Голишников, А., & Путря, М. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationГолишников, А.А, and М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
MLA (8th ed.) CitationГолишников, А.А, and М.Г Путря. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2014.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.