Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев
На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верх...
Gespeichert in:
Datum: | 2013 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 2-3. — С. 58-60. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-56321 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-563212014-02-16T03:14:53Z Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. Материалы электроники На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества. На основі розробленої авторами моделі масопереносу запропоновано новий метод епітаксії товстих шарів. Метод передбачає вирощування різних частин шарів в двошарових системах, одержуваних з розчину-розплаву, і дозволяє контролювати товщину підплавлення підкладок і товщину шарів, отриманих на верхній та нижній підкладках з урахуванням відмінностей механізмів перенесення речовини, що кристалізується. On the basis of the authors' model of mass transfer, a new method for thick layers epitaxy has been developed. The method provides for the growth of different parts of the layers in two-layer systems obtained from the solution-melt and allows to control the thickness of substrate submelting and the thickness of layers obtained at the upper and lower substrates, in consideration of different crystallized substance transport mechanisms. 2013 Article Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 2-3. — С. 58-60. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 621.362:621.383 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества. |
format |
Article |
author |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
author_facet |
Дранчук, С.Н. Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
author_sort |
Дранчук, С.Н. |
title |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_short |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_full |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_fullStr |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_full_unstemmed |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
title_sort |
метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2013 |
topic_facet |
Материалы электроники |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56321 |
citation_txt |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 2-3. — С. 58-60. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT drančuksn metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT zavadskijva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT mokrickijva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev |
first_indexed |
2025-07-05T07:36:10Z |
last_indexed |
2025-07-05T07:36:10Z |
_version_ |
1836791597386170368 |
fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
���
��
���������
������
���
���
��� ���!��� �"�
����������������
����
��������������
���
�
�����
�������������
����� ������
��������
#$�����
��%�����&��
'�����
���$�'� �
�#$������
��%�����&�(�
����
����)�����
��������
�
*+,-./!
0--12345 678�
,945.:4.;2,-./ 53
<=�#�
>?��#@ABC#D
EF?�A�G??
�#HG�IJ
GH#=K
G
��L��
��'
'��������
������
�����M���
��+
N
�
�
��������)�����
���%���(
O�$���
���
���
�����
K
�� L�
�
�
�'
M������
���'������
��M��
�����P(
���
�����
�����
���
��L��'
�L+
'������
������
�
����O$���
���
����+������+
���
���L����(�
���)M�
&
��
��)��
��!
�'��&+
M�
&
���
���
&
$������%��
Q�R�
���)M�
&
��+
��'�
�(
���
��L��)�NS��
���P����
Q�R
K
�
O�
���' �
��
���&���
��
��
�
���P��'�
����+
)���
�L
O�$���
T�L(
��)��
����(�
���
����+
��&�(�
�����
���$������
A�KU
��S����
P����
���
'�'�
)
�
�� L���
�
��L����������'
��'����+
���
����
����L�%��
�
���
����+��������
V�L��&
�
(
�����$������
����
���
���
��+
����&����
���
��
���$�
������(�
�
Q�R�
�����+
O���
���$���(����
�
��L��P�
��
����
�)�����
'�
�$���
����)���
���
(�
�����
O�$��T�L+
���
���
������
K
���
� S��
�
�
&�
�����$�
�
��
&
��L��P�
������
'�
�$�
���
�����
���
(�
������
�����L��������
$�
������$�
�
T��T�$�
�����
������������� ������ ������ ���������
<�
�$���
���
�����
���
�L
���
����+���+
������
��L'�S������
�
���'�O�
��
δ
'�O$�
$��'
����L��
��&��
�������O���('�
��$��O+
��'��
�������
��'�
�����
�
Q�R
K
�
�'
���)��
�(���� �
�
�������
�WX τ�Yδ�Z[\�]�
�
��L+
'�S���
�
������$������
���%��
��%��
��S�+
�
��
�
O�$���
T�L��
�� L���(�
�
����
����L�+
%���
��
��$��O����
L�
���'
���
�
�W
������N
�������
����
&�
��
���'�
������)����'�
�P^�+
'�
O�$���
T�L(
K
��)��&�(�
'�'��
���'���
[�Y�]
�������$�
���
��
��$��O��
�
���
��+
��'�
���$����
��&��
���(S���('
$�
��������+
���
���%��
��%��
��
���
��)��&���
�'����
�+
��
���
�����
��
F����
�
���
���
���
�����$�+
��&��
����O$�N
��
������
&N
����
�
�)����
���� ��!"�#�$#�%������&��!��#�'(�'��")(�'� �*"#"�� ��*#"�)�+"����!,&�'"����-*(��� ((���).
�,/� )�"!���"����*#"�0 '��#(!�"��#� ��#�$)(1�,/�1� �"&� )�"!�!��!0/ )�&�,/� ( �"'�/
�*�)01�.
"',/�($�#� �!�#�.#� *)�!�
�(�*�$!�)2"������#�)(#�!��3���)4(�0�*��*)�!)"�(2�*��)�+"��(���)4(.
�0� )�"!
�*�)01"��,/����!"#/�"&�(��(+�"&�*��)�+��/
� �01"��'�#�$)(1(2�'"/��($'�!�*"#"�� ���#( .
��))($0"'�5��!"4" �!��
�)61"!,"� )�!�7�-*(��� (2
�#� �!�#.#� *)�!
��(880$(2
� )�&
����9"��#�9(2�
���'���
��Y
�
���
F��
�
�'
L��)����
δ
�
���+
���
&
����O$���
����
�(P���N
�
���'
�P+
��L�'�
)
�P(
���
������
)��
�
���
�������+
$��
�
������ �
������
����+$�TT�L�������
'��+
�����������
�
�(���� ���&
���
��M����
Q\R
ν ρδ > δ =
ρ − ρ
�
������_ �
� � � �
: : ;
<
; : ;
= � >
? � � = [�]
���
P(��
����L���
�
Q�R�
���
������
)��
�
���
$��
����
�
�%���������
���
� ��
L�
���+
'
� X�����
F��
�L'������
������
�
����O+
$���
���
�'(
�
����
��
����
������
&
���
�
�����
��
�P���
��$��O���
�(��������
�
L�
���+
'
�@��X�����
�
$��
����
����
�����
�
�%��+
�������
L��)��� �
��
����
L�����
��&��
�
�
+
��M���
�����
̀ �'
'��&M�
�
�����
�
������
&
����O$��� �
�'
'��&M�
L��)����
�
�%��������
������
�
���
�
�
����
)��
�
���
=���
�����
����S�����
������
)��
�
���
����O$����
���+
���
�
&
[��Y�]�
�
��S���
���
������&����
���
$��
����
'����'�'��
�P������������
����'�
+
��'�
������
)��
�
��� �
�
���
���
������
�
�
'������ ��(�
���
�
���
���
&
���
��+
��
��
���
��
�
�����a
'������ ��(�
���
�
���
���
&
���
��+
�������
��S��
��
���
��
�
�����a
����'�
�)����
� L���
&
���
����a
���������
���P�$����
��$��� a
���TT�%���
$�TT�L��
���
�������+
��
��S��
��
�
���
����
���a
������
����
�������
������
�����+
$���
���
��
�
��NS��
$�����''(
��+
�
� �� a
�
�'��
$��
���
���������
��S��
��
�
���
����
���
��)��&���
�'����
�+
��
��
�$�
��
�ρ��b
��
�ρ��b
�b
��b
�
b
���
b
��
b
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
���
��
���������
������
���
F��
�����
c
�
[������
���
�'(]
�������$�
���
�������
�����
�(��S�����
������
)��
�
���
��
�P���
��$��O���
#$����
L�
�)�
������
��+
����
��������
���
����S������
������
)��
�
���
��S���
���
��
�������
��$��O��
P�$�
�(M��
)�'
��
��O����
�
���
�'�
���
�������
���
��
���
L����M�
�
��LO�
F��
�����'
���+
�������
���
��
��O���
��$��O���
��
�������
��
���
�
)��
&
��� �
�(��S������
�����
������������ ��� �!�"�� ������ ���������
� � �� ���# � ���
#������(�
�TT��
�����&L����
��'�
$�
����)���
���
������&�(�
�����
��S����
P�+
���
���
'�'
�
��'�S&N
%����)������
�L'�����
������
�
����O$���
�
����
$�
����
�
��
��+
����
L��)����
�'����
��(
�� ��
F��
�
�'
����
�(P������&
P��&M�
���
�)�����
������
�
�����
���P��$�'��
$�
��L���������
���P�$+
���
������%��
�P^�'�
���
����
��������
�(��+
O���N
[�]�
�
����
P(��
�
��%�
��&����
)
�P(
�(L��
&
���
�������
���
�
������ �
��&��
$�TT�L�������
'������������
[�'
���$����
ω
b
�����
����
�)����
������
&
���%����
���+
P�$���
������%��
Q\R]
K
��
������
���'���
�
�
$�
��
���
�
��
$�
��
���
������
�
����O$���
�����X �
���
���
�������$�
�
������ �
$�TT�L�����+������
��+
����
'�������������
�
���
��S���
��
�������
��$��O��
P��&M��
)�'
�
������ �
$�TT�L���+
����
'������������
K
��
������
���'���
�
��
$�
��
�
�
��
$�
��
���
������
�
����O$���
�����c��
���
�������
���
�
������ �
$�TT�+
L�������
'������������
�������$�
�$�������
���
��
��������
��
�
��
��O���
��$��O���
���S���
���
���������
���
��
�P���
��$��O+
���
����$�� �
�
�(��O����'
QUR
( )∞
=
⎛ ⎡ ⎤− −δ δ ⎣ ⎦⎜= − ×⎜ π⎜⎝
⎞⎧ ⎫⎡ ⎤π⎪ ⎪⎛ ⎞ ⎟× − −⎢ ⎥⎨ ⎬⎜ ⎟ ⎟δ⎝ ⎠⎢ ⎥⎪ ⎪⎣ ⎦⎩ ⎭⎠
∑
�
� �
�
�
� ��
�
� d
�
A
A;
�
B �
�C � A
A
� � [�]
�
��
�������
��$��O��
�������$�
��������
���
�������
���
����'
�P��L�'�
L�
�$��
%���
��
�������
��$��O��
�����
��
����
��S����
�
� � �
��
� � �
� �
� ���
� �
�
�
;
;
� � � �
�
�
� � �
�
−⎧ ⎫δ − ωδ⎡ ⎤⎪ ⎪⎛ ⎞= − − −⎨ ⎬⎜ ⎟⎢ ⎥ ωδ⎝ ⎠⎣ ⎦⎪ ⎪⎩ ⎭
δ −−
[�]
B�
D
%�����
��S���
���
���
���
� � �
� ��
� �
� ��
� �
� � �
B B �
�C
δ −= + − [\]
F��
�
�'
��S���
���
������&����
���
������)����
�
��&��
���'���'
�����$���
���+
%����
[����)��
��'
%�����
D]�
������&��
���
�������$�
L�
�)�
$�TT�L�����+������
����+
��
'������������
��S��
��
�
��O���
��$��O��
�
�������
F��
�(��S������
�����
������$�
�
T��T�+
$�
�����
�L
���
����
�
������
�
�'����
��+
�(�
��
��������
���
��
�
������
U�e"��
�
��U�e����fG
�
����
� ���'
'�O$�
��$��O��'�
�
''�
���
����
Y
�⋅���U
�
����
Y
�⋅����
�
$�����
��S���
����)���(�
�����
��
�������
��$+
��O��
L�
�$��
%���
���
�����
���
'�'�
�
L�
U�
%�����
b
�����
�\U
'�'
F��
�
�'
���'
�$����
%����
���
�����
�
)
��
'���
�
U�
%�����
b
�����
"�
)�
)
�
������
&N
��$
���$���
���+
��$���(�
�����
����
�)�����
���)�
(
Q��
�R
%%%
����'
�P��L�'�
���$��O���(�
'�
�$
��L��+
� �
�����$�
&
���
����N
���
(�
�����
����+
�����$�����(�
���$������
���
A�KU�
�����$+
�(�
$�
�L��
������
T�
�����
����(�
����P+
��L���
����
���(M�����
'�S���
�
?
������&��
��S���
����)��'(�
�����
������)����
�
��&+
��
���'���'
�����$���
���%�����
�
��
$����L�+
��'
���O���
�'����
��(�
�
�
��L��� �
����+
)�
&
����
��S�����
L��)�
��&��
����(M�NS��
���
'�'
?GF#HgB#KACCI=
?G�#`C?�?
� h-3/
i
j
i7k3:7k
k.l/9:-8.96
k76l.8.7l
.6
/.m3.k+Wn-l7
7W.8-�;
/-;75l
o;
.6875,.88768
p59q8n
��
r
*/7:859:n7,
h9: b
�s
� b
t
��"�
u
U b
V
s�b
s�
� ?�����
#
C �
v��P��
<
C �
K�������
?
� �
`��+
���
C
A
V��
�������T�)�����
�����$������
'���������(�
��
����
������&�(�
�����
������$�
�����
��
E���
�����
������
G��
<�
�����( b
�s"� b
K(�
\ b
G
�b
�
Qw0/70-
x
u �
yz43o76;-
{
u �
t./.l90-
w
| �
}n75690
u
z
ZZ
*/7485966-;-
874n6.4-
h75
{-875.-/;
�s"�
wll
\
~
�R
� ����)��
G
C �
B���$����
K
A �
����)��
A
G
����+
���
���
�
���
(�
�����
���������$�����
���
��L��'
�L'�+
�����
������
�
����O$���
���
����+��������
��
K
�P !
���+
$(
#$�������
����
����)������
��������
�
� b
���� b
K(�
� b
G
�U�b�U
Q|5-6:n34
h
u �
�-0-kl4..
t
z �
|5-6:n34
z
h
ZZ
t
lo !
�53k;
xk7ll49p9
W9/.874n6.:n7l49p9
36.075l.878-
����
wll
�
~
�U�R
\ ����)��
G
C �
H�
���
A
A �
<����%���
K
A
<���+
��L'(
'������������
��S��
��
���
O�$��T�L���
���
�����
���%��
��%�
���
���������
��S��
��
�
���$��
T�L�
�Yρ�DE���a
)����
A����$��
�$�
��
b
DE
b
Y��F
F�
F�
� ��
��������
��
������
������
��
��������
��
����
Y�
YD
��X��� ωX�
�����)�(�
�'����
���(�
��O�'
�����$���
���+
�����
�
������ �
�L'�����
'�����L'�
'��������+
����
�
������
����+$�TT�L�������
[ω
X
�]
$�
$�TT�L�������
[ω
Y
�]
��c��
ωY�
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 2–360
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
// Òåîðåòè÷åñêèå îñíîâû õèìè÷åñêîé òåõíîëîãèè.— 1987.—
Âûï. 2.— Ñ. 247—250. [Dranchuk S. N., Litvin A. A.,
Mokritskii V. A. // Teoreticheskie osnovy khimicheskoi
tekhnologii. 1987. Iss. 2. P. 247 ]
5.Áîëõîâèòÿíîâ Þ. Á. Êèíåòèêà ðîñòà ïîëóïðîâîäíèêî-
âûõ ïëåíîê èç ðàñòâîðà-ðàñïëàâà // Â êí.: Ïîëóïðîâîäíè-
êîâûå ïëåíêè äëÿ ìèêðîýëåêòðîíèêè.— Íîâîñèáèðñê: Íà-
óêà, 1977.— Ñ. 170—192. [Bolkhovityanov Yu. B. // In
book: Poluprovodnikovye plenki dlya mikroelektroniki.
Novosibirsk: Nauka, 1977. P. 170]
6.Äðàí÷óê Ñ.Í., Ìîêðèöêèé Â.À. Êèíåòèêà ðîñòà ñëîåâ
ïîëóïðîâîäíèêîâ ïðè ðåçêîì èçìåíåíèè ñêîðîñòè îõëàæäå-
íèÿ ðàñòâîðà-ðàñïëàâà // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ìàòå-
ðèàëû.— 1985.— Âûï. 2.— Ñ. 62—65. [Dranchuk S. N.,
Mokritskii V. A. // Elektronnaya tekhnika. Ser. Materialy.
1985. Iss. 2. P. 62]
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ ðóêîïèñè
â ðåäàêöèþ 23.08 2012 ã.
___________________________
Dranchuk S. N., Zavadskiy V. A., Mokritskiy V. A.
Thick layers liquid-phase epitaxy method.
Key words: epitaxy, solution, melt, diffusion, layer,
concentration.
On the basis of the authors' model of mass transfer, a
new method for thick layers epitaxy has been developed.
The method provides for the growth of different parts
of the layers in two-layer systems obtained from the
solution-melt and allows to control the thickness of
substrate submelting and the thickness of layers
obtained at the upper and lower substrates, in
consideration of different crystallized substance
transport mechanisms.
Ukraine, Odessa National Maritime Academy, Odessa
National Polytechnic University.
____________________________
Äðàí÷óê Ñ. Í., Çàâàäñüêèé Â. À., Ìîêðèöüêèé Â. À.
Ìåòîä ð³äèííîôàçíî¿ åï³òàêñ³¿ òîâñòèõ øàð³â.
Êëþ÷îâ³ ñëîâà: åï³òàêñ³ÿ, ðîç÷èí, ðîçïëàâ, äèôó-
ç³ÿ, øàð, êîíöåíòðàö³ÿ.
Íà îñíîâ³ ðîçðîáëåíî¿ àâòîðàìè ìîäåë³ ìàñîïåðå-
íîñó çàïðîïîíîâàíî íîâèé ìåòîä åï³òàêñ³¿ òîâñòèõ
øàð³â. Ìåòîä ïåðåäáà÷ຠâèðîùóâàííÿ ð³çíèõ ÷àñ-
òèí øàð³â â äâîøàðîâèõ ñèñòåìàõ, îäåðæóâàíèõ ç
ðîç÷èíó-ðîçïëàâó, ³ äîçâîëÿº êîíòðîëþâàòè òîâùè-
íó ï³äïëàâëåííÿ ï³äêëàäîê ³ òîâùèíó øàð³â, îòðè-
ìàíèõ íà âåðõí³é òà íèæí³é ï³äêëàäêàõ ç óðàõóâàí-
íÿì â³äì³ííîñòåé ìåõàí³çì³â ïåðåíåñåííÿ ðå÷îâèíè,
ùî êðèñòàë³çóºòüñÿ.
Óêðà¿íà, Îäåñüêà íàö³îíàëüíà ìîðñüêà àêàäåì³ÿ,
Îäåñüêèé íàö³îíàëüíèé ïîë³òåõí³÷íèé óí³âåðñèòåò.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Êóýé Ð. Ýëåêòðîíèêà íà îñíîâå íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà,Êóýé Ð. Ýëåêòðîíèêà íà îñíîâå íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà,Êóýé Ð. Ýëåêòðîíèêà íà îñíîâå íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà,Êóýé Ð. Ýëåêòðîíèêà íà îñíîâå íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà,Êóýé Ð. Ýëåêòðîíèêà íà îñíîâå íèòðèäà ãàëëèÿ.— Ìîñêâà: Òåõíîñôåðà,
2011.2011.2011.2011.2011.
Ïðåäñòàâëåííûé â êíèãå àíàëèòè÷åñêèé îáçîð îõâàòûâàåò ñâûøå 1750 ðàáîò, ïîñâÿ-
ùåííûõ III-N ïîëóïðîâîäíèêàì, êîòîðûå ïðèìåíÿþòñÿ äëÿ ñîçäàíèÿ òðàíçèñòîðîâ è
ðàäèîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ áîëüøîé ìîùíîñòè, ðàáîòàþùèõ â ÑÂ×-äèàïàçîíå ÷à-
ñòîò. Ðàññìîòðåíû ìàòåðèàëû, ïðèáîðû, èõ òåõíîëîãèÿ, ìîäåëèðîâàíèå, ïðîáëåìû
íàäåæíîñòè è ïðèìåíåíèÿ. Êíèãà ïðåäñòàâëÿåò áîëüøîé èíòåðåñ äëÿ ñòóäåíòîâ, àñ-
ïèðàíòîâ, èíæåíåðîâ, ðàçðàáîò÷èêîâ ïðèáîðîâ è ñîîòâåòñòâóþùåé àïïàðàòóðû.
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È Ìèòÿãèí À. Þ., Ôåùåíêî Â. Ñ. Ôîòîïðèåìíèêè ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-Ìèòÿãèí À. Þ., Ôåùåíêî Â. Ñ. Ôîòîïðèåìíèêè ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-Ìèòÿãèí À. Þ., Ôåùåíêî Â. Ñ. Ôîòîïðèåìíèêè ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-Ìèòÿãèí À. Þ., Ôåùåíêî Â. Ñ. Ôîòîïðèåìíèêè ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-Ìèòÿãèí À. Þ., Ôåùåíêî Â. Ñ. Ôîòîïðèåìíèêè ÓÔ-äèàïàçîíà íà ïðè-
ðîäíûõ àëìàçàõ (íà àíãëèéñêîì ÿçûêå + CD ñ ïåðåâîäîì òåêñòà íàðîäíûõ àëìàçàõ (íà àíãëèéñêîì ÿçûêå + CD ñ ïåðåâîäîì òåêñòà íàðîäíûõ àëìàçàõ (íà àíãëèéñêîì ÿçûêå + CD ñ ïåðåâîäîì òåêñòà íàðîäíûõ àëìàçàõ (íà àíãëèéñêîì ÿçûêå + CD ñ ïåðåâîäîì òåêñòà íàðîäíûõ àëìàçàõ (íà àíãëèéñêîì ÿçûêå + CD ñ ïåðåâîäîì òåêñòà íà
ðóññêèé ÿçûê).— Îäåññà: Ïîëèòåõïåðèîäèêà, 2013.ðóññêèé ÿçûê).— Îäåññà: Ïîëèòåõïåðèîäèêà, 2013.ðóññêèé ÿçûê).— Îäåññà: Ïîëèòåõïåðèîäèêà, 2013.ðóññêèé ÿçûê).— Îäåññà: Ïîëèòåõïåðèîäèêà, 2013.ðóññêèé ÿçûê).— Îäåññà: Ïîëèòåõïåðèîäèêà, 2013.
 ìîíîãðàôèè ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé ôîòîïðèåìíèêîâ íà
îñíîâå ïðèðîäíûõ àëìàçîâ, â ÷àñòíîñòè êîíñòðóêöèè, òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ
è ðåçóëüòàòû òåñòèðîâàíèÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ ìîäåëåé îäíî- è ìíîãîýëåìåíò-
íûõ ÓÔ-ôîòîïðèåìíèêîâ. Ïîêàçàíà ïðèíöèïèàëüíàÿ âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ
íà îñíîâå àëìàçà âûñîêî÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ ìàòðèöû. Â êíèãå òàêæå
ïðåäñòàâëåíû ðàçðàáîòêè äâóõêàíàëüíûõ àëìàçíûõ ôîòîïðèåìíèêîâ, ðàáîòà-
þùèõ â óëüòðàôèîëåòîâîì è èíôðàêðàñíîì äèàïàçîíàõ.
|