Голишников, А., & Путря, М. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Голишников, А.А, та М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Голишников, А.А, та М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.