Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой обла...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56345 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |