Голишников, А., & Путря, М. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Голишников, А.А, und М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Голишников, А.А, und М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.