Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...
Saved in:
Date: | 2009 |
---|---|
Main Authors: | , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2009
|
Series: | Сверхтвердые материалы |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63380 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |