. � ��M� ��,�� �� ��� �� ������ �����M� � ��� �� �, � ���� �� ���������.�� �N����� ��Z��O������M� ��� �O mm ?�� �OM � ����. � �� �� ,�� ��������� � �������a��� "l ����"l �gWh�"l ?" �ol!�" �"g(� N��� %" �"� k��U ��� D" @"� w�� ��� @" +" � ��" +��O�. ������� �� �N����� ����������� � ��� ��M� ��� N� a�� �Y. ��� U �, ������O��,� ���� O� ������ m %��� ��������� � Z�. ���M� ���� ���M" F� .�M | F�P������" ��O�����"l }�Q���. #��3 F��k�J� ����"l ?" ��l��" �" ~=221<� ̂ " mm �" �442" ̀ 6�5"l W�o�"l \72" �!� b �"l ̀ " cccWl ccc�" c" �0;�6 _"� �>0;5= ]"� `0�;=: \" =: 02" `>74=>:1=5 7� `|[\]. �1�=>5 �1:6 4;>= T1S�.�7>=3 :6= 1<�2;=<�= 7� :6= 4>=�7>/ �722045= 4>7�=55 mm �" S4:" [7//;<"l W�o!"l \72" o� b c"l "̀ W�WlW�!" �� � ��� ������ � ������� ��"�! ���� �" #������ ��� � ������7����� �O�<���P $wkJ&*� �" F����) ��� � ��������� ��Q���7<�����Q���������R��� ��� � ������������S<������������ � ���������7��Q��T��<�� �����������������������������7�<������ J������� �" (���� &�. ����M� ������������� %&& �#�����j *���� � �" F������ �f�O�.O����� � -./0123 �7>159�1<>"�1=8";0� 1<:=>�=49�1<>"�1=8";0 BCDEF#G&F&AH?(#H �*D@CH%&H fB&�D(?&DC{%LG ?�*J(�J* %&�*&�D kDCC&K �.* !�$�) )(���) �*���+�)#),**���!" #��*-� #)U�$+��!�) ��&��&��� )���U! V*+�W.*�!� *!#'�$�� #)*��*��*�!�,!# #*-���!�� ���$���!�.)�#)U�&�*%� !. * �!���%,)�)"#��$�"$ )�)���.��!�&��$� �!�/*�*�M)##!� %� ��� ����� l ���� �, ���M� ������������. ���� �������� a�� � ��Y� � ��������� ���O ��� Y��UQ�� ���O���� �� � ����M ��������� ���� � ��. �������" f � �� ,��� � ����N��O � ���� �� OM� ,���. ,���.���������� Q����� Y��UQ�� ,����a����� ,��M �� ��M� l ���W �@ �� � ��� ��M � ��� � � ��� �@ �� ��Y�N����� � ��� ��M VWX" w������� � �� ���. Y����� � ��� ������U�M� � ��� ��M �� ���� ����� �� � ������� ���MO� �� ���O����� � �M��. �� �O���� ����� �� ����� ������� ?@A.O��������. ������� ��,����� ������ V�X" @ N�� ��� �� ��� ��. ���U,� � �� ��,��Y� �� �M�����ZZ�� ���M� ��. ,���� � �����,���O �,��N��� � ��U ��Z���� ���� �� ,������ �Y��� �� ���� ��" %� ��� ����� �����U,�� � ��P� �� �,�� ����. �� ������ �� �N����� ����O��� �,��N��� �� ����. ��O� Y��,��O � �����N��O�� �� ��M� �O� � ���. �M� O�O�� ���ZZ����� ����Y��,����� ���� ��N�. ���� ������� � ��� ���� �,��N���� rc�u � �������. �OMO (B� �� ��u V�X" B���� ��� � �� ���� � ��,. ��Y� �� �M���� �O���� ���M� �� N���� G���� �� �,O������ O���� �M� ������ �� ��M� O��� ��Y� � U ��� �O���� ���� �� ���t?" *�,��Y� �� �ZZ�� ����� ��������� ������� � �. �� ������ ������������������ O� ������ � ���� � � N���� �� ���U�M� ,���N" @ ��� � a�� ��Y� � ���. ���M ���Y����� � ��������� ������� ���P�M� ����� ��� ��� �����P�a�� ��� ������U�M� ���� �� . ���� ����� � ��������M� �� �����P�� �, ���Z���" &���������� ����������U ��� ��,��Y� �� �M. ���� �O���� ���M� �� N���� G����" &����U. ,������U ���P�M� ����� ��� ���M� ����� �����P�. a�� ��� ������U�M� ���� �� ���� ����� " f�� ����. ��U�M� � ��� ��M� �� ��M� �����������U ���,O���. O�N����O� ������� � YM�� ��������� ��U�� ������. �M �� �����P�� �, ���Z��� � �����P��� ����� a�� ��������3 D.� ��� ��� �� ���� ����� $D.e0b)� � ��� �� O����� Y���� � ��� $�1�8)� ,��� � ��� D.� ��� �. �� �� ���� ����� $D.e0b)� � ��� �� O����� � ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ���� �� �� � �!���"�� � � ��� ��# ��� �� ��� ���! �$# %� � ����� � ��� �� ��� �$���� ��� &��'( � �)���� �� � $� �� �� ��*�� ������%� * ��� �� � ! %��*�#� ������ �� � �+��� * �� ��,��# -�.� / ��0� � -�. %� ������� �� ��%� ����� ���$�� ! ���* ((1�� 223�4� � �� �$��� � ��� �$� ��������� ���! ����%��� ��� ��%��+�����$ ���� %� � $����$��*��� $�,��� *5 �#����)�� � ���� ������ ��� 67���� 89+: ; � �/ � 8����$��*�#� ������ � ������� <=> ��� � �$ ��� ����� ��� Å? $��� / ��@�$ ���)�� �0��0� �� �0���+�� �����%����* � ����$���$�)����$ ���� ��� 6 ��: � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� -�.� A�$�)���� �� ���� ����! $� �0�����#�����* � BAC ��� �#����)�� � ��$ ���! � %� � )�� � �� 7���� 89+ � ����,����$ 6�� � ��! @���5 � ���� ��)����$�: � ������ �$�$ $���� ��$ ����� D����*������� /E!���� %� � ������)��$ $��! �� ��$ ���� �����)���� � ����* %����+��+�� $���! ��� ��0�)�� ����� � � ����* ������+�� � �$��� ) � �����%� � �����)���5 ��� ��� � ����$# � ��%���! ��� �� ��� �� � ������ ������ �� ������� �0��0�! #���$#� $� �������� F��0����� *5 %������ BAC �� � � ���$� ��� * ������������ ������� ��$�! )���� �� ���#� ����� � �� %� &�� �/ � ��$�,*5 ������ �$#� $���� �#� ����� 6��� ����$���#� %��! ��� ����$� ��� ���� %�:� 8���� ��� ���� ���%������* ��$ �� �@��$�� /���� � �� � �� �@�� � ������������ ��� ���5! )��# �����%��� ��*�� � ���"����� (��%� �� �@�� ���5)��� � %��*��� � ����)��� � ����������� ��� � ��� $� �� 0#�� �� � $�� *� B�� �$� � �����%�! ���� � ��$�� ���* �� ��*�� ���� ����� * $���� ! ���� ��� � �� � ��� ���"�����+� -&.� ) � ������ �� ���������� * ������5 ����� � @������ ���%����� ��� � $�)��� �#@�� G � %�� ���$� ��� * �����%� * ����$���$�)����� �������� ��� ������ ������ � ����� 0�� ��%��+����#� ����� %���� ��������� ! �#� ������ � �� � ����#����� �0��0� #���$#� $�! �������� B�� �0��0� �� ��� ������*�#� ����� �� ��%� ���! �� � �#��,���#� �� ���"����#� ��%�� ���� �����! ��� ������*�� ���0��$� /�!����#�� �� ��% ����� ��� �������� � ��$�)���� �� ����� ����$�� �0����5,��! � � ���� ��� ��� /E!���� %� � ����� )� #���������! ��� ������%�� $� � �0�����#�� * �� ��������� � �0��0� #���$��� �0���+� ��� ���%������ <=21� � �$! ���� ���� �������� ��7��'(� �� � <=21� � �$����! ���� �������� ���'( -H� �� ��� ��.� I� �%����� � �� ���%������ � ��������� � �0��0� #���$��� $� ������ �� �� ��,�� ����#� ������ ��%�� �� ��� �� %�� � �)�� $�,�� ����� � �$�� +� � ���0��%�! $� %� ���)@��� ���+���� %����0+�� ���%�� �� ����+�� <=> � ��%�����$�� � �$�$� � ����$�� ���! ����5,�$� � BAC ��� /E!���� %� � ����� 221�� D�! ���*���� * %� ������� <=> " ����%�� �,�� ��! �%����� ��+������0������ � �� �0����5,��� �� ��������� � <=4� �$�� �$���� ��� �������� 7���'( -H� �$ �.� � ��� ���� �#����� �$���� �! ��� �%������ ���%�� �� ����+�� � ��������� � �� ! ��%� ����� 0�� ����� %��� ��������� $���� ��! ,���� ���;7�� $�$ � ����� � ���0��$� �)�#$� / ��� � 0���� ��,�� ����� ���0��$� ; � � ��! �0��%�$�� * �� � � ���+���� ������� � ������! ��� � �0���+� ���� � ��*���� ���� ��)������ ��� ! %�� �� ��#� ���� � ��� ����%���5 ����� ����� �� ��������� *� ) � �����%� � ������,���5 ���+���� ������� � I� �� � ��������� ���� ��� %� ���$�� ���* ���+���*�� ���$� �%�����$������ ��%��5)��� � BAC %��� �#����)�� � �#� ������ ���� ; �������! �� � )�� � �� 7���� 89+ � %������ ��*���� � )�� �! �� ��� �9+� B���#� ������ �� ���%���� ��$�)���� �� ����5 ����$�� ��� � ,�5 �� ������ ���� ����� � ��%������� / ���� ������ �� � )�� � �� ��� �9+ ��! ���� � ���$� * ��� % � ��������� � �� ��%� ����� � /�� ��� �%���� ������ ��� �� %����� � ���+���� ��! �$�� ��� ��0� # ���%����* � $���$�$� ���+���*! �#$� �����0� ���#$� � ���� ������#$� "��* ��$�� D����%����� �� �������5 ��� �#� ��� ��! ����*�#� ����� �����%����* � �� � ��� 6�$� �������:� B���#� � �� � 0#� ���� ,�� �����%���! �� $ ���$� ��� � ������� �� ��%� ����� � � ��! 0� �� ����$��$�� ��������� ��� ������� � / ���� � �� � 0#� ��������� �� �����0� �� ��������� ��! ��)��� ���� #� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ���! �� � � ���$������$ $���� �� ��������� ������ ��! ,���� ≈��� $�$� D� ������+� �� �� � �� � ; �����! %������ ���$� ��� � ������� ��� �#� ��� ����! ��*�#� ����� ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � J� %#� �� � �� � ���� �����%������ ��0���� ����! %�����#� ��$������ � ��������)����� +���)��� � �� �����%����* ��@� * �����@���� ����#� ��%�)� � ��! �� * %����� ��������)����� ����� / ��)�� �� ��0�)�� ����� ��� �������� �����*! �������* )� #��������� #� ������%� � �� � ��� �$��� � �������%�$ ��� � ������$ � ����#� ��� ��! @��� �� I������� ��0�)��� ���� � ���� ��� ���*���! �����* � ���%���� 67���&:K7�L� $$ � � � � C����%# ��! ��� ��$�� ���* ��� ��$�,� %��� �%��� �#� ���! ��%�$���� � �%������#$� ����$� ��$�� C����� * �#�� ������� �����$���� $���� � �����%�$���� ��$�� ���* � $$� � � ��@���� �#�� � �� ��$$� %�� ���+�� ��� � ��@���� �� ��� ����� � BAC� G����� ����� �������������* � ��$�,*5 �����! � �$#� $���� �#� ����� � H� %� ��� �/� 8�,��� * ��������� ������ ��� ���� 67���� 89+: � %��� ���! �#� ���� � �����%������ �� ����#@��� 7 �/ ��� ��$$����$ ��� ����� � ���� %� H M � ��� �%��� ���%�! ���$�$ %������ ��*�#$ ������ ���$ 6��� �9+:� �� 0���� ��� M� B�� ������ ������ � ����� 6H� �/: � ���� %� � ((1� ���+��� ������� <=> �����%� �)��* $�%����� � ��������� * �0���+� ��� � �$ � ����� ! � )����� 6���� �������: 6 �0��� �:� /�%�$�� � � �� ! ���� � ��� %����$ ������%� ��� ����$���#� ������ �� �0��0� #���$�� ��������� �� �� $���!���� �����$$��� ����)���#� � ���+��! �� ������� 6�$� ����� !:� ��0�5%�5 � ���� (21N�� 221� N� 221N� (1N� (N � %������ G �� � �%��� � ����#� ���%� ��*� ��� � �#����� �""�� ����� � ��0� # BAC ��� %����+��+�� ����%���� ��0�)��� ����� � � %����� ; �����#��� ����)�� � �$�� ������%�� ��! ��#� $��� ���0����� *� �� ��������� � �0��0�! #���$#� � ��� ��� B�� ���@�"����� $���!���� ! �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��� ���%�� �)� #�� *� ) � ���� �$�� %�� �� ��)�! �#� ��� ��� ; ���� � $����� �� 6&���O: � ���� � $����� �& 6����O: -P.� B�� �$� �� $���!���� ��� ��0�5%�5 � �%������#� ���%����� � ����#$� $��! ��$�� �����$��� (21� � $����$� 77&� 77P � 7�7� 2F21� � $����$� PH� 7�� � 7��� 221� ; H�� H� � H�� 21� ; &�� &� � &�� 21 ; ��� �&� �21 ; ��� �H � � %� I� �� ������ �� ��� ��*�#� �0��������� 6��! ��$���#� ������:� �0����5,��� �� ��������� � �0! ���+� ����� ���+���� ������� <=>� �����*������ ���� % � �������%� � �)���� �;7� $�� ��� ������! � ����� �������%� ≈7�� �/� / �����* � � ���� �0! ��0� �� ��������� * �0���+�� � ��������* )�� �� 6 �0��� �:Q � ��������� � �%�� ���* �� � ��� ��%�! ���# � ����� �� ��#� $���� �����0� ���� * �����! @���5 �0���+�� ��� ����%���� �� ��� ����� ��� %��*! ���@�$ �������� ��� ��0� � � ��$�� I� ���%� ���,��� �0�������� ����$���#� ������ �� ��������� � �0���+�� � ���+���� �����! �� �� ��%� ����� ��� ���� %� � )� #��������� �$ ������%� � ���� �� %�0��� �� �������% � ��� ��! @���� �Q7� B��%���������*� ) � � �����* � � ���*��! ���� ��$�)����� ����+�� ���%����� ������%� � ���! ����%�$ (NFR(FN77�77 �/ ��� �(NF�R�(FN7&�7 �/ 0�%� �0�����#�� *� �� �)�� ���%������ (F� � ��! ������� *� ���$ �0����$� �� 0�%� ���� �� *� � 6(��! %�� �)� #�� *� ) � ���$������ � �� �$��� $� � %��� * ����@�� �����* � # ��� �������� �� ��%� �������� � � �� ��� ���� �� CCl4 O2, Ar �������� � ���� ���������� �������� � � � , � �� �� � �� � �� � ! I " � # �� $ �% % & �� � ! I�� �, $ � �# � ' ( �� � �� � �) �� � ' �� � � � � ' �� � �� � �* � � ' �� � � +������,� ������* ��'� - �� .�� ������ � 1 130 — 0,065 800 2,0 6,0 150 15 … ��"�������� 1 130 — 0,067 900 2,4 6,5 220 30 … ���#��'���'� ���� 2 130 — 0,067 800 2,0 6,0 150 55 … ��"�������� 2 80 50 (O2) 0,067 800 2,0 6,0 150 7+3 … �� ������,�����/2 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 20 … .����0����,� � �' ���� 3 — 90 (O2) 0,035 900 3,2 8,0 150 5 … .����0����,����������, 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 20 … .����0����,� � �' ���� 3 — 50 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������, 3 50 15 (O2) 0,040 900 3,2 8,0 150 30 … .����0����,� � �' ���� 3 — 100 (O2) 0,030 800 3,6 7,5 200 22 … /��������� ���� 3 — 100 (O2) 0,035 800 3,6 7,5 200 10 … .����0����,����������, 4 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 32 … .����0����,� � �' ���� 4 — 90 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������, 4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 20 … ��"�������� 4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 5 … .�������"��#�"��(�� � 5 100 — 0,010 1000 2,0 6,5 200 30 ... .�"� �������#� ���!1� ��������'���� 5 100 — 0,067 1000 2,6 6,0 300 30 ≈400 �1� �2�������������'� ∆3��4� � 5 125 — 0,042 1000 4,4 8,5 140 30 ... �1�#�'�����,����)��� 6 130 — 0,070 1000 4,4 9,0 80÷130 40 ... �1�#���������������������' 6 130 — 0,060 1000 4,2 8,5 80÷220 30 ... �1�#�������#�����#����5 7 130 %&��$r) 0,067 900 3,8 7,0 400 20 ... �1����,�Ni����#�����' 8 130 �&��$r) 0,048 900 4,5 8,0 250 20 ≈400 �1�∆3��4� � 9 130 �&��$r) 0,067 900 4,4 8,0 250 30 ≈670 6�#��'���"����1�#����0����,� �����'��Ni ���� ∆34� � � 10 100 �&��$r) 0,067 1000 3,8 7,5 260 40 500 �1�#����0����,������', ∆3&�47� � 11 120 4&��$r) 0,080 ... ... 12 250 20 125 M: ∆ = 0,75 � � 12 70 4&��$r) 0,090 ... ... 12 240 30 250 �1 ∆= 0,75 � 13 70 4&��$r) 0,075 ... ... 11 260 30 250 ���"���&8+��∆3&�7�� � 14 70 4&��$r) 0,055 ... ... 12 240—260 70 ... ���"��7&8+����'��'�Ni 15 70 4&��$r) 0,075 ... ... 10 200 30 ... ���"� ��8+����'��'�Ni 16 70 4&��$r) 0,042 0,090 ... ... 4,5 3,2 10 … 190 … 25 + 10 700 540 ���"��7&8+��Ni������∆3���� � ���"� 50°+��∆3���� � � Ni����#�����'�#������,9 Å ���� �� �������� �� ������ ��� ����� ����� ��������� ������ �������������� ���� ��������!"#$����� ���������� ������!"#$������ ��������%���������&� ��������!"# ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ����� � �� ��� �������� � ���� ��5$��� ���� �$ 0����� ���"��� 6α!M1�F�: %�0���� �������%� $� � ������ *5 0�������� * ���+��� ������� �: B�����! ��� *� ����)���� ����� ������� � %��� �� ��*�� ������*�� ���)@����* 6 �0��� �:� �� %� �#0��� ��! �$��*���� �� �$� ��0�� � %��*���@� � ��0� �� ���������� /$�� � � �$ ��� ��0� � BAC �� �$��� ����� 221� NF� �� $���!���� ��� ��0�5%�� � 2F21� 6"�����:� �� ��#� �� � � �)��* ����)�#$ � ���%�#$ %� �0��� ���5,��� ���������� B�� �$� %� ���)@�! �� �������)��� � ��������� � �����)��� 0������! ��� � ��0� # �� BAC 0#�� � ��0� ��� �������� ������� ��� ������*�#� ����� �� ��%� ����� 0�� %�0���� �������%�� ( +��*5 �����)��� ������ � �$�� +�� ������! ��� � �0���+� � ��$��� BAC %�0��� �� ����� � ��! ��)�� �� %� ��O � �0S�$� ��������� ��0�)��� ����� ) � �� � �����%��� � �$��*@���5 ����$����� ����! �� �� ��������� � �0���+��� T����)���� ������� ����� %� ��� �/ �����%��� � �����$� �����@���5 6����#����5: ��������� $��! �� � � ��� �������+� �� �� ����#@�5,�� �� $�� 6 �0��� �:� F� �$��*�#$� ��������* �� �$# �0��! 0� �� ��� ������*�#� � ��� �� ��� ������ � ����� ���;��� �/� ��� �� ��#� �,� �� �������%��� ��! ,�� ������� ����#���� $���� �� ����� � �� %�� �! �)�� �""�� ���� �������%��� �������� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � ��������#� �� ���"���! ��5 ��%�� ��� J�� � � � $�)����* �#@�� �$���� ��� ������! �� ���$� �#� ���%�� �� ����+�� <=> � �����$ � ��������� � �0���+� ��� ��� � %�� � �)�� 0��*! @�� ����)��# 6���;���'(:� ��� �$� ��� %� � ��! ��$���#$� ������$� �� ��������� � �0���+� $�! �� � ���� ��� ����%� *� � ���%�� # ����+�� ����� � �� ��%�$ ����� 6<=21� � <=21�:� I� � �$�� +�� �� %����0+�� � �0��0� #���$�� ��������� � ���! ����%��� ��%����� ��%#� �����*���$�� %� ���� ! %��� ���� ���� ����$ �0����$� ��� $�,��� � ��������� ����! �� ��� 7 �/ � ��$$����$ ��� � ���� %� H M� ��� %������ ��*���� ������ ��� ��H M� %������� ��0�! )��� ���� � ��$��� &K7�L� $$ � � � � ��� ��� ��@�! ��� ((1�QM� 7�Q7 � �$���� ��� ���� %�5,�� ��%# N��'( ������ * ������� �� ��%� ����� ��� ��! � �� ��� Å?$��� � ��� ��%������ ��%�� �� 6 �$��! �� ��� ���� %�5,�� ��%# ��'(: ������ * �����! �� <=> ������ ��� %� �&� Å?$�� 6 �0��� �:� B�� �������+�� �� $�� %���#� �� �$ �� � �0����)�! ��� ��� ���������� ���"������ ��%�� �� �� ���! 0��� %� ��� $�$� �� ���� ���0��%�$� %� �� ����! �� ���$� �#� �� � ��� <=>� ���%����#� � ��%! �� ��� (�� �#� ��� ������*�#� ����� ��� ��#� ��� � ! $�)����* �#@�� ��%�� ��� '!� ��� ��� �� ��%� ���! �� � � ��� ��5$����� 0���% � ��� 6UVW ( :� ���� � ��� '!� ��� ��� �� ��%� ����� � � ��� ��5$����� � ��� ���� � -�.� J�� � $�)����* � ��0� � -7�.� %�0���� 7�O �������%� ��� �������� ��5$��� � ����$� ����� 221� ������ *5 0������� ���+��� BA�� B�� �0��! 0� �� � ��� �� 0#�� ���0��%�$� �� � �������� ���! "��� �� ���0��� ���L��� $�$ 6α!M1�F�:� � ����)�� ���! ����%� 0������� �������� � ��� $� ������ ��!�� 0��*@�� ������� �� �� �������%� � ��5$����$ 6�; & �/: -P� �� ���.� B�� �$� ���0��%�$� 0#�� � ��0� � * ��������5 ������� ��� ��� � ��� ��# � ��0�)�� ������ �� ��%�� �,�� �������%� / � � ���$ %� �)�� �� ��������� � � ���)@�! �� %����0+�� ���%�� �� ����+�� ���0��%�$� %����! �� ��*�� ����� � �$�� +� ��������� �� I� � ��� �����*�������* %�0���� ������ � ����$� 221�� ���$� ! � �� �� ) � �� ��+��� ������+�� ������ 7��&� �/� � ����� ; 7���7 G� -P� �$ �.� %� ����)��� ���� ������ ��0�� � $��*@� ������ � � �� %� �0����! ���� ���� ����� ���)��� ���0��%�$� %����+����! �� * $������� 221'� J��$� ���� ������ � � ��)�� � �������%�� ��$�)���� ��� ����� � �����0� ��� ��*! �� � �$�� +�� ��������� � � %����0+�� � ��� ���! %�� �� ����+��� ����$ �0����$� �%����* ����@�� ��� ���� * ��� �#� ��� ������*�#� � ��� ��# � �� ��%�$ ���! �� �0,�� ��,���� ���$���� 7 $�$ � �%��� * ��! ��� � ���"�� �� ��� $�$ �� �� $��� B�� � �$ ���%! � ������ * ������� ��� ������*�#� � ��� �� ��! � ����� &�� Å?$��� � ��� �������� ���"��� ���%! � ������ * �$��*@����* %� ��� Å?$�� 6 �0�� �:� I� �������� Q ��� � �� � ������ � ������ * ���! �#���� ����� 0#�� ��� Å?$��� ������ * �����! �� ������%� ����� ; ���� Å?$��� � ��5$��� ; ���� Å?$��� B�� ��� ) � ������ ��*�� ����� ���! ��� * ������� ��� �#� � ��� �� �� ���� � �$� ) � ������ � ������� ������� ���% ,�� � ���5 � ���! ���� ���*�� � ��)�5 � � �� �����$��� ������ � ��� ��$���� 0#� ��� ��� � �� " ����%�� �,�� ��! �%����� �� B�� �$� ���0��%�$� %��*���@� %���0� ! �� ��������� ������� ��� �#� � ��� ��� 8���!���� �# ���%�� �� %����+��+�� � ���%�� �� ��! $�)����� ����+��� �������% ,�� � BAC ��� �#����)�! � � ��$ ���� %� � 221�NX� � �� �� &� 7��� �� �� $� � N � � �X N ( N 2 > N 2 X N > N � 2 1N Y 2 1N 2 1N � 2 2 1N � 2 F 2 1N � 2 2 1N � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � T����)���� ��� ��� � ��� � ���� %� 6 �0��� �: �����%��� � 0���� 0#� ��$� ����#����5 ��������� $���� 6�����$��� ��� ��� ���� %� 7��� M � ���� ! ���� �� ��$�,��� ��� /:� B�� �$� ���0��%�$� ��! 0� � �� �����)���5 � ����� � �������#� $���� � ���)���5 ������$�� � � ����� � $���� � $� �%� �� ���#���� � (��%�� � $� � *� ) � �$�5 � �� � �����)��� ������ � ������� ���� ��� ������*�#� � ��� ��� G �� � �%��� � ����#� �����)���� ���� %���� ��� � ����$���$�)����$ ���� ��� ��� ����$����� ����! ��� ������ � %����� ; ��%0�� �� �$��*�#� ��� �! ��� ������ ���$�� �$#� � ��)�� �� ��0�)��� � �� ���! ��%� � ���� * �� ��*�� �� ��% ����� � �� � %����� ������� ���% ,�� � ��� �� �����0� ���#� �#����! �$���� ���#� ��� �� ��� �#%�� ���5,��� ������! �� ��0� � -�.� �$���� ��� &��'( 0�� %����%�+��� �� ������ �����%���#� �����%������ 0#�� ���! ��0� ��# �#���� �$���� ���#� %� )��� A���� %� ��$����� ���� ����� �� $���� �#� ������ �"# $" ����$ �0����$� � ����$���$�)����$ ���� ��� � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� �����%��� �0��0� ! �� �0���+�� ��� ������*�#� ������ ��%�� �,�� �� ! ��% ����� � � �������� ���$� ��� * ������� ���� � ��� �� � ������%�� �,�� ����$�� C����0� ��� $�! �%��� �� � ��������� ���� ��� %� � �� ��%� ���! �� � ����������� �� ���"��� B��%�� ��� �������� ������� ��� �#� ���! ������*�#� ����� � <=> � ����)��# ������ � ���! ���� ���� ����� %� &�� Å?$��� B�������� ) � ���� ���� � �� ��%�$ ����� ��,���� 7�� $�$ $��� 0# * ��� ������# )���� $���� �� ����� ��,���� ��H $�$ � �������+��� ������� ���"������ ��%�� �� �� ���0��� %� ��� $�$� T� ��������� ) � �������� ��� ������*�#� ���! ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � �� � � %�� � �)�� �""�� ���#$ ��� ������ � ����� ��� �/� B�� �����! ��� � ����$� � ������ $� ����� ≥��� �/ �������%� ����#����� ��������� ��,� ��� $����� ��$�)��# �� � �����)��� ������ �� ������� ��� �#� ��� ����! ��*�#� � ��� ��� ��%�� �,�� �� ��% ����� � �� ������ �����%���#� �����%������ �����0� �! �# �#���� �$���� ���#� %� )��� A���� %� ��$���! ��� ���� ����� �� $���� �#� ������ D(BFZ[\F/M��]^ D(�FE�DJD 7� _`ab=cdefg h� i�� hj`k l� h�� ifgVcedfVc l� m� l=dfkV=1e nkonfkdVfe op cVdkVqfe ?? 3cdfkc=dVoc=1 ro`kc=1 op YVsj hnffq m1ftdkocVte oc hbedfae�; �����; uo1� 7�� > 7�; v� 7;7P� �� I������ /� ��� I���)��� w� M�� x���� �� M�� J�$���� 8� M� 8�,�#� �#���� �$���� ���#� ��%��+������ ����� (/E!���! 0��# ������ �������� �� @���������#� �� ���������%�� y1<=>? <=> ?? F0���# �� ���� ������ ������� (��� (/E! �������; ���7�; /#�� 7� �� Z�+���� ^� /�� \�0�����) /� \�� B��������� /� � � %�� D$���*��#� �����# Tz!����� �0��� � ���� �� �� ������ �� ���! � ��� �� <=>� �#��,���#� �� ���$����#� ��%�� ��� ? 8� !�# $� %����� ���)� @���# {z����� �$���*��#� ���� %�� � ���%��! ��������#� ���%��|�; ��������Q M ���� �����; (� ��;�&� �� Wo1dogfde l� h�� 3g=cog u� >�� yg}efcdbfg y� ~`� �d =1� YVsj dfanfk=d`kf tocd=tde do <=> =cq hV2 �=efq oc UVW ( c=coedk`}d`kf 1=`fke ? l=dfkV=1e h}Vctf 4ok`a� uo1� �H�L�H�� Uk=ce� Uftj v`�1V}=! dVoce� h�Vd�fk1=cq� �����; C� 7��7;7���� �� u=eeV1fge}V �� u�� hV�og u� m�� W=�=cVc y� r� fd =1� �kbfdtjVcs op s=11V`a cVdkVqf ̀ eVcs 221�4� 221�� =cq djfVk aV�d`kfe �Vdj >� =cq =Vk ? r`ed� vjbe� 2ocp�� hfk� > 7��� 2j=ndfk ��; v=nfk nkfefcdfq =d hV1V}oc 2=k�Vqf =cq _f1=dfq l=dfkV=1e 7PP� 2ocp�; �bodo� r=n=c�; v� 7��&L7���� �� J������ W� l�� T� ���� /� /�� z�%�����) F� M� BAC � ��$��� #$ %���"�$ ���� ����� %� �������%� �� ���$�� �� � ��0$������#$� ���$���$� ? 8� !�# �!� 8� %����� J�#$���� $������������ ���"����+�� {J�#8�J�!P�|�; (���� ����*� J�#$� T�������; 7PP��; (� �H�;�HH� &� J������ /� 8�� B���� M� w�� T� ���� /� /� 8�%��������! ����#� ����$���$�)����� ���� �� � ��$��� #$ %���"�$ ���� ! ����� %� ������� %� )���� ��������$����� ? 8� !�� ,���)�� ����� ���"� ��I �M� T�������; J����; 7PP��; (� 7&�;7&�� H� 9���������� D� ��� ��������� w� B�� ���� ) ̂ � z� J�� ��� ������)��� �� ��$���; J���Q D�%!�� M� T((C� 7P��� P� G0�� 9� J�� ��� ������)��� �� "������; 8�Q 9����%� "���!$� � �� ��� ��#� 7P��� 7�� J������ /� 8�� T� ���� /� /�� z�%�����) F� M�� E�0�� �� D� B���$���$�)����� �������� ��5$�����#� ������ � $������#! $� � ��0$������#$� ���$���$� ���$�� �� ��� ������ ������ � ����� ?? ���%# T���������� �����$���� �0,�� ���; 7PP��; �� 7�; (� �&;��� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!��� � � � � � � � #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!��� B��0�� {C�����| %� ���$�)������ �������$�� � {J��*+�| �� 0�� � 8J(� 6T������� ��� F%����� J���� C���� � �� 8�����: F0��� $������� �#��� ��)� �#� ��� � 6C���� � �� (�!B� ��0���: D� �����*�#� �����)�#� ����0������ ��* %������ �� ������ ���$�� � ���%��� ��*��� $�$0������ 6T������� ��� J���� /����+�: T� ���� �� %� ��������� @����#$ %���� ���$ �� BZD(� 6T������� �� F%����: B*�������$�)����� ���� ������ �)����� ����0������ ��� $�$0������� ���� 6T������� �� I���+�: 8�,�#� 0���������#� lXh4mU! ������ ��# %� ��������� ���� $�� � �� 6�������*� �� 8����: G��� �������%��� * ������$���� �� � ��� �)����� � ��� ����� 6T������� �� F%����: D�"��$�+����#� ��������� ) ��� $��������)�#� ��%����� ��$�����! �� ��)� �#� ����� � ��� �$�� �� �$� ������������ �� �)������ ��� ��� � 6T������� �� F%����: M����� $ ������� ������ ���� ��)�� �� ���� ��$���� ��� ���$�� �$�� � CG( M(T� 6C���� � �� (�!B� ��0���: F� �$���+� ������ ��!������$$���� �0����)��� %� �� �$� ���+�� ����! ��"� �$� �� (z!��� 6T������� �� E�����+#: � � � # � % � � & ' � ' � � ' $ � ! � � �# � % � � & ' � ' � � ' $ � ! � � �