Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла....
Gespeichert in:
Datum: | 2005 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-53683 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-536832014-01-26T03:11:54Z Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. Технологические процессы и оборудование Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла. 2005 Article Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла. |
format |
Article |
author |
Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
author_facet |
Борисенко, А.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Свешников, Ю.Н. |
author_sort |
Борисенко, А.Г. |
title |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
title_short |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
title_full |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
title_fullStr |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
title_full_unstemmed |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
title_sort |
плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2005 |
topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53683 |
citation_txt |
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, Ю.Н. Свешников // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 42-46. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT borisenkoag plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT polozovbp plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT fedorovičoa plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT boltovecns plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT ivanovvn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ AT svešnikovûn plazmohimičeskoetravlenieépitaksialʹnyhstrukturnitridagalliâ |
first_indexed |
2025-07-05T05:02:59Z |
last_indexed |
2025-07-05T05:02:59Z |
_version_ |
1836781959573929984 |
fulltext |
c�
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��U��
�����
������������
��
��������
�
�,��.
N���
����U
���
N
�����������
�Y���
��
����N����
���
�����
�
������
$N1nW�ogOO)
�Y���
U
��������.
����
���
�,��N���
�
������
����M
��o�gO�O"
%�.
�����O�����
U
������������
��
��������
�
��
�.
N������
�,��N���
��
�M����
���������
���
��� ��
��
Y����
��u"
%�Y� ���O�
�
�������
,���
������ .
��
������
�Yx �� �
�
�ZZ��
�O
O������N����
��.
��Z�������
�
����������
�
���
���"
A�
���
U
��.
��Z�����������
���
��M
�Y���������
���
���
�
�N.
�MO
��N��
��O
��
�N�����
�Y��Y�
��
Y����M�
��.
�������
��
����������
��
�
�M�����
����������
U
�
���
��M
����N���M�
�Y��,���"
yyy
%�
������
��������M�
����������
YM��
�,��
��.
���M
��,��
��
���
�
O�
�����
������N�
W�×W��
����.
��,��N���M�
��
������������
O�a���
�
�
�������.
��.��
�N�����
���
�O��
��Z��O���������
�YO���"
?
���
���
��,��
��
��
�Y��,��
�
��
�O
���������
�����������
���������
�
�����MO�
�N��
��O�
���.
P���M�
�
� �
��
�N�����
�������
�
���O�
��O
����.
�����M
W��gO�O
�
N�������
����
����
����"
&,O�������
,��N����
�����OM�
��
��U
�,��
�����.
����
�Y��,��
��,��
��
��
���
�����
��
Y����
�g�w
���
�������O�����
�
������������
��
�N�����
O�a��.
�
�
zW��g�w�
N
�
���
��
�
���
��Y����� O�
����x �.
� �OMO
�
��,��
��
�� O
�����O���MO�
���������.
��
�N����O�
���
�O�O�
������N�
��Z��O����"
&?B#C{E#@D%%LH
&?�#A%&(&
W"
I�
�������
@"
�"�
(� N���
%"
�"�
K������
F"
K"
F������.
� ��M�
��,��
��
���
��
������
�����M�
�
���
��
�,
�
����
��
���������.��
�N�����
��Z��O������M�
���
�O
mm
?��
�OM
�
����.
�
��
�� ,��
���������
�
�������a��� "l
����"l
�gWh�"l
?"
�ol!�"
�"g(� N���
%"
�"�
k��U ���
D"
@"�
w�� ���
@"
+"
�
��"
+��O�.
�������
��
�N�����
�����������
�
���
��M�
��� N� a��
�Y.
���
U
�,
������O��,�
����
O�
������
m
%���
���������
�
Z�.
���M�
����
���M"
F�
.�M
|
F�P������"
��O�����"l
}�Q���.
#��3
F��k�J�
����"l
?"
��l��"
�"
~=221<�
̂ "
mm
�"
�442"
̀ 6�5"l
W�o�"l
\72"
�!�
b
�"l
̀ "
cccWl
ccc�"
c"
�0;�6
_"�
�>0;5=
]"�
`0�;=:
\"
=:
02"
`>74=>:1=5
7�
`|[\].
�1�=>5
�1:6
4;>=
T1S�.�7>=3
:6=
1<�2;=<�=
7�
:6=
4>=�7>/
�722045=
4>7�=55
mm
�"
S4:"
[7//;<"l
W�o!"l
\72"
o�
b
c"l
"̀
W�WlW�!"
��
�
���
������
�
�������
��"�!
����
�"
#������
��� �
������7�����
�O�<���P
$wkJ&*�
�"
F����)
��� �
���������
��Q���7<�����Q���������R���
��� �
������������S<������������ �
���������7��Q��T��<��
�����������������������������7�<������
J�������
�"
(����
&�.
����M�
�������������
%&&
�#�����j
*���� �
�"
F������
�f�O�.O�����
�
-./0123
�7>159�1<>"�1=8";0�
1<:=>�=49�1<>"�1=8";0
BCDEF#G&F&AH?(#H
�*D@CH%&H
fB&�D(?&DC{%LG
?�*J(�J*
%&�*&�D
kDCC&K
�.* !�$�) )(���) �*���+�)#),**���!"
#��*-� #)U�$+��!�) ��&��&��� )���U!
V*+�W.*�!� *!#'�$�� #)*��*��*�!�,!#
#*-���!�� ���$���!�.)�#)U�&�*%� !. *
�!���%,)�)"#��$�"$ )�)���.��!�&��$�
�!�/*�*�M)##!�
%�
���
�����
l
����
�,
���M�
������������.
����
�������� a��
�
��Y�
�
���������
���O
���
Y��UQ��
���O����
��
�
����M
���������
����
�
��.
�������"
f
�
�� ,���
�
����N��O
�
����
�� OM�
,���.
,���.����������
Q�����
Y��UQ��
,����a�����
,��M
��
��M�
l
���W
�@
��
�
���
��M
� ���
�
�
���
�@
��
��Y�N�����
�
���
��M
VWX"
w�������
�
��
���.
Y�����
�
���
������U�M�
�
���
��M
��
����
�����
��
�
�������
���MO�
��
���O�����
�
�M��.
��
�O����
�����
��
�����
�������
?@A.O��������.
�������
��,�����
������
V�X"
@
N��
���
��
���
��.
���U,�
�
��
��,��Y�
��
�M�����ZZ��
���M�
��.
,����
�
�����,���O
�,��N���
�
��U
��Z����
����
��
,������
�Y���
��
����
��"
%�
���
�����
�����U,��
�
��P�
��
�,��
����.
��
������
��
�N�����
����O���
�,��N���
��
����.
��O�
Y��,��O
�
�����N��O��
��
��M�
�O�
�
���.
�M�
O�O��
���ZZ�����
����Y��,�����
����
��N�.
����
�������
�
���
����
�,��N����
rc�u
�
�������.
�OMO
(B�
��
��u
V�X"
B����
��� �
��
����
�
��,.
��Y�
��
�M����
�O����
���M�
��
N����
G����
��
�,O������
O����
�M�
������
��
��M�
O���
��Y�
�
U
���
�O����
����
��
���t?"
*�,��Y�
��
�ZZ��
�����
���������
�������
�
�.
��
������
������������������
O�
������
�
����
�
�
N����
��
���U�M�
,���N"
@
���
� a��
��Y�
�
���.
���M
���Y�����
�
���������
�������
���P�M�
�����
���
���
�����P�a��
���
������U�M�
����
��
.
����
����� �
��������M�
��
�����P��
�,
���Z���"
&����������
����������U
���
��,��Y�
��
�M.
����
�O����
���M�
��
N����
G����"
&����U.
,������U
���P�M�
�����
���
���M�
�����
�����P�.
a��
���
������U�M�
����
��
����
����� "
f��
����.
��U�M�
�
���
��M�
��
��M�
�����������U
���,O���.
O�N����O�
������� �
YM��
���������
��U��
������.
�M
��
�����P��
�,
���Z���
�
�����P���
����� a��
��������3
D.�
���
���
��
����
�����
$D.e0b)�
�
���
�� O�����
Y����
�
���
$�1�8)�
,���
�
���
D.�
���
�.
��
��
����
�����
$D.e0b)�
�
���
�� O�����
�
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
����
��
��
� �!���"�� �
�
���
��#
���
��
���
���!
�$#
%�
�
�����
�
���
��
���
�$����
���
&��'(
�
�)����
��
�
$� ��
��
��*��
������%�
*
���
��
�
!
%��*�#�
������
��
�
�+���
*
��
��,��#
-�.�
/
��0�
�
-�.
%�
�������
��
��%�
�����
���$�� !
���*
((1��
223�4�
�
��
�$���
�
���
�$�
���������
���!
����%���
���
��%��+�����$
���� %�
�
$����$��*���
$�,���
*5
�#����)��
�
����
������
���
67����
89+:
;
�
�/
�
8����$��*�#�
������
�
�������
<=>
���
�
�$
���
�����
���
Å?
$���
/
��@�$
���)��
�0��0�
��
�0���+��
�����%����*
�
����$���$�)����$
����
���
6
��:
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
-�.�
A�$�)����
��
����
����!
$�
�0�����#�����*
�
BAC
���
�#����)��
�
��$
���!
� %�
�
)��
�
��
7����
89+
�
����,����$
6��
�
��!
@���5
�
����
��)����$�:
�
������ �$�$
$����
��$
�����
D����*�������
/E!���� %�
�
������)��$
$��!
��
��$
����
�����)����
�
����*
%����+��+��
$���!
���
��0�)��
�����
�
�
����*
������+��
�
�$���
)
�
�����%�
�
�����)���5
���
���
�
����$#
�
��%���!
���
��
���
��
�
������
������
��
�������
�0��0�!
#���$#�
$�
��������
F��0�����
*5
%������
BAC
�� �
�
���$� ���
*
������������
�������
��$�!
)����
��
���#�
�����
�
��
%�
&��
�/
�
��$�,*5
������ �$#�
$����
�#�
�����
6���
����$���#�
%��!
���
����$�
���
���� %�:�
8����
���
����
���%������*
��$
��
�@��$��
/����
�
�� �
��
�@��
�
������������
���
���5!
)��#
�����%���
��*��
�
���"�����
(��%�
��
�@��
���5)���
�
%��*���
�
����)���
�
�����������
���
�
���
$� ��
0#��
�� �
$��
*�
B��
�$�
�
�����%�!
���� �
��$�� ���*
��
��*��
���� �����
*
$����
!
����
��� �
��
�
���
���"�����+�
-&.�
)
�
������ ��
����������
*
������5
�����
�
@������
���%�����
���
�
$�)���
�#@��
G
�
%��
���$� ���
*
�����%�
*
����$���$�)�����
��������
���
������
������ �
�����
0��
��%��+����#�
����� %����
���������
!
�#�
������
�
�� �
����#�����
�0��0�
#���$#�
$�!
��������
B��
�0��0�
��
���
������*�#�
�����
��
��%�
���!
�� �
�#��,���#�
��
���"����#�
��%�� ����
�����!
���
������*��
���0��$�
/�!����#��
��
��%
�����
���
��������
�
��$�)����
��
�����
����$��
�0����5,��!
�
�
����
���
���
/E!���� %�
�
�����
)�
#���������!
���
������%��
$� �
�0�����#��
*
��
���������
�
�0��0�
#���$���
�0���+�
���
���%������
<=21�
�
�$!
����
����
��������
��7��'(�
��
�
<=21�
�
�$����!
����
��������
���'(
-H�
��
���
��.�
I�
�%�����
�
��
���%������
�
���������
�
�0��0�
#���$���
$�
������
�� ��
��,��
����#�
������
��%�� ��
���
��
%��
�
�)��
$�,��
�����
�
�$�� +� �
���0��%�!
$�
%�
���)@���
���+����
%����0+��
���%��
��
����+��
<=>
�
��%�����$��
�
�$�$�
�
����$��
���!
����5,�$�
�
BAC
���
/E!���� %�
�
�����
221��
D�!
���*����
*
%�
�������
<=>
"
����%�� �,��
��!
�%�����
��+������0������
�
��
�0����5,���
��
���������
�
<=4�
�$��
�$����
���
��������
7���'(
-H�
�$
�.�
�
���
����
�#�����
�$����
�!
���
�%������
���%��
��
����+��
�
���������
�
��
!
��%�
�����
0��
����� %���
���������
$����
��!
,����
���;7��
$�$
�
�����
�
���0��$�
�)�#$�
/
��� �
0����
��,��
�����
���0��$�
;
�
�
��!
�0��%�$��
*
��
�
�
���+����
�������
�
������!
���
�
�0���+�
���� �
��*����
����
��)������
��� !
%��
��
��#�
����
�
���
����%���5
�����
�����
��
���������
*�
)
�
�����%�
�
������,���5
���+����
������� �
I�
��
�
���������
����
��� %�
���$�� ���*
���+���*��
���$�
�%�����$������
��%��5)���
�
BAC
%���
�#����)��
�
�#�
������
����
;
�������!
��
�
)��
�
��
7����
89+
�
%������
��*����
�
)��
�!
��
���
�9+�
B���#�
������
��
���%����
��$�)����
��
����5
����$��
���
� ,�5
��
������
����
�����
�
��%�������
/
����
������
��
�
)��
�
��
���
�9+
��!
���� �
���$�
*
��� %
�
���������
�
��
��%�
����� �
/�� ���
�%����
������
���
��
%�����
�
���+����
��!
�$��
���
��0�
#
���%����*
�
$���$�$�
���+���*!
�#$�
�����0�
���#$�
�
����
������#$�
"��*
��$��
D����%�����
��
�������5
��� �#�
���
��!
����*�#�
�����
�����%����*
�
��
�
���
6�$�
�������:�
B���#�
�
��
�
0#�
���� ,��
�����%���!
�� $
���$� ���
�
�������
��
��%�
�����
�
�
��!
0�
��
����$��$��
���������
���
������� �
/
����
�
��
�
0#�
���������
��
�����0�
��
���������
��!
��)���
����
#�
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
���!
�� �
�
���$������$
$����
��
���������
������
��!
,����
≈���
$�$�
D�
������+�
��
��
�
��
�
;
�����!
%������
���$� ���
�
�������
��� �#�
���
����!
��*�#�
�����
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
J� %#�
��
�
��
�
����
�����%������
��0����
����!
%�����#�
��$������
�
��������)�����
+���)���
�
��
�����%����*
��@�
*
�����@����
����#�
��%�)�
�
��!
��
*
%�����
��������)�����
�����
/
��)��
��
��0�)��
�����
���
��������
�����*!
�������*
)�
#���������
#�
������%�
�
�� �
���
�$���
�
�������%�$
���
�
������$
�
����#�
���
��!
@��� ��
I�������
��0�)���
����
�
����
���
���*���!
�����*
�
���%����
67���&:K7�L�
$$
�
�
�
�
C����%#
��!
���
��$�� ���*
���
��$�,�
%���
�%���
�#�
���!
��%�$����
�
�%������#$�
����$�
��$��
C�����
*
�#��
�������
�����$����
$����
�
�����%�$����
��$�� ���*
�
$$�
�
�
��@����
�#��
�
��
��$$�
%��
���+��
���
�
��@����
��
���
�����
�
BAC�
G�����
�����
�������������*
�
��$�,*5
�����!
� �$#�
$����
�#�
�����
�
H�
%�
���
�/�
8�,���
*
���������
������
���
����
67����
89+:
�
%���
���!
�#�
���� �
�����%������
��
����#@���
7
�/
���
��$$����$
���
�����
�
���� %�
H
M
�
���
�%���
���%�!
���$�$
%������
��*�#$
������
���$
6���
�9+:�
��
0����
���
M�
B��
������
������ �
�����
6H�
�/:
�
���� %�
�
((1�
���+���
�������
<=>
�����%�
�)��*
$�%�����
�
���������
*
�0���+�
���
�
�$
�
�����
!
�
)�����
6���� �������:
6
�0���
�:�
/�%�$��
�
�
�� !
����
�
��� %����$
������%�
���
����$���#�
������
��
�0��0�
#���$��
���������
��
��
$���!����
�����$$���
����)���#�
�
���+��!
��
�������
6�$�
����� !:�
��0�5%�5
�
����
(21N��
221�
N�
221N�
(1N�
(N
�
%������
G
��
�
�%���
�
����#�
���%�
��*�
���
�
�#�����
�""��
�����
�
��0�
#
BAC
���
%����+��+��
����%����
��0�)���
�����
�
�
%�����
;
�����#���
����)��
�
�$��
������%��
��!
��#�
$���
���0�����
*�
��
���������
�
�0��0�!
#���$#�
�
���
���
B��
���@�"�����
$���!����
!
��
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
���
���%��
�)�
#��
*�
)
�
����
�$��
%��
��
��)�!
�#�
���
���
;
����
�
$�����
��
6&���O:
�
����
�
$�����
�&
6����O:
-P.�
B��
�$�
��
$���!����
���
��0�5%�5
�
�%������#�
���%�����
�
����#$�
$��!
��$��
�����$���
(21�
�
$����$�
77&�
77P
�
7�7�
2F21�
�
$����$�
PH�
7��
�
7���
221�
;
H��
H�
�
H��
21�
;
&��
&�
�
&��
21
;
���
�&�
�21
;
���
�H
�
�
%�
I�
��
������
�� ���
��*�#�
�0���������
6��!
��$���#�
������:�
�0����5,���
��
���������
�
�0!
���+�
�����
���+����
�������
<=>�
�����*������
���� %
�
�������%�
�
�)����
�;7�
$��
���
������!
�
�����
�������%�
≈7��
�/�
/
�����*
�
�
����
�0!
��0�
��
���������
*
�0���+��
�
��������*
)��
��
6
�0���
�:Q
�
���������
�
�%�� ���*
�� �
���
��%�!
���#
�
�����
��
��#�
$����
�����0�
����
*
�����!
@���5
�0���+��
���
����%����
��
���
�����
���
%��*!
���@�$
��������
���
��0�
�
�
��$��
I�
���%�
���,���
�0��������
����$���#�
������
��
���������
�
�0���+��
�
���+����
�����!
��
��
��%�
�����
���
���� %�
�
)�
#���������
�$
������%�
�
����
��
%�0��� ��
�������%
�
���
��!
@����
�Q7�
B��%���������*�
)
�
�
�����*
�
�
���*��!
����
��$�)�����
����+��
���%�����
������%�
�
���!
����%�$
(NFR(FN77�77
�/
���
�(NF�R�(FN7&�7
�/
0�%�
�0�����#��
*�
��
�)��
���%������
(F�
�
��!
�������
*�
���$
�0����$�
��
0�%�
���� ��
*� �
6(��!
%��
�)�
#��
*�
)
�
���$������
�
��
�$���
$� �
%���
*
����@��
�����*
�
#
���
��������
��
��%�
�������� �
�
��
���
����
��
CCl4 O2, Ar
��������
�
����
����������
�������� �
�
�
, �
��
��
�
��
�
��
�
!
I "
�
#
��
$
�%
%
&
��
�
!
I��
�,
$
�
�#
�
'
(
��
�
��
�
�)
��
�
'
��
�
�
�
�
'
��
�
��
�
�*
�
�
'
��
�
�
+������,�
������*
��'�
-
��
.��
������
�
1 130 — 0,065 800 2,0 6,0 150 15 … ��"��������
1 130 — 0,067 900 2,4 6,5 220 30 … ���#��'���'�
����
2 130 — 0,067 800 2,0 6,0 150 55 … ��"��������
2 80 50 (O2) 0,067 800 2,0 6,0 150 7+3 … ��
������,�����/2
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 20 … .����0����,�
� �'
����
3 — 90 (O2) 0,035 900 3,2 8,0 150 5 … .����0����,����������,
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 20 … .����0����,�
� �'
����
3 — 50 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������,
3 50 15 (O2) 0,040 900 3,2 8,0 150 30 … .����0����,�
� �'
����
3 — 100 (O2) 0,030 800 3,6 7,5 200 22 … /���������
����
3 — 100 (O2) 0,035 800 3,6 7,5 200 10 … .����0����,����������,
4 50 15 (O2) 0,040 900 3,0 7,0 100 32 … .����0����,�
� �'
����
4 — 90 (O2) 0,040 900 3,0 8,0 150 10 … .����0����,����������,
4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 20 … ��"��������
4 60 20 (O2) 0,042 900 2,8 7,0 150 5 … .�������"��#�"��(��
�
5 100 — 0,010 1000 2,0 6,5 200 30 ...
.�"�
�������#�
���!1�
��������'����
5 100 — 0,067 1000 2,6 6,0 300 30 ≈400
�1� �2�������������'�
∆3��4�
�
5 125 — 0,042 1000 4,4 8,5 140 30 ... �1�#�'�����,����)���
6 130 — 0,070 1000 4,4 9,0 80÷130 40 ... �1�#���������������������'
6 130 — 0,060 1000 4,2 8,5 80÷220 30 ... �1�#�������#�����#����5
7 130 %&��$r) 0,067 900 3,8 7,0 400 20 ... �1����,�Ni����#�����'
8 130 �&��$r) 0,048 900 4,5 8,0 250 20 ≈400 �1�∆3��4�
�
9 130 �&��$r) 0,067 900 4,4 8,0 250 30 ≈670
6�#��'���"����1�#����0����,�
�����'��Ni ���� ∆34�
�
�
10 100 �&��$r) 0,067 1000 3,8 7,5 260 40 500
�1�#����0����,������',
∆3&�47�
�
11 120 4&��$r) 0,080 ... ... 12 250 20 125 M: ∆ = 0,75
�
�
12 70 4&��$r) 0,090 ... ... 12 240 30 250 �1 ∆= 0,75
�
13 70 4&��$r) 0,075 ... ... 11 260 30 250 ���"���&8+��∆3&�7��
�
14 70 4&��$r) 0,055 ... ... 12 240—260 70 ... ���"��7&8+����'��'�Ni
15 70 4&��$r) 0,075 ... ... 10 200 30 ... ���"� ��8+����'��'�Ni
16 70 4&��$r) 0,042
0,090
...
...
4,5
3,2
10
…
190
…
25
+
10
700
540
���"��7&8+��Ni������∆3����
�
���"� 50°+��∆3����
�
�
Ni����#�����'�#������,9
Å
����
��
�������� ��
������ ��� �����
����� ���������
������
�������������� ����
��������!"#$�����
����������
������!"#$������
��������%���������&�
��������!"#
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
����� �
��
���
��������
�
����
��5$���
����
�$
0�����
���"���
6α!M1�F�:
%�0����
�������%�
$� �
������
*5
0��������
*
���+���
������� �:
B�����!
���
*�
����)����
�����
������� �
%���
��
��*��
������*��
���)@����*
6
�0���
�:�
��
%�
�#0���
��!
�$��*����
�� �$�
��0��
�
%��*���@�
�
��0�
��
����������
/$��
�
�
�$
���
��0�
�
BAC
��
�$���
�����
221�
NF�
��
$���!����
���
��0�5%��
�
2F21�
6"�����:�
��
��#�
�� �
�
�)��*
����)�#$
�
���%�#$
%�
�0��� ���5,���
����������
B��
�$�
%�
���)@�!
��
�������)���
�
���������
�
�����)���
0������!
���
�
��0�
#
��
BAC
0#��
�
��0�
���
��������
�������
���
������*�#�
�����
��
��%�
�����
0��
%�0����
�������%��
(
+��*5
�����)���
������
�
�$�� +��
������!
���
�
�0���+�
�
��$���
BAC
%�0��� ��
�����
�
��!
��)��
��
%�
��O
�
�0S�$�
���������
��0�)���
�����
)
�
�� �
�����%���
�
�$��*@���5
����$�����
����!
��
��
���������
�
�0���+���
T����)����
�������
�����
%�
���
�/
�����%���
�
�����$�
�����@���5
6����#����5:
���������
$��!
��
� �
���
�������+� ��
��
����#@�5,��
��
$��
6
�0���
�:�
F�
�$��*�#$�
��������*
�� �$#
�0��!
0�
��
���
������*�#�
�
���
��
���
������ �
�����
���;���
�/�
���
��
��#�
�,�
��
�������%���
��!
,��
�������
����#����
$����
��
����� �
��
%��
�!
�)��
�""��
����
�������%���
��������
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
��������#�
��
���"���!
��5
��%�� ���
J��
� �
�
$�)����*
�#@��
�$����
���
������!
��
���$� �#�
���%��
��
����+��
<=>
�
�����$
�
���������
�
�0���+�
���
��� �
%��
�
�)��
0��*!
@��
����)��#
6���;���'(:�
���
�$�
��� %�
�
��!
��$���#$�
������$�
��
���������
�
�0���+�
$�!
��
�
����
���
����%�
*�
�
���%��
#
����+��
�����
�
��
��%�$
�����
6<=21�
�
<=21�:�
I�
�
�$�� +��
��
%����0+��
�
�0��0�
#���$��
���������
�
���!
����%���
��%�����
��%#�
�����*���$��
%�
���� !
%���
����
����
����$
�0����$�
���
$�,���
�
���������
����!
��
���
7
�/
�
��$$����$
���
�
���� %�
H
M�
���
%������
��*����
������
���
��H
M�
%�������
��0�!
)���
����
�
��$���
&K7�L�
$$
�
�
�
�
���
���
��@�!
���
((1�QM�
7�Q7
�
�$����
���
���� %�5,��
��%#
N��'(
������
*
�������
��
��%�
�����
���
��!
� ��
���
Å?$���
�
���
��%������
��%�� ��
6
�$��!
��
���
���� %�5,��
��%#
��'(:
������
*
�����!
��
<=>
������
���
%�
�&�
Å?$��
6
�0���
�:�
B��
�������+��
��
$��
%���#�
�� �$
�� �
�0����)�!
���
���
����������
���"������
��%�� ��
��
���!
0���
%�
���
$�$�
��
����
���0��%�$�
%�
��
����!
��
���$� �#�
��
�
���
<=>�
���%����#�
�
��%!
�� ���
(�� �#�
���
������*�#�
�����
���
��#�
���
�
!
$�)����*
�#@��
��%�� ���
'!�
���
���
��
��%�
���!
�� �
�
���
��5$�����
0���%
�
���
6UVW
(
:�
����
�
���
'!�
���
���
��
��%�
����� �
�
���
��5$�����
�
���
����
�
-�.�
J��
�
$�)����*
�
��0�
�
-7�.�
%�0����
7�O
�������%�
���
��������
��5$���
�
����$�
�����
221�
������
*5
0�������
���+���
BA��
B��
�0��!
0�
��
�
���
��
0#��
���0��%�$�
�� �
��������
���!
"���
��
���0���
���L���
$�$
6α!M1�F�:�
�
����)��
���!
����%�
0�������
��������
�
���
$�
������
��!��
0��*@��
�������
�� ��
�������%�
�
��5$����$
6�;
&
�/:
-P�
��
���.�
B��
�$�
���0��%�$�
0#��
�
��0�
�
*
��������5
�������
��� ���
�
���
��#
�
��0�)��
������
��
��%�� �,��
�������%�
/
�
�
���$
%�
�)��
��
���������
�
�
���)@�!
��
%����0+��
���%��
��
����+��
���0��%�$�
%����!
��
��*��
�����
�
�$�� +�
���������
��
I�
�
���
�����*�������*
%�0����
������
�
����$�
221��
���$�
!
�
��
��
)
�
��
��+���
������+��
������
7��&�
�/�
�
�����
;
7���7
G�
-P�
�$
�.�
%�
����)���
����
������
��0��
�
$��*@�
������ �
�
��
%�
�0����!
����
����
�����
���)���
���0��%�$�
%����+����!
��
*
$�������
221'�
J��$�
����
������
�
�
��)��
�
�������%��
��$�)����
���
�����
�
�����0�
���
��*!
��
�
�$�� +��
���������
�
�
%����0+��
�
���
���!
%��
��
����+���
����$
�0����$�
�%����*
����@��
���
����
*
��� �#�
���
������*�#�
�
���
��#
�
��
��%�$
���!
��
�0,��
��,����
���$����
7
$�$
�
�%���
*
��!
���
�
���"��
��
���
$�$
��
��
$���
B��
�
�$
���%!
�
������
*
�������
���
������*�#�
�
���
��
��!
�
�����
&��
Å?$���
�
���
��������
���"���
���%!
�
������
*
�$��*@����*
%�
���
Å?$��
6
�0��
�:�
I�
�������� Q
���
�
��
�
������ �
������
*
���!
�#����
�����
0#��
���
Å?$���
������
*
�����!
��
������%�
�����
;
����
Å?$���
�
��5$���
;
����
Å?$���
B��
���
)
�
������
��*��
�����
���!
���
*
�������
��� �#�
�
���
��
�� ����
�
�$�
)
�
������
�
�������
�������
���% ,��
�
���5
�
���!
����
���*��
�
��)�5
� �
��
�����$���
������
�
���
��$����
0#�
���
���
�
��
"
����%�� �,��
��!
�%����� ��
B��
�$�
���0��%�$�
%��*���@�
%���0�
!
��
���������
�������
��� �#�
�
���
���
8���!����
�#
���%��
��
%����+��+��
�
���%��
��
��!
$�)�����
����+���
�������% ,��
�
BAC
���
�#����)�!
�
�
��$
���� %�
�
221�NX�
�
��
��
&�
7���
��
��
$�
�
N �
�
�X
N
(
N
2
>
N
2
X
N
>
N �
2
1N
Y
2
1N
2
1N �
2
2
1N �
2
F
2
1N �
2
2
1N �
��
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
T����)����
���
���
�
���
�
���� %�
6
�0���
�:
�����%���
�
0����
0#�
��$�
����#����5
���������
$����
6�����$���
���
���
���� %�
7���
M
�
���� !
����
��
��$�,���
���
/:�
B��
�$�
���0��%�$�
��!
0�
�
��
�����)���5
�
�����
�
�������#�
$����
�
���)���5
������$��
�
�
�����
�
$����
�
$�
�%�
��
���#���� �
(��%��
�
$�
�
*�
)
�
�$�5
�
��
�
�����)���
������
�
�������
����
���
������*�#�
�
���
���
G
��
�
�%���
�
����#�
�����)����
���� %����
���
�
����$���$�)����$
����
���
���
����$�����
����!
���
������
�
%�����
;
��%0��
��
�$��*�#�
���
�!
���
������
���$�� �$#�
�
��)��
��
��0�)���
�
��
���!
��%�
�
����
*
��
��*��
��
��%
����� �
��
�
%�����
�������
���% ,��
�
���
��
�����0�
���#�
�#����!
�$����
���#�
���
��
���
�#%�� ���5,���
������!
��
��0�
�
-�.�
�$����
���
&��'(
0��
%����%�+���
��
������
�����%���#�
�����%������
0#��
���!
��0�
��#
�#����
�$����
���#�
%�
)���
A����
%�
��$�����
���� �����
��
$����
�#�
������
�"# $"
����$
�0����$�
�
����$���$�)����$
����
���
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
�����%���
�0��0�
!
��
�0���+��
���
������*�#�
������
��%�� �,��
��
!
��%
����� �
�
��������
���$� ���
*
�������
����
�
���
��
�
������%�� �,��
����$��
C����0�
���
$�!
�%���
��
�
���������
����
��� %�
�
��
��%�
���!
�� �
�����������
��
���"���
B��%�� ���
��������
�������
��� �#�
���!
������*�#�
�����
�
<=>
�
����)��#
������
�
���!
����
����
�����
%�
&��
Å?$���
B��������
)
�
����
����
�
��
��%�$
�����
��,����
7��
$�$
$���
0#
*
���
������#
)����
$����
��
�����
��,����
��H
$�$
�
�������+���
�������
���"������
��%�� ��
��
���0���
%�
���
$�$�
T�
���������
)
�
��������
���
������*�#�
���!
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
�� �
�
%��
�
�)��
�""��
���#$
���
������ �
�����
���
�/�
B��
�����!
���
�
����$�
�
������ $�
�����
≥���
�/
�������%�
����#�����
���������
��,�
���
$�����
��$�)��#
��
�
�����)���
������
��
�������
��� �#�
���
����!
��*�#�
�
���
���
��%�� �,��
��
��%
����� �
��
������
�����%���#�
�����%������
�����0�
�!
�#
�#����
�$����
���#�
%�
)���
A����
%�
��$���!
���
���� �����
��
$����
�#�
������
D(BFZ[\F/M��]^
D(�FE�DJD
7�
_`ab=cdefg
h�
i��
hj`k
l�
h��
ifgVcedfVc
l�
m�
l=dfkV=1e
nkonfkdVfe
op
cVdkVqfe
??
3cdfkc=dVoc=1
ro`kc=1
op
YVsj
hnffq
m1ftdkocVte
oc
hbedfae�;
�����;
uo1�
7��
>
7�;
v�
7;7P�
��
I������
/�
���
I���)���
w�
M��
x����
��
M��
J�$����
8�
M�
8�,�#�
�#����
�$����
���#�
��%��+������
�����
(/E!���!
0��#
������
��������
��
@���������#�
��
���������%��
y1<=>?
<=>
??
F0���#
��
����
������
�������
(���
(/E!
�������;
���7�;
/#��
7�
��
Z�+����
^�
/��
\�0�����)
/�
\��
B���������
/�
�
�
%��
D$���*��#�
�����#
Tz!�����
�0���
�
����
��
��
������
��
���!
�
���
��
<=>�
�#��,���#�
��
���$����#�
��%�� ���
?
8�
!�#
$� %�����
���)�
@���#
{z�����
�$���*��#�
���� %��
�
���%��!
��������#�
���%��|�;
��������Q
M
����
�����;
(�
��;�&�
��
Wo1dogfde
l�
h��
3g=cog
u�
>��
yg}efcdbfg
y�
~`�
�d
=1�
YVsj
dfanfk=d`kf
tocd=tde
do
<=>
=cq
hV2
�=efq
oc
UVW
(
c=coedk`}d`kf
1=`fke
?
l=dfkV=1e
h}Vctf
4ok`a�
uo1�
�H�L�H��
Uk=ce�
Uftj
v`�1V}=!
dVoce�
h�Vd�fk1=cq�
�����;
C�
7��7;7����
��
u=eeV1fge}V
��
u��
hV�og
u�
m��
W=�=cVc
y�
r�
fd
=1�
�kbfdtjVcs
op
s=11V`a
cVdkVqf
̀ eVcs
221�4�
221��
=cq
djfVk
aV�d`kfe
�Vdj
>�
=cq
=Vk
?
r`ed�
vjbe�
2ocp��
hfk�
>
7���
2j=ndfk
��;
v=nfk
nkfefcdfq
=d
hV1V}oc
2=k�Vqf
=cq
_f1=dfq
l=dfkV=1e
7PP�
2ocp�;
�bodo�
r=n=c�;
v�
7��&L7����
��
J������
W�
l��
T�
����
/�
/��
z�%�����)
F�
M�
BAC
�
��$���
#$
%���"�$
����
�����
%�
�������%�
��
���$��
��
�
��0$������#$�
���$���$�
?
8�
!�#
�!�
8� %�����
J�#$����
$������������
���"����+��
{J�#8�J�!P�|�;
(����
����*�
J�#$�
T�������;
7PP��;
(�
�H�;�HH�
&�
J������
/�
8��
B����
M�
w��
T�
����
/�
/�
8�%��������!
����#�
����$���$�)�����
����
��
�
��$���
#$
%���"�$
����
!
�����
%�
�������
%�
)����
��������$�����
?
8�
!��
,���)��
�����
���"�
��I
�M�
T�������;
J����;
7PP��;
(�
7&�;7&��
H�
9����������
D�
���
���������
w�
B��
���� )
̂ �
z�
J��
���
������)���
��
��$���;
J���Q
D�%!��
M�
T((C�
7P���
P�
G0��
9�
J��
���
������)���
��
"������;
8�Q
9����%�
"���!$�
�
��
���
��#�
7P���
7��
J������
/�
8��
T�
����
/�
/��
z�%�����)
F�
M��
E�0��
��
D�
B���$���$�)�����
��������
��5$�����#�
������
�
$������#!
$�
�
��0$������#$�
���$���$�
���$��
��
���
������
������ �
�����
??
���%#
T����������
�����$����
�0,��
���;
7PP��;
��
7�;
(�
�&;���
#� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���
�
�
�
�
�
�
�
#� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���� #� % ��&'�'� �'$�!���
B��0��
{C�����|
%�
���$�)������
�������$��
�
{J��*+�|
��
0��
�
8J(�
6T�������
���
F%�����
J����
C���� �
��
8�����:
F0���
$�������
�#���
��)�
�#�
���
�
6C���� �
��
(�!B�
��0���:
D�
�����*�#�
�����)�#�
����0������
��*
%������
��
������
���$��
�
���%���
��*���
$�$0������
6T�������
���
J����
/����+�:
T�
����
��
%�
���������
@����#$
%����
���$
��
BZD(�
6T�������
��
F%����:
B*�������$�)�����
����
������
�)�����
����0������
���
$�$0�������
����
6T�������
��
I���+�:
8�,�#�
0���������#�
lXh4mU!
������
��#
%�
���������
����
$��
� ��
6�������*�
��
8����:
G���
�������%���
*
������$����
��
�
���
�)�����
�
���
�����
6T�������
��
F%����:
D�"��$�+����#�
���������
)
���
$��������)�#�
��%�����
��$�����!
��
��)�
�#�
�����
�
���
�$��
��
�$�
������������
��
�)������
���
��� �
6T�������
��
F%����:
M�����
$
�������
������
����
��)��
��
����
��$����
���
���$��
�$��
�
CG(
M(T�
6C���� �
��
(�!B�
��0���:
F�
�$���+�
������
��!������$$����
�0����)���
%�
��
�$�
���+��
����!
��"�
�$�
��
(z!���
6T�������
��
E�����+#:
�
�
�
#
�
%
�
�
&
'
�
'
�
�
'
$
�
!
�
�
�#
�
%
�
�
&
'
�
'
�
�
'
$
�
!
�
�
�
|