Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
Приведена классификация методов сборки микросхем с использованием гибких полиимидных носителей различных типов, проведен их сравнительный анализ. Выделен наиболее приемлемый метод изготовления двухслойных гибких носителей....
Збережено в:
Дата: | 2013 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56369 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях / В.Г. Вербицкий, Н.И. Плис, В.Д. Жора, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 37-41. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-56369 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-563692014-02-17T03:16:28Z Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях Вербицкий, В.Г. Плис, Н.И. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Технологические процессы и оборудование Приведена классификация методов сборки микросхем с использованием гибких полиимидных носителей различных типов, проведен их сравнительный анализ. Выделен наиболее приемлемый метод изготовления двухслойных гибких носителей. Наведено класифікацію методів складання мікросхем з використанням гнучких поліімідних носіїв різних типів, проведено їх порівняльний аналіз. Виділено найбільш прийнятний метод виготовлення двошарових гнучких носіїв. The article presents a classification of methods for the microcircuit assembly with the use of flexible polyimide carriers of different types, and their comparative analysis. The most appropriate method for the manufacturing of flexible dual-layer carriers is singled out. 2013 Article Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях / В.Г. Вербицкий, Н.И. Плис, В.Д. Жора, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 37-41. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56369 621.382.8.002.72 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Вербицкий, В.Г. Плис, Н.И. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Приведена классификация методов сборки микросхем с использованием гибких полиимидных носителей различных типов, проведен их сравнительный анализ. Выделен наиболее приемлемый метод изготовления двухслойных гибких носителей. |
format |
Article |
author |
Вербицкий, В.Г. Плис, Н.И. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. |
author_facet |
Вербицкий, В.Г. Плис, Н.И. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. |
author_sort |
Вербицкий, В.Г. |
title |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
title_short |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
title_full |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
title_fullStr |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
title_full_unstemmed |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
title_sort |
сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2013 |
topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56369 |
citation_txt |
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях / В.Г. Вербицкий, Н.И. Плис, В.Д. Жора, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 5. — С. 37-41. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT verbickijvg sravnitelʹnyjanalizmetodovsborkimikroshemnagibkihpoliimidnyhnositelâh AT plisni sravnitelʹnyjanalizmetodovsborkimikroshemnagibkihpoliimidnyhnositelâh AT žoravd sravnitelʹnyjanalizmetodovsborkimikroshemnagibkihpoliimidnyhnositelâh AT grunânskaâvp sravnitelʹnyjanalizmetodovsborkimikroshemnagibkihpoliimidnyhnositelâh |
first_indexed |
2025-07-05T07:38:32Z |
last_indexed |
2025-07-05T07:38:32Z |
_version_ |
1836791746765258752 |
fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 5
37
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ÓÄÊ 621.382.8.002.72
Д. т. н. В. Г. ВЕРБИЦКИЙ1, Н. И. ПЛИС2, к. т. н. В. Д. ЖОРА1, В. П. ГРУНЯНСКАЯ1
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, 1НИИ мèêðîïðèбîðîâ НАНÓ;
Рîññèÿ, ã. Мîñêâà, 2ОАО «Аíãñòðåм»
E-mail: vdzhora@ukrpost.net
СРАВНИÒЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕÒОÄОВ СБОРÊИ
МИÊРОСХЕМ НА ГИБÊИХ ПОЛИИМИÄНЫХ НОСИÒЕЛЯХ
Òåõíîëîãèчåñêèå ïðîцåññы èзãîòîâëåíèÿ мè-
êðîñõåм íà ñîâðåмåííîм ýòàïå õàðàêòåðèзóюò-
ñÿ âñå бîëåå óñèëèâàющèмñÿ âëèÿíèåм ñбîðîч-
íыõ îïåðàцèé êàê íà ñòîèмîñòь мèêðîñõåм, òàê
è íà èõ òåõíèчåñêèå ïàðàмåòðы (мàññîãàбàðèò-
íыå õàðàêòåðèñòèêè, ïîêàзàòåëè êàчåñòâà, íà-
дåжíîñòè è ò. ï.). Эòî îбóñëîâëåíî òåм, чòî èз-
ãîòîâëåíèå êðèñòàëëîâ ïðîâîдèòñÿ íà ïëàñòèíàõ
дèàмåòðîм дî 300 мм âыñîêîïðîèзâîдèòåëьíы-
мè ãðóïïîâымè мåòîдàмè, à ïðè ñбîðêå мàíèïó-
ëèðóюò ñ êàждым îòдåëьíî âзÿòым чèïîм. Пðè
ýòîм íå òîëьêî мàññà è ðàзмåðы мèêðîñõåм îïðå-
дåëÿюòñÿ мàññîãàбàðèòíымè õàðàêòåðèñòèêàмè
êîðïóñîâ, íî è цåíà èõ зàчàñòóю бîëåå чåм íà-
ïîëîâèíó зàâèñèò îò ñòîèмîñòè ïîñëåдíèõ [1].
Пîÿâëåíèå мíîãîâыâîдíыõ БИС è СБИС ñ
êðèñòàëëàмè, íàñчèòыâàющèмè ñîòíè êîíòàêò-
íыõ ïëîщàдîê, òîëьêî óñóãóбèëî ïðîбëåмы, âîз-
íèêàющèå ïðè ïðîâåдåíèè ñбîðîчíыõ îïåðàцèé.
Êàê ñëåдñòâèå, âîзíèêëà ïðîбëåмà ñî здàíèÿ мíî-
ãîâыâîдíыõ êîðïóñîâ, êîòîðыå ñòîÿò íåдåшå-
âî. Вмåñòå ñ òåм ðîñò ñëîжíîñòè мèêðîñõåм íà-
ïðÿмóю ñâÿзàí ñ ïîòåðåé èõ óíèâåðñàëьíîñòè.
В ðåзóëьòàòå óâåëèчèëàñь íîмåíêëàòóðà ИС è
óмåíьшèëàñь èõ òèðàжíîñòь, чòî åщå бîëåå îбî-
ñòðèëî ïðîбëåмó îбåñïåчåíèÿ мèêðîýëåêòðîí-
íîé ïðîмышëåííîñòè êîðïóñàмè [2]. Вàжíî îò-
мåòèòь, чòî ñбîðêà СБИС, èмåющèõ ñîòíè âы-
âîдîâ, òðàдèцèîííымè мåòîдàмè ïðîâîëîчíîãî
мîíòàжà ñóщåñòâåííî зàòðóдíåíà âñëåдñòâèå èõ
ñëîжíîñòè è âîзмîжíîñòè зàмыêàíèÿ ïðîâîëîч-
íыõ ïåðåмычåê.
Вñå ýòî âмåñòå âзÿòîå òîëьêî óñèëèâàåò èí-
òåðåñ ê íåòðàдèцèîííым мåòîдàм ñбîðêè, îñî-
бåííî ê мåòîдàм ñбîðêè íà ãèбêèõ ïîëèèмèд-
íыõ íîñèòåëÿõ (ÃÏÍ), èмåющèõ òàê íàзыâàå-
мыå îðãàíèзîâàííыå âыâîды [2]. Мåòîды ñбîð-
êè íà ГПН îñíîâыâàюòñÿ íà ïðèñîåдèíåíèè ê
êðèñòàëëàм ïàéêîé èëè ñâàðêîé ïðåдâàðèòåëь-
íî ñфîðмèðîâàííыõ ãèбêèõ âыâîдîâ, âыòðàâ-
ëåííыõ, êàê ïðàâèëî, èз мåòàëëèчåñêîé фîëьãè
Приведена классификация методов сборки микросхем с использованием гибких полиимидных носи
телей различных типов, проведен их сравнительный анализ. Выделен наиболее приемлемый метод
изготовления двухслойных гибких носителей.
Клþчевые слова: сборка микросхем, гибкий полиимидный носитель, качество соединений.
è чàщå âñåãî зàêðåïëåííыõ íà ïîëèмåðíîм дèý-
ëåêòðèчåñêîм îñíîâàíèè (рис. 1). Вåдóщèå зà-
ðóбåжíыå фèðмы ñчèòàюò мåòîды àâòîмàòèчå-
ñêîé ñбîðêè íà ëåíòîчíîм íîñèòåëå (АСЛН èëè
TAB — Tape Automated Bonding) íàèбîëåå ïåð-
ñïåêòèâíымè дëÿ ñбîðêè мíîãîâыâîдíыõ СБИС
è àêòèâíî èñïîëьзóюò èõ ðàзëèчíыå мîдèфèêà-
цèè â ïðîèзâîдñòâå.
С дðóãîé ñòîðîíы, òåõíîëîãèÿ АСЛН ïîзâî-
ëÿåò зà ñчåò зàêðåïëåíèÿ âыâîдîâ íà ïîëèèмèд-
íîé ïëåíêå ñóщåñòâåííî óмåíьшèòь ðàзмåðы
êîíòàêòíыõ ïëîщàдîê íà чèïàõ дî 25×25 мêм
ïðè ðàññòîÿíèè мåждó íèмè дî 12,5 мêм. Пðè
ýòîм зíàчèòåëьíî óмåíьшàåòñÿ ïëîщàдь êðè-
ñòàëëîâ, êîòîðàÿ â бîëьшåé ñòåïåíè îïðåдåëÿ-
åòñÿ чèñëîм êîмïîíåíòîâ íà êðèñòàëëå, чåм ðàз-
мåðàмè êîíòàêòíыõ ïëîщàдîê íà íèõ.
Цåëью íàñòîÿщåé ðàбîòы ÿâëÿëèñь êëàññèфè-
êàцèÿ è ñðàâíèòåëьíыé àíàëèз мåòîдîâ ñбîðêè
мèêðîñõåм ñ èñïîëьзîâàíèåм ãèбêèõ ïîëèèмèд-
íыõ íîñèòåëåé ðàзëèчíыõ òèïîâ.
Бîëьшîå ðàзíîîбðàзèå âîзмîжíыõ âàðèàí-
òîâ ñбîðêè è мîíòàжà мèêðîñõåм ïðåдîïðåдå-
ëÿåò èñïîëьзîâàíèå ГПН ðàзëèчíыõ êîíñòðóê-
цèé. Гèбêèå íîñèòåëè ðàзëèчàюòñÿ:
— ñòðóêòóðíым ñòðîåíèåм;
— мàòåðèàëàмè âыâîдîâ è ïîëèмåðíîãî îñíî-
âàíèÿ;
— êîëèчåñòâîм âыâîдîâ;
— ñïîñîбàмè ïðèñîåдèíåíèÿ âыâîдîâ ГПН
ê êðèñòàëëàм è мîíòàжà ãîòîâыõ мèêðîñõåм;
Рèñ. 1. Рàзëèчíыå êîíñòðóêцèè ГПН
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 5
38
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
— шèðèíîé ëåíò, èñïîëьзóåмыõ êàê дëÿ èзãî-
òîâëåíèÿ ГПН, òàê è íåïîñðåдñòâåííî ïðè ñбîð-
êå ИС è èõ мîíòàжå (ñбîðîчíыå ëåíòы).
Пî ñòðóêòóðå ñбîðîчíыå ãèбêèå íîñèòåëè мî-
ãóò быòь îдíî-, дâóõ-, òðåõ- è дàжå мíîãîñëîéíы-
мè, ïîëóчàåмымè èз дâóõ è бîëåå îбычíыõ ëåíò.
Одíîñëîéíыå ëåíòы èзâåñòíыõ êîíñòðóê-
цèé èзãîòàâëèâàюò èз àëюмèíèåâîé èëè мåдíîé
фîëьãè òîëщèíîé 35, 50 è 70 мêм. Иõ îñíîâíым
ïðåèмóщåñòâîм ÿâëÿåòñÿ îòíîñèòåëьíàÿ дåшå-
âèзíà. Ê íåдîñòàòêàм, ñóщåñòâåííî îãðàíèчèâà-
ющèм èõ ïðèмåíåíèå, îòíîñÿòñÿ íåâîзмîжíîñòь
èзмåðåíèÿ ïàðàмåòðîâ ИС íà ëåíòå (âыâîды дî
âыðóбêè зàêîðîчåíы), âîзмîжíîñòь зàмыêàíèÿ
âыâîдîâ íà êðàé êðèñòàëëà è зàòðóдíåíèÿ ïðè
ñбîðêå èз-зà íåïëîñêîñòíîñòè âыâîдîâ.
Бîëåå óíèâåðñàëьíы дâóõñëîéíыå ãèбêèå íî-
ñèòåëè, èмåющèå ñòðóêòóðó «мåòàëë — ïîëè-
мåð». Äëÿ èзãîòîâëåíèÿ âыâîдîâ èñïîëьзóåòñÿ
фîëьãà, чàщå âñåãî êàòàíàÿ, íàïðèмåð, мåдíàÿ
òîëщèíîé 35 мêм [3] èëè àëюмèíèåâàÿ òîëщè-
íîé 30 мêм [1, 2, 4], à â êàчåñòâå дèýëåêòðè-
êà — ïðåèмóщåñòâåííî ïîëèèмèдíыé ëàê, êî-
òîðыé â ïðîцåññå òåðмîîбðàбîòêè ïðè îïðåдå-
ëåííыõ ðåжèмàõ ïðåâðàщàåòñÿ â ïîëèèмèдíóю
ïëåíêó [5]. Äîñòîèíñòâàмè дâóõñëîéíîãî íîñèòå-
ëÿ ÿâëÿюòñÿ âыñîêàÿ мåõàíèчåñêàÿ ïðîчíîñòь è
ñòàбèëьíîñòь ðàзмåðîâ (îòñóòñòâèå ñдâèãà âыâî-
дîâ ïðè ñâàðêå). Оí ïîзâîëÿåò êîíòðîëèðîâàòь
ïàðàмåòðы ИС дî âыðóбêè, èмååò шèðîêèé дè-
апазон рабочих температур (от –200 до +400°С)
[5—7], è ê òîмó жå ÿâëÿåòñÿ ñðàâíèòåëьíî íå-
дîðîãèм. Изãîòîâëåíèå дâóõñëîéíыõ ГПН òðå-
бóåò òðàâëåíèÿ êàê фîëьãè, òàê è ïîëèèмèдà.
Зà ðóбåжîм íàèбîëьшåå ðàñïðîñòðàíåíèå ïî-
ëóчèëè òðåõñëîéíыå ëåíòы-íîñèòåëè ñî ñòðóê-
òóðîé «мåòàëë — àдãåзèâ — ïîëèмåð». Оíè ïî-
зâîëÿюò ïðîâîдèòь êîíòðîëь è èñïыòàíèÿ ИС,
èмåюò íåîбõîдèмóю ïðîчíîñòь ïðè ïåðåмîòêå ñ
êàòóшêè íà êàòóшêó, ñîõðàíÿюò ïðè ýòîм ïëî-
ñêîñòíîñòь è íå дàюò óñàдêè, èõ ïàðàмåòðы дî-
ñòàòîчíî ñòàбèëьíы.
Òåõíîëîãèÿ èзãîòîâëåíèÿ òðåõñëîéíыõ íîñè-
òåëåé, êàê ïðàâèëî, âêëючàåò îïåðàцèè ñîздà-
íèÿ òåõíîëîãèчåñêèõ îêîí â ïîëèèмèдíîé ïëåí-
êå òîëщèíîé ïîðÿдêà 100 мêм мåòîдîм ïðåцè-
зèîííîé шòàмïîâêè, ïðèêëåèâàíèÿ (дóбëèðîâà-
íèÿ) ê ýòîé ïëåíêå мåòàëëèчåñêîé фîëьãè ñ ïî-
мîщью àдãåзèâà, фîòîëèòîãðàфèчåñêîãî òðàâëå-
íèÿ фîëьãè дëÿ ïîëóчåíèÿ âыâîдîâ è, â ñëóчàå
èñïîëьзîâàíèÿ мåдíîé фîëьãè, дîïîëíèòåëьíî-
ãî ýëåêòðîõèмèчåêîãî ïîêðыòèÿ âыâîдîâ зîëî-
òîм èëè ïðèïîÿмè. Пðàâèëьíыé âыбîð àдãåзèâà,
åãî òîëщèíы è îбåñïåчåíèå ðàâíîмåðíîñòè íà-
íåñåíèÿ îïðåдåëÿюò êàчåñòâî òðåõñëîéíîãî íî-
ñèòåëÿ. Òàê, íàïðèмåð, ïðè мàëîé òîëщèíå àд-
ãåзèâà óõóдшàåòñÿ ñцåïëåíèå ïîëèмåðà ñ мåòàë-
ëîм, à ïðè ñëèшêîм бîëьшîé — àдãåзèâ зàòå-
êàåò â цåíòðàëьíыå îòâåðñòèÿ è óõóдшàåò îбëó-
жèâàåмîñòь âыâîдîâ. Сëåдóåò îòмåòèòь, чòî òåð-
мîñòîéêîñòь àдãåзèâîâ ñóщåñòâåííî íèжå, чåм ó
ïîëèèмèдîâ, чòî ñêàзыâàåòñÿ íà îбщåé òåðмî-
ñòîéêîñòè òðåõñëîéíыõ íîñèòåëåé.
Выбîð ïîëèмåðîâ дèýëåêòðèчåñêîãî îñíîâà-
íèÿ дëÿ èзãîòîâëåíèÿ ãèбêèõ íîñèòåëåé дîñòà-
òîчíî шèðîê. Пðèмåíÿюòñÿ ñàмыå ðàзëèчíыå
мàòåðèàëы: ïîëèýòèëåíòåðåфòàëàò, ïîëèèмèд
(Kapton ðàзëèчíыõ òèïîâ), ïîëèýфèðñóëьфîí
[6], ïîëèïàðàбàíîâàÿ êèñëîòà, ãèбêèé ýïîêñè-
ïëàñòèê è дàжå ïîëèýòèëåí. Нàèбîëьшåå ðàñ-
ïðîñòðàíåíèå ïîëóчèë ïîëèèмèд âñëåдñòâèå åãî
èñêëючèòåëьíîé ñïîñîбíîñòè ñîõðàíÿòь ñòàбèëь-
íîñòь ñâîéñòâ ïðè âыñîêèõ òåмïåðàòóðàõ [5], чòî
ïîзâîëÿåò ïðîâîдèòь îïåðàцèè òåðмîêîмïðåññèè
è ýâòåêòèчåñêîé ïàéêè êðåмíèÿ ñ зîëîòîм ïðè
температуре около 400°С [2]. Кроме того, поли-
èмèдíыå ïëåíêè õàðàêòåðèзóюòñÿ цåííåéшèмè
ñâîéñòâàмè [7], òàêèмè êàê:
— âыñîêàÿ ýëåêòðèчåñêàÿ ïðîчíîñòь (280—
300 êВ/мм) [5];
— мàëàÿ ïëîòíîñòь (g=1,42 ã/ñм3) [7];
— âыñîêàÿ ðàдèàцèîííàÿ ñòîéêîñòь (500—
5000 Мðàд) [7];
— íèзêàÿ дèýëåêòðèчåñêàÿ ïðîíèцàåмîñòь
(e = 3,5) [5, 7];
— îòíîñèòåëьíî âыñîêàÿ â ñðàâíåíèè ñ дðó-
ãèмè ïîëèмåðàмè òåïëîïðîâîдíîñòь (150—
180 Вò/мÊ) [8];
— âыñîêàÿ мåõàíèчåñêàÿ ïðîчíîñòь â ñîчå-
òàíèè ñ ýëàñòèчíîñòью [5];
— òåмïåðàòóðíыé êîýффèцèåíò ëèíåéíîãî
ðàñшèðåíèÿ ïîëèèмèдà ïîчòè òàêîé жå, êàê è
ó мåòàëëîâ, ïðèмåíÿåмыõ дëÿ èзãîòîâëåíèÿ âы-
âîдîâ ГПН (àëюмèíèÿ è мåдè);
— ïîëèèмèдíыå ïëåíêè ïîддàюòñÿ òðàâëå-
íèю â ñèëьíîщåëîчíыõ ðàñòâîðàõ, чòî ïðè íå-
îбõîдèмîñòè ïîзâîëÿåò ïîëóчàòь â íèõ ñêâîзíыå
îòâåðñòèÿ [7, 8];
— ãàзîâыдåëåíèå ïîëèèмèдíыõ ïëåíîê íå-
зíàчèòåëьíîå, чòî ïîзâîëÿåò ïðîâîдèòь âàêóóм-
íîå íàïыëåíèå ðàзëèчíыõ мåòàëëîâ íà íèõ è
дàжå èзãîòàâëèâàòь мíîãîñëîéíыå ãèбêèå ïëà-
òы [1, 2, 4, 7].
Эòîò êîмïëåêñ ñâîéñòâ ïîëèèмèдíыõ мàòå-
ðèàëîâ ïðåдîïðåдåëèë èõ шèðîêîå èñïîëьзîâà-
íèå â мèêðîýëåêòðîíèêå íå òîëьêî â êàчåñòâå
ïîëèмåðíîãî îñíîâàíèÿ â ГПН è â ãèбêèõ ïëà-
òàõ, íî è â êàчåñòâå дèýëåêòðèчåñêîãî ñëîÿ ïðè
èзãîòîâëåíèè мíîãîóðîâíåâîé мåòàëëèзàцèè íà
êðèñòàëëàõ СБИС.
Зà ðóбåжîм â êàчåñòâå мàòåðèàëà ïðîâîдÿщå-
ãî ñëîÿ дëÿ ïîëóчåíèÿ âыâîдîâ, êàê ïðàâèëî,
èñïîëьзóåòñÿ мåдь (òîëщèíîé îò 20 дî 76 мêм),
ïîзâîëÿющàÿ ïðîâîдèòь ñбîðêó êðèñòàëëîâ âы-
ñîêîïðîèзâîдèòåëьíымè мåòîдàмè ãðóïïîâîé
ïàéêè. Мåдь â ñðàâíåíèè ñ àëюмèíèåм îбëàдà-
åò бîëьшåé мåõàíèчåñêîé ïðîчíîñòью, à òàêжå
òåïëî- è ýëåêòðîïðîâîдíîñòью. Одíàêî ïðèмå-
íåíèå мåдè âызыâàåò íåîбõîдèмîñòь мîдèфèêà-
цèè òåõíîëîãèè ïîëóчåíèÿ êðèñòàëëîâ ñ фîðмè-
ðîâàíèåм íà èõ êîíòàêòíыõ ïëîщàдêàõ мîíòàж-
íыõ шàðèêîâыõ èëè ñòîëбèêîâыõ âыñòóïîâ, íà-
ïðèмåð, èз зîëîòà èëè мåдè ñ зîëîòым èëè ïðè-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 5
39
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ïîéíым ïîêðыòèåм. Эòî âызâàíî òåм, чòî â êà-
чåñòâå мàòåðèàëà êîíòàêòíыõ îбëàñòåé è мåжñî-
åдèíåíèé íà êðèñòàëëå â îñíîâíîм èñïîëьзóåòñÿ
àëюмèíèé, êîòîðыé ïîêðыò åñòåñòâåííîé îêñèд-
íîé ïëåíêîé, ñóщåñòâåííî зàòðóдíÿющåé ïàé-
êó. Пðîâåдåíèå мîдèфèêàцèè òåõíîëîãèè, îд-
íàêî, îщóòèмî ïîâышàåò ñòîèмîñòь êðèñòàëëîâ
è ÿâëÿåòñÿ ñåðьåзíым îãðàíèчåíèåм дëÿ ïðèмå-
íåíèÿ мåдè [2].
Ê íåдîñòàòêàм мåдè îòíîñèòñÿ òàêжå âыñî-
êàÿ îêèñëÿåмîñòь åå ïîâåðõíîñòè [2], ñîздàю-
щàÿ òðóдíîñòè ïðè мîíòàжå. В ñâÿзè ñ ýòèм
мåдь èñïîëьзóåòñÿ òîëьêî â ñîñòàâå мíîãîñëîé-
íыõ ïðîâîдíèêîâ, â êîòîðыõ ïðåдóñмàòðèâàåò-
ñÿ зàщèòà åå ïîâåðõíîñòè, íàïðèмåð, зîëîòîм
èëè ïðèïîÿмè.
В òî жå âðåмÿ, ïðè èñïîëьзîâàíèè àëюмèíèÿ
â êàчåñòâå ïðîâîдÿщåãî ñëîÿ (òîëщèíîé îò 14
дî 70 мêм) â мåñòàõ ñîåдèíåíèÿ âыâîдîâ ñ êîí-
òàêòíымè îбëàñòÿмè êðèñòàëëîâ îбðàзóåòñÿ îд-
íîêîмïîíåíòíàÿ ñèñòåмà Al—Al, íå òðåбóющàÿ
ñîздàíèÿ дîïîëíèòåëьíыõ âыñòóïîâ íà êðèñòàë-
ëå [2, 9]. В òàêîé мîíîмåòàëëèчåñêîé ñèñòåмå èñ-
êëючàåòñÿ ïîÿâëåíèå èíòåðмåòàëëèчåñêèõ ñîåдè-
íåíèé â òâåðдîé фàзå ïðè ýêñïëóàòàцèè ïðèбî-
ðîâ, â òîм чèñëå ïðè ïîâышåííыõ òåмïåðàòóðàõ.
Нåмàëîâàжíым ÿâëÿåòñÿ è òî, чòî àëюмèíèé,
èмåющèé мàëыé зàðÿд ÿдðà (Z=13), íå îбðàзó-
åò ïðè îбëóчåíèè âòîðèчíыõ èзîòîïîâ è óñòîé-
чèâ ê âîздåéñòâèю ðàдèàцèè [7, 9], à ïðè бîëåå
íèзêîé â ñðàâíåíèè ñ мåдью òåïëîïðîâîд íîñòè
дàåò âыèãðыш ïî мàññå ïðèмåðíî â 2 ðàзà ïðè
îдèíàêîâîм íîмèíàëå ñîïðîòèâëåíèÿ ïðîâîдíè-
êîâ [10]. Вàжíî îòмåòèòь òàêжå, чòî òåõíîëîãèÿ
фîòîëèòîãðàфèчåñêîãî òðàâëåíèÿ ïî àëюмèíèю
дîñòàòîчíî õîðîшî îòðàбîòàíà è ïîзâîëÿåò ïî-
ëóчàòь ïðîâîдíèêè шèðèíîé дî 28 мêм ñ òîч-
íîñòью дî ±3 мêм ïðè шàãå мåíåå 50 мêм [10].
В èñïîëьзóåмыõ â íàñòîÿщåå âðåмÿ ГПН êî-
ëèчåñòâî âыâîдîâ èзмåíÿåòñÿ â дîâîëьíî шè-
ðîêîм дèàïàзîíå — ýòî è мàëîâыâîдíыå ИС ñ
êîëèчåñòâîм âыâîдîâ мåíьшå 10 (íàïðèмåð, â
ñëóчàå ИС îïåðàцèîííыõ óñèëèòåëåé) è ГПН
дëÿ ñбîðêè СБИС, ñîдåðжàщèå ñîòíè âыâîдîâ.
Ê êðèñòàëëàм ИС ГПН мîíòèðóюòñÿ ëèбî
ãðóïïîâîé ïàéêîé (âыâîды ГПН èз мåдè ñ ðàз-
ëèчíымè ïîêðыòèÿмè, óëóчшàющèмè ïàéêó),
ëèбî ñâàðêîé, чàщå âñåãî óëьòðàзâóêîâîé (âыâî-
ды ГПН èз àëюмèíèÿ). Вàжíî ïîдчåðêíóòь âы-
ñîêóю íàдåжíîñòь óëьòðàзâóêîâîé ñâàðêè, ò. ê.
ïðè åå ïðîâåдåíèè èмååòñÿ âîзмîжíîñòь ïîдâî-
дà дîзèðîâàííîé ýíåðãèè ÓЗ-êîëåбàíèé ê êàж-
дîмó âыâîдó ГПН. Пðîбëåмà ñòîèмîñòè ñбîðîч-
íыõ îïåðàцèé ïðè ýòîм ðåшàåòñÿ ïóòåм ïðèмå-
íåíèÿ âыñîêîñêîðîñòíыõ ñàмîîбóчàющèõñÿ àâ-
òîмàòîâ, íàïðèмåð ЭМ-4062.
Гîòîâыå мèêðîñõåмы íà ГПН ó ïîòðåбèòåëÿ
мîжíî мîíòèðîâàòь ëèбî ïàéêîé (âыâîды ГПН
èз мåдè èëè àëюмèíèÿ ñ дîïîëíèòåëьíîé îбðà-
бîòêîé [4]), ëèбî óëьòðàзâóêîâîé ñâàðêîé (âы-
âîды èз àëюмèíèÿ) (рис. 2).
Шèðèíà èñïîëьзóåмыõ ñбîðîчíыõ ëåíò, ñî-
дåðжàщèõ ГПН, èзмåíÿåòñÿ â дîâîëьíî шèðî-
êèõ ïðåдåëàõ — îò мåíåå 10 дî 150 мм.
Гîòîâыå мèêðîñõåмы ïîñòàâëÿюòñÿ ëèбî â
âèдå ñбîðîчíыõ ëåíò, íà êîòîðыõ бðàêîâàííыå
ИС ïîмåчåíы èëè âыðóбëåíы (ëåíòы ñфîðмè-
ðîâàíы èз мàòåðèàëîâ íà îñíîâå мåдè), ëèбî â
âèдå дèñêðåòíыõ êîмïîíåíòîâ, ïîмåщåííыõ â
ñïåцèàëьíóю òàðó-ñïóòíèê (рис. 3), дîïóñêà-
ющóю ïðîâåдåíèå êîíòðîëÿ è òåõíîëîãèчåñêèõ
îòбðàêîâîчíыõ èñïыòàíèé (âыâîды ГПН èзãî-
òîâëåíы èз àëюмèíèÿ), â òîм чèñëå ýëåêòðîòåð-
мîòðåíèðîâêè ïðè íåîбõîдèмîñòè.
Хàðàêòåðèñòèêè ГПН è íàèбîëåå ðàñïðî-
ñòðàíåííыõ мåòîдîâ èõ ïîëóчåíèÿ ïðèâåдåíы
â таб лице.
Óчåò âñåõ ñâîéñòâ è îñîбåííîñòåé èзãîòîâëå-
íèÿ êðèñòàëëîâ, ãèбêèõ ïîëèèмèдíыõ íîñèòåëåé
è ñбîðêè мèêðîñõåм ïîзâîëÿåò âыдåëèòь â êàчå-
ñòâå íàèбîëåå ïðèåмëåмîãî, ïî íàшåмó мíåíèю,
мåòîд èзãîòîâëåíèÿ дâóõñëîéíыõ ãèбêèõ íîñè-
òåëåé òèïà «àëюмèíèé — ïîëèèмèд», êîòîðыé
íàèбîëåå бëèзîê ê òàê íàзыâàåмîмó èдåàëьíîмó
ãèбêîмó íîñèòåëю (ñм. òàбëèцó).
Иñïîëьзóÿ ýòîò мåòîд мîжíî [11]:
— îбåñïåчèòь âыñîêóю íàдåжíîñòь ïîñëå ãåð-
мåòèзàцèè â ñîñòàâå мèêðîñбîðîê зà ñчåò îбðà-
зîâàíèÿ мîíîмåòàëëèчåñêîãî ñîåдèíåíèÿ Al—Al
ïðè ñâàðêå íà êðèñòàëëå è бîëьшåãî ïîïåðåч-
íîãî ñåчåíèÿ âыâîдîâ ГПН â ñðàâíåíèè ñ ïðî-
âîëîчíымè ñîåдèíåíèÿмè, чòî дåëàåò èõ бîëåå
ïðîчíымè è îбëåãчàåò îòâîд òåïëà îò êðèñòàëëà;
— ïðàêòèчåñêè èñêëючèòь â îòëèчèå îò ïðî-
âîëîчíыõ ïðîâîдíèêîâ âîзмîжíîñòь êîðîòêî-
ãî зàмыêàíèÿ âыâîдîâ зà ñчåò èõ зàêðåïëåíèÿ
íà мåõàíèчåñêè ïðîчíîé ïîëèèмèдíîé ïëåíêå,
чòî îñîбåííî àêòóàëьíî дëÿ мèêðîñõåм, ðàбîòà-
ющèõ â óñëîâèÿõ бîëьшèõ óñêîðåíèé è óдàð-
íыõ íàãðóзîê;
Рèñ. 3. Мèêðîñõåмà íà ãèбêîм ïîëèèмèдíîм íîñè-
òåëå â òàðå-ñïóòíèêå (ñëåâà) è мîíòàжíàÿ чàñòь мè-
êðîñõåмы ïåðåд óñòàíîâêîé íà ïëàòó (ïàññèâíóю ïîд-
ëîжêó ГИС) (ñïðàâà)
Рèñ. 2. Мèêðîñõåмы íà ãèбêîм ïîëèèмèдíîм íîñè-
òåëå (мàòåðèàë âыâîдîâ — àëюмèíèé):
дëÿ мîíòàжà ñâàðêîé (ñëåâà) è дëÿ мîíòàжà ïàéêîé (ñïðàâà)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 5
40
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
— îбåñïåчèòь âîзмîжíîñòь мîíòàжà â мèêðî-
ýëåêòðîííóю àïïàðàòóðó (МЭÀ) êàê óëьòðàзâó-
êîâîé ñâàðêîé, òàê è ïàéêîé ïîñëå дîïîëíèòåëь-
íîé îбðàбîòêè àëюмèíèåâыõ âыâîдîâ [4];
— îбåñïåчèòь âîзмîжíîñòь ñбîðêè íà îдíîм
ГПН (мèêðîêàбåëå) òèïà «àëюмèíèé — ïîëèè-
мèд» íåñêîëьêèõ êðèñòàëëîâ, â òîм чèñëå ñ ðàз-
ëèчíым êîëèчåñòâîм âыâîдîâ è шàãîм êîíòàêò-
íыõ ïëîщàдîê [9];
— ïîâыñèòь ïëîòíîñòь мîíòàжà МЭА зà
ñчåò óмåíьшåíèÿ шèðèíы âыâîдîâ ГПН дî
30—40 мêм è шàãà êîíòàêòíыõ ïëîщàдîê дî 80
мêм [9, 10];
— îбåñïåчèòь âîзмîжíîñòь ñбîðêè мíîãîâы-
âîдíыõ БИС è СБИС, èмåющèõ ñîòíè âыâî-
дîâ, êîãдà ïðèмåíåíèå òðàдèцèîííîé ïðîâîëîч-
íîé ñбîðêè зàòðóдíåíî, â òî âðåмÿ êàê èñïîëь-
зîâàíèå мíîãîâыâîдíыõ ГПН íå âызыâàåò îñî-
быõ ïðîбëåм è дîïóñêàåò èñïîëьзîâàíèå ñбîðîч-
íыõ àâòîмàòîâ;
— îбåñïåчèòь âîзмîжíîñòь èñïîëьзîâàíèÿ
ГПН ïðè ñбîðêå БИС è СБИС, ðàбîòàющèõ â
Сâîéñòâà è îñîбåííîñòè èзãîòîâëåíèÿ
èздåëèé
Сòðóêòóðíîå ñòðîåíèå ãèбêèõ íîñèòåëåé
Идåàëьíыé
ГПН
Одíîñëîéíыå Äâóõñëîéíыå Òðåõñëîéíыå
(ñ àдãåзèâîм)
Cu Al
Cu—
ïîëè-
èмèд
Al—
ïîëè-
èмèд
Cu—
ïîëè-
èмèд
Al—
ïîëè-
èмèд
Чèïы
мîдèфèêàцèÿ òåõïðîцåññà èзãîòîâëåíèÿ + — + — + — —
ïðèмåíåíèå дðàãмåòàëëîâ è îñòðîдåфè-
цèòíыõ мàòåðèàëîâ + — + — + — —
Гèбêèå íîñèòåëè
îбåñïåчåíèå âыñîêîé ðàдèàцèîííîé
ñòîéêîñòè — + — + — ± +
шèðîêèé дèàïàзîí ðàбîчèõ òåмïåðàòóð + + + + — — +
âîзмîжíîñòь èзãîòîâëåíèÿ мíîãîâыâî-
дíыõ ГПН — — + + + + +
ñîõðàíåíèå ïëîñêîñòíîñòè âыâîдîâ ïðè
ñбîðêå — — + + + + +
èñêëючåíèå зàмыêàíèÿ íà êðàé êðè-
ñòàëëà — — + + + + +
íåîбõîдèмîñòь зàщèòы ïîâåðõíîñòè âы-
âîдîâ + — + — + — —
âîзмîжíîñòь êîíòðîëÿ ñîïðîòèâëåíèÿ
èзîëÿцèè дî ñбîðêè — — + + + + +
íåîбõîдèмîñòь â îбîðóдîâàíèè дëÿ
шòàмïîâêè, íàíåñåíèÿ àдãåзèâà è дó-
бëèðîâàíèÿ
— — — — + + —
íåîбõîдèмîñòь òðàâëåíèÿ ïîëèèмèдà — — + + — — —
îòíîñèòåëьíàÿ дåшåâèзíà + + + + — ± +
âîзмîжíîñòь âàêóóмíîãî íàíåñåíèÿ дî-
ïîëíèòåëьíыõ ñëîåâ мåòàëëîâ + + + + ± ± +
Мèêðîñõåмы
èñêëючåíèå îбðàзîâàíèÿ èíòåðмåòàëëè-
дîâ — + — + — + +
êîíòðîëь ýëåêòðîïàðàмåòðîâ дî âыðóб-
êè — — + + + + +
òåõíîëîãèчåñêèå îòбðàêîâîчíыå èñïы-
òàíèÿ, â òîм чèñëå ýëåêòðîòåðмîòðåíè-
ðîâêè
— — + + + + +
мîíòàж ñâàðêîé èëè ïàéêîé ïî âыбîðó
ïîòðåбèòåëÿ — ± — + — ± +
àâòîмàòèзàцèÿ ïðîцåññîâ ñбîðêè — — + + + + +
Особенности проведения сборочных операций изделий с использованием различных модификаций ГПН
в сравнении с идеальным ГПН
Примечание: «+» требование выполняется; «—» требование не выполняется; «±» требуется доработка
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 5
41
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
óñëîâèÿõ ðàдèàцèîííыõ íàãðóзîê, бëàãîдàðÿ
èñêëючèòåëьíî âыñîêîé ðàдèàцèîííîé ñòîéêî-
ñòè ïîëèèмèдà è àëюмèíèÿ.
***
Òàêèм îбðàзîм, ïðîâåдåííыé àíàëèз ïîêàзàë,
чòî ãèбêèå íîñèòåëè òèïà «àëюмèíèé — ïîëèè-
мèд» èмåюò ñóщåñòâåííîå ïðåèмóщåñòâî â ñðàâ-
íåíèè ñ дðóãèмè êîíñòðóêцèÿмè è îбåñïåчèâà-
юò âыñîêóю íàдåжíîñòь мèêðîñõåм â ñîñòàâå
ãåðмåòèчíыõ мèêðîñбîðîê, à òàêжå â ýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå, ðàбîòàющåé ïðè бîëьшèõ óñêî-
ðåíèÿõ è óдàðíыõ íàãðóзêàõ. Оïðàâдàíî òàê-
жå èñïîëьзîâàíèå òàêèõ ГПН ïðè ñбîðêå ИС,
ðàбîòàющèõ â óñëîâèÿõ ðàдèàцèîííыõ íàãðó-
зîê. Пðèмåíåíèå мèêðîñõåм íà ГПН â быòîâîé
МЭА âîзмîжíî ïîñëå ãåðмåòèзàцèè ïîëèмåðíы-
мè мàòåðèàëàмè è зàщèòы ïîâåðõíîñòè ïëàò. В
ñëóчàÿõ мíîãîâыâîдíыõ БИС è СБИС, èмåю-
щèõ ñîòíè âыâîдîâ, мåòîды ñбîðêè мèêðîñõåм
íà ГПН ïðàêòèчåñêè íå èмåюò àëьòåðíàòèâы.
ИСПОЛЬЗОВАННЫЕ ИСÒОЧНИÊИ
1. Гóñьêîâ Г. Я., Бëèíîâ Г. А., Гàзàðîâ А. А. Мîíòàж
мèêðîýëåêòðîííîé àïïàðàòóðы.— Мîñêâà: Рàдèî è
ñâÿзь,1986. [Gus'kov G. Ya., Blinov G. A., Gazarov A. A.
Montazh mikroelektronnoi apparatury. Moskow: Radio i
svyaz',1986.]
2. Вîжåíèí И. Н., Бëèíîâ Г. А., Êîëåдîâ Л. А. è дð.
Мèêðîýëåêòðîííàÿ àïïàðàòóðà íà бåñêîðïóñíыõ èíòåãðàëь-
íыõ мèêðîñõåмàõ.— Мîñêâà: Рàдèî è ñâÿзь, 1985. [Vozhenin
I. N., Blinov G. A., Koledov L. A. i dr. Mikroelektronnaya
apparatura na beskorpusnykh integral'nykh mikroskhemakh.
Moskow: Radio i svyaz', 1985]
3. Бåëåíьêèé В. З., Сåéñÿí Р. П., Шóбèíà Ò. В. БГИС
мîдóëè — íîâàÿ ýëåмåíòíàÿ бàзà шèðîêîâåщàòåëьíыõ òå-
ëåâèзèîííыõ ïðèåмíèêîâ // Эëåêòðîííàÿ ïðîмышëåí-
íîñòь.— 1980.— ¹ 4.— С. 17—22. [Belen'kii V. Z., Seisyan
R. P., Shubina T. V. // Elektronnaya promyshlennost'.
1980. N 4. P. 17]
4. А. c. 1 781 733 CCCP. Сïîñîб ñбîðêè èíòåãðàëь-
íыõ ñõåм // А. Г. Шåðåâåíÿ, И. А. Òóчèíñêèé, В. Ä.
Жîðà.—1992.— Бюë. ¹ 46. [A. s. 1 781 733 USSR // A. G.
Sherevenya, I. A. Tuchinskii, V. D. Zhora.1992. Byul. N 46]
5. Бåññîíîâ М. И., Êîòîí М. М., Êóдðÿâцåâ В. В.,
Лàéóñ Л. А. Пîëèèмèды — êëàññ òåðмîñòîéêèõ ïîëèмå-
ðîâ.— Лåíèíãðàд: Нàóêà, 1983. [Bessonov M. I., Koton
M. M., Kudryavtsev V. V., Laius L. A. Poliimidy — klass
termostoikikh polimerov. Leningrad: Nauka, 1983]
6. Гàâðюшèí Н. Н. Мåòîды èзãîòîâëåíèÿ ãèбêèõ ïå-
чàòíыõ ïëàò è êàбåëåé // Зàðóбåжíàÿ ðàдèîýëåêòðîíè-
êà.— 1985.— ¹ 5.— С. 51—63. [Gavryushin N. N. //
Zarubezhnaya radioelektronika. 1985. N 5. P. 51]
7. Бîðщåâ В. Н., Лèñòðàòåíêî А. М., Аíòîíîâà В. А.
è дð. Сâåòîдèîдíыå мîдóëè íà îñíîâå àëюмèíèåâîé “chip
on flex’ (COF) òåõíîëîãèè // Сâіòëîòåõíіêà òà åëåêòðîå-
íåðãåòèêà.— 2008.— ¹ 4.— С. 31—37. [Borshchev V. N.,
Listratenko A. M., Antonova V. A. i dr. // Svitlotekhnika
ta elektroenergetika. 2008. N 4. P. 31]
8. Пëèñ Н. И., Вåðбèцêèé В. Г., Жîðà В. Ä. è дð.
Òåõíîëîãèÿ ñбîðêè мèêðîñõåм íà ãèбêîм ïîëèèмèдíîм íî-
ñèòåëå // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé
àïïàðàòóðå.— 2010.— ¹ 5—6 (89).— С. 43—45. [Plis
N. I., Verbitskii V. G., Zhora V. D. i dr. // Tekhnologiya i
Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature. 2010. N 5—6
(89). P. 43]
9. Пåðåâåðòàéëî В. Л., Жîðà В. Ä., Гðóíÿíñêàÿ В. П.
è дð. Пðèмåíåíèå ãèбêèõ íîñèòåëåé ïðè ñбîðêå êðåмíèå-
âыõ дåòåêòîðîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåê-
òðîííîé àïïàðàòóðå.— 2009.— ¹ 1 (79).— С. 40—44.
[Perevertailo V. L., Zhora V. D., Grunyanskaya V. P. i dr.
// Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature.
2009. N 1 (79). P. 40]
10. Бîðщåâ В. Н., Аíòîíîâà В. А., Лèñòðàòåíêî
А. М. è дð. Êîмïëåêñíыé ïîдõîд ê âыбîðó êîíñòðóêòèâíî-
òåõíîëîãèчåñêèõ ðåшåíèé ãèбêî-жåñòêèõ îдíîдåòåêòîðíыõ
мîдóëåé дëÿ êîмïòîíîâñêîé мåдèцèíñêîé òîмîãðàфèè /
В ñб. Сцèíòèëëÿцèîííыå мàòåðèàëы. Иíжåíåðèÿ,
óñòðîé ñòâà, ïðèмåíåíèå.— Хàðьêîâ: «ИСМА», 2009.—
С. 111—127. [Borshchev V. N., Antonova V. A., Listratenko
A. M. i dr. / V sb. Stsintillyatsionnye materialy. Inzheneriya,
ustroistva, primenenie. Khar'kov: «ISMA», 2009. P. 111]
11. Пëèñ Н. И., Вåðбèцêèé В. Г., Вîëíèñòîâ В. Н.
è дð. Пðåèмóщåñòâà ñбîðêè мèêðîñõåм íà ãèбêîм ïîëè-
èмèдíîм íîñèòåëå // Òð. 11-é Мåждóíàð. íàóчí.-ïðàêò.
êîíф. «Сîâðåмåííыå èíфîðмàцèîííыå è ýëåêòðîííыå
òåõíîëîãèè».— Óêðàèíà, ã. Одåññà.— 2010.— Ò. II.—
С. 51. [Plis N. I., Verbitskii V. G., Volnistov V. N. i dr. //
Tr. 11-i Mezhdunar. nauchn.-prakt. konf. «Modern information
and electronic technologies». Ukraine, Odessa. 2010. Vol. II.
P. 51]
Дата поступления рукописи
в редакциþ 03.06 2013 г.
_________________________
Verbitskiy V. G., Plis N. I., Zhora V. D., Grunyanskaya
V. P. Comparative analysis of methods for the
microcircuit assembly on flexible polyimide carriers.
Keywords: assembly of chips, a flexible polyimide
carrier, connections.
The article presents a classification of methods for
the microcircuit assembly with the use of flexible
polyimide carriers of different types, and their
comparative analysis. The most appropriate method
for the manufacturing of flexible dual-layer carriers is
singled out.
Ukraine, Kiev, Institute of Microdevices of NASU;
Russia, Moscow, JSC «Angstrom».
________________________
Вåðбèцьêèé В. Г., Пëіñ М. І., Жîðà В. Ä., Гðóíÿíñьêà
В. П. Ïорівняльний аналіз методів складання
мікросхем на гнучких поліімідних носіях.
Клþчові слова: складання мікросхем, гнучкий полі
імідний носій, якість з'єднань.
Нàâåдåíî êëàñèфіêàцію мåòîдіâ ñêëàдàííÿ міêðîñõåм
з âèêîðèñòàííÿм ãíóчêèõ ïîëіімідíèõ íîñіїâ ðізíèõ
òèïіâ, ïðîâåдåíî їõ ïîðіâíÿëьíèé àíàëіз. Вèдіëåíî
íàéбіëьш ïðèéíÿòíèé мåòîд âèãîòîâëåííÿ дâîшàðî-
âèõ ãíóчêèõ íîñіїâ.
Óêðàїíà, м. Êèїâ, НÄІ міêðîïðèëàдіâ НАНÓ; Рîñіÿ,
м. Мîñêâà, ВАÒ «Аíãñòðåм».
|