Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
Рассмотрена технология изготовления безадгезивных акустических мембран из фольгированных диэлектриков типа "алюминий—полиимид", а также их преимущества в сравнении с мембранами на лавсановой основе....
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2014
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70539 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе / А.В. Воробьев, В.Д. Жора, К.К. Баклаев, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 1. — С. 42-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70539 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-705392017-04-10T13:10:54Z Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе Воробьев, А.В. Жора, В.Д. Баклаев, К.К. Грунянская, В.П. Технологические процессы и оборудование Рассмотрена технология изготовления безадгезивных акустических мембран из фольгированных диэлектриков типа "алюминий—полиимид", а также их преимущества в сравнении с мембранами на лавсановой основе. Розглянуто технологію виготовлення акустичних мембран з фольгованих діелектриків типу «алюміній—поліімід» та переваги таких мембран у порівнянні з іншими звуковими випромінювачами. The paper presents a comparison of technical characteristics of acoustic membranes with an adhesive layer and nonadhesive membranes. The authors present the manufacturing technology for acoustic membranes based on aluminum-polyimide film dielectrics and analyze the advantages of such membranes in comparison to other sound emitters. 2014 Article Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе / А.В. Воробьев, В.Д. Жора, К.К. Баклаев, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 1. — С. 42-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 DOI: 10.15222/tkea2014.1.42 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70539 681.84.081.5 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Воробьев, А.В. Жора, В.Д. Баклаев, К.К. Грунянская, В.П. Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрена технология изготовления безадгезивных акустических мембран из фольгированных диэлектриков типа "алюминий—полиимид", а также их преимущества в сравнении с мембранами на лавсановой основе. |
| format |
Article |
| author |
Воробьев, А.В. Жора, В.Д. Баклаев, К.К. Грунянская, В.П. |
| author_facet |
Воробьев, А.В. Жора, В.Д. Баклаев, К.К. Грунянская, В.П. |
| author_sort |
Воробьев, А.В. |
| title |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| title_short |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| title_full |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| title_fullStr |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| title_full_unstemmed |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| title_sort |
безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70539 |
| citation_txt |
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе / А.В. Воробьев, В.Д. Жора, К.К. Баклаев, В.П. Грунянская // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2014. — № 1. — С. 42-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT vorobʹevav bezadgezivnyeakustičeskiemembranynapoliimidnojosnove AT žoravd bezadgezivnyeakustičeskiemembranynapoliimidnojosnove AT baklaevkk bezadgezivnyeakustičeskiemembranynapoliimidnojosnove AT grunânskaâvp bezadgezivnyeakustičeskiemembranynapoliimidnojosnove |
| first_indexed |
2025-07-05T19:44:38Z |
| last_indexed |
2025-07-05T19:44:38Z |
| _version_ |
1836837428336263168 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2014, ¹ 1
42
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ÓÄÊ 681.84.081.5
А. В. ВОРОБЬЕВ1, к. т. н. В. Д. ЖОРА2 , К. К. БАКЛАЕВ3, В. П. ГРУНЯНСКАЯ2
Рîññèÿ, ã. Êðàñíîãîðñê, Мîñêîâñêîé îбë. 1НПП «Пîëèêîм»;
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, 2НИИ мèêðîïðèбîðîâ НÒÊ «ИМÊ» НАН Óêðàèíы,
ã. Льâîâ,3НПП зâóêîòåõíèêè è èíфîðмàцèîííыõ ñèñòåм
E-mail: vdzhora@ukrpost.net
БЕЗАÄГЕЗИВНЫЕ АÊÓСÒИЧЕСÊИЕ МЕМБРАНЫ
НА ПОЛИИМИÄНОЙ ОСНОВЕ
В àêóñòèчåñêèõ ñèñòåмàõ ðàзëèчíîãî òèïà
â êàчåñòâå зâóêîâыõ èзëóчàòåëåé шèðîêî ïðè-
мåíÿюòñÿ мåмбðàíы, èзãîòîâëåííыå ñ èñïîëь-
зîâàíèåм ïîëèмåðíыõ ïëåíîê, чàщå âñåãî èз
мàéëà ðà (îí жå ïîëèýòèëåíòåðåфòàëàò èëè
ëàâñàí). Аêóñòèчåñêèå мåмбðàíы ïðåдñòàâëÿ-
юò ñîбîé òîíêóю (òîëщèíîé â ñîòыå дîëè мèë-
ëè мåòðà) ýëàñòèчíóю ïëåíêó, íà êîòîðîé ðàñïî-
ëîжåíы ïðîâîд íèêè ðàзëèчíîé фîðмы â зàâè-
ñèмîñòè îò ïðèíцèïà ðàбîòы èзëóчàòåëÿ зâóêà.
В ýëåêòðîñòàòèчåñêèõ èзëóчàòåëÿõ îíè ïðåдñòàâ-
ëÿюò ñîбîé íåñêîëьêî èзîëèðîâàííыõ дðóã îò
дðóãà мåòàëëèзèðîâàííыõ ïîëîñ, â èзîдèíàмè-
чåñêèõ — ïðîâîдÿщèå дîðîжêè òèïà мåàíдðà, â
îðòîдèíàмèчåñêèõ — ïðîâîдíèê â âèдå ñïèðàëè.
Ê дîñòîèíñòâàм ïëàíàðíыõ зâóêîâыõ èзëóчà-
òåëåé, â êîòîðыõ èñïîëьзóюòñÿ òàêèå мåмбðà-
íы, îòíîñÿòñÿ:
— шèðîêèé дèàïàзîí âîñïðîèзâîдèмыõ чà-
ñòîò (îò 100 è мåíьшå Гц дî 30 è бîëåå êГц);
— мàëыå íåëèíåéíыå èñêàжåíèÿ зà ñчåò îчåíь
мàëîãî âåñà мåмбðàíы, чåм îбåñïåчèâàåòñÿ åå
ïðàêòèчåñêàÿ бåзыíåðцèîííîñòь â ñðàâíåíèè ñ
èíымè òèïàмè èзëóчàòåëåé;
— âыñîêàÿ òîчíîñòь âîñïðîèзâåдåíèÿ зâóêà,
åãî ïðîзðàчíîñòь, åñòåñòâåííîñòь è ðåàëèñòèч-
íîñòь â шèðîêîм дèàïàзîíå чàñòîò.
Одíàêî íàдåжíîñòь мåмбðàí è òåõíèчå-
ñêèå õàðàêòåðèñòèêè зâóêîâыõ èзëóчàòåëåé íà
èõ îñíîâå îïðåдåëÿюòñÿ íå òîëьêî ñâîéñòâàмè
мàéëàðîâыõ ïëåíîê, íî âî мíîãîм зàâèñÿò è îò
ñâîéñòâ àдãåзèâà, â чàñòíîñòè îò âåëèчèíы åãî
àдãåзèè ê мàéëàðó è ê àëюмèíèåâым ïðîâîдíè-
êàм, åãî òåðмîñòîéêîñòè è ò. ï. Пðàâèëьíыé âы-
бîð àдãåзèâà, åãî òîëщèíы è îбåñïåчåíèå ðàâíî-
мåðíîñòè íàíåñåíèÿ îïðåдåëÿюò êàчåñòâî фîëь-
ãèðîâàííîãî дèýëåêòðèêà è, ñëåдîâàòåëьíî, èзãî-
òîâëåííыõ èз íåãî èздåëèé. Òàê, íàïðèмåð, ïðè
мàëîé òîëщèíå àдãåзèâà óõóдшàåòñÿ ñцåïëåíèå
ïîëèмåðà ñ мåòàëëîм, à ïðè ñëèшêîм бîëьшîé
âîзмîжíî îбðàзîâàíèå ãîфð è èзëîмîâ â ñëîå
Рассмотрена технология изготовления безадгезивных акустических мембран из фольгированных
диэлектриков типа «алюминий—полиимид», а также их преимущества в сравнении с мембранами
на лавсановой основе.
Ключевые слова: акустическая система, звуковой излучатель, мембрана, полиимидная пленка.
мåòàëëà. Сëåдóåò îòмåòèòь ñðàâíèòåëьíî íåâы-
ñîêóю òåðмîñòîéêîñòь àдãåзèâîâ, чòî ñêàзыâà-
åòñÿ íà îбщåé òåðмîñòîéêîñòè èздåëèé. Òàêжå
ñëîé àдãåзèâà óмåíьшàåò ýëàñòèчíîñòь è óïðó-
ãîñòь ñêëååííîãî ñ åãî ïðèмåíåíèåм мàòåðèàëà,
чòî íå мîжåò íå ñêàзàòьñÿ â дàëьíåéшåм íà êà-
чåñòâå âîñïðîèзâåдåíèÿ зâóêà. Очåâèдíî, чòî
àêóñòèчåcêèå мåмбðàíы, âыïîëíåííыå бåз ïðè-
мåíåíèÿ àдãåзèâà, íàмíîãî âыèãðыâàëè бы ïî
ñâîåмó êàчåñòâó.
В ýëåêòðîíèêå ïðè èзãîòîâëåíèè ãèбêèõ íî-
ñèòåëåé дëÿ ñбîðêè мèêðîñõåм, ãèбêèõ ïëàò è
шëåéфîâ шèðîêî ïðèмåíÿюòñÿ фîëьãèðîâàííыå
мàòåðèàëы íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå (ïëåíêå).
Вàжíî îòмåòèòь, чòî ïîëèèмèдíыå ïëåíêè õà-
ðàêòåðèзóюòñÿ цåííåéшèм êîмïëåêñîм ñâîéñòâ:
— бîëåå âыñîêèмè â ñðàâíåíèè ñ дðóãèмè ïî-
ëèмåðàмè мåõàíèчåñêîé ïðîчíîñòью, ýëàñòèчíî-
ñòью è òåðмîñòîéêîñòью [1];
— âыñîêîé ýëåêòðèчåñêîé ïðîчíîñòью (280
— 300 êВ/мм) [1];
— мàëîé ïëîòíîñòью [2];
— îòíîñèòåëьíî âыñîêîé òåïëîïðîâîдíîñòью
[3], чòî âàжíî дëÿ óмåíьшåíèÿ âåðîÿòíîñòè ïå-
ðåãðåâà мåмбðàí ïðè бîëьшîé мîщíîñòè зâóêî-
âыõ èзëóчàòåëåé;
— ïîзâîëÿюò ïîëóчàòь бåзàдãåзèâíыå фîëь-
ãèðîâàííыå мàòåðèàëы [4].
Нàñòîÿщàÿ ñòàòьÿ ïîñâÿщåíà îïèñàíèю ðàз-
ðàбîòàííîé íàмè òåõíîëîãèè èзãîòîâëåíèÿ бåз-
àдãåзèâíыõ àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí ñ èñïîëьзî-
âàíèåм â êàчåñòâå ïîëèмåðíîé îñíîâы ïîëèè-
мèдíыõ ïëåíîê, ñфîðмèðîâàííыõ íà àëюмèíè-
åâîé фîëьãå. В íàñòîÿщåå âðåмÿ òàêèå мåмбðà-
íы дðóãèмè ïðîèзâîдèòåëÿмè íå âыïóñêàюòñÿ.
Êîíñòðóêòèâíî мåмбðàíы дëÿ èзîдèíàмèчå-
ñêèõ èëè îðòîдèíàмèчåñêèõ àóдèîñèñòåм ïðåд-
ñòàâëÿюò ñîбîé ïðîâîдíèêè èз àëюмèíèÿ òîë-
щèíîé îò 14 дî 25 мêм, ðàñïîëîжåííыå íà ïî-
ëèèмèдíîé ïëåíêå. Êàê óжå îòмåчàëîñь, фîðмà
ïðîâîдíèêîâ мîжåò быòь ðàзëèчíîé, íàïðèмåð
DOI: 10.15222/TKEA2014.1.42
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2014, ¹ 1
43
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
â âèдå мåàíдðà èëè ñïèðàëè (рис. 1), è зàдàåò-
ñÿ фîòîшàбëîíàмè. В зàâèñèмîñòè îò êîíñòðóê-
цèè àêóñòèчåñêèõ ñèñòåм ðàзмåðы мåмбðàí мî-
ãóò ñîñòàâëÿòь îò 34×34 дî 200×400 мм. Òîëщèíà
ïîëèèмèдíîé ïëåíêè (îñíîâы мåмбðàí) îбычíî
ñîñòàâëÿåò 10—20 мêм.
Òåõíîëîãèчåñêèé ïðîцåññ èзãîòîâëåíèÿ àêó-
ñòèчåñêèõ мåмбðàí íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå
âêëючàåò â ñåбÿ òàêèå îñíîâíыå îïåðàцèè, êàê:
— ïîдãîòîâêà ïîâåðõíîñòè фîëьãè;
— фîðмèðîâàíèå ñëîÿ ïîëèèмèдíîé ïëåí-
êè íà фîëьãå;
— òåðмîîбðàбîòêà фîëьãèðîâàííîãî дèýëåê-
òðèêà;
— íàíåñåíèå фîòîðåзèñòà;
— ýêñïîíèðîâàíèå;
— ïðîÿâëåíèå;
— òðàâëåíèå ñëîÿ àëюмèíèÿ;
— ñíÿòèå фîòîðåзèñòà èëè зàчèñòêà êîíòàêòîâ;
— êîíòðîëь è èзмåðåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ.
Пîдãîòîâêó ïîâåðõíîñòè фîëьãè ïðîâîдÿò â
ñîîòâåòñòâèè ñ ðåêîмåíдàцèÿмè, ïðèâåдåííымè
â [4]. Äëÿ ýòîãî мåòàëëèчåñêóю фîëьãó ïðåдâà-
ðèòåëьíî ïîдâåðãàюò îчèñòêå è îбåзжèðèâàíèю
â ýòèëîâîм ñïèðòå è ïàðàõ òðèõëîðýòèëåíà дëÿ
óëóчшåíèÿ ñмàчèâàåмîñòè ïîâåðõíîñòè фîëьãè
жèдêèмè ïîëèèмèдíым ëàêîм è фîòîðåзèñòîм
ïðè èõ íàíåñåíèè.
Фîðмèðîâàíèå ñëîÿ ïîëèèмèдíîé ïëåíêè
íà фîëьãå [4] ïðîâîдÿò íà ñïåцèàëèзèðîâàííîé
óñòàíîâêå ðóëîííым мåòîдîм. Äëÿ íàíåñåíèÿ
жèдêîãî ëàêà èñïîëьзóюò щåëåâыå фèëьåðы,
îбåñïåчèâàющèå ðàâíîмåðíîñòь òîëщèíы ëàêî-
âîãî ïîêðыòèÿ íå õóжå ± 2 мêм ïî âñåé шèðè-
íå мàòåðèàëà. Сóшêó íàíåñåííîãî ëàêà ïðîâî-
дÿò â ñóшèëьíîé êàмåðå ïðè ïîñòåïåííîм ñòó-
ïåíчàòîм ïîâышåíèè òåмïåðàòóðы îò êîмíàò-
íîé дî 100°С. Щåëåâàÿ фèëьåðà è ñóшèëьíàÿ
êàмåðà ïðåдñòàâëÿюò ñîбîé åдèíóю ïîëèâîчíî-
ñóшèëьíóю мàшèíó.
Òåðмîîбðàбîòêó ïîëóчåííîãî фîëьãèðîâàí-
íîãî дèýëåêòðèêà ïðîâîдÿò ñ цåëью дîñòèжå-
íèÿ ñòåïåíè ïîëèмåðèзàцèè (èмèдèзàцèè) íàíå-
ñåííîé ëàêîâîé ïëåíêè дî 95—100%. Äëÿ ýòîãî
мåòàëëèчåñêóю фîëьãó ñî ñфîðмèðîâàííым ïî-
ëèèмèдíым ïîêðыòèåм ñмàòыâàюò â ðóëîí âмå-
ñòå ñ ïðîêëàдîчíîé ïîëèмåðíîé ëåíòîé êîððåê-
ñà, ïîмåщàюò â âàêóóмíыå ñóшèëьíыå êàмåðы
èëè âàêóóмíыå ïåчè, ïðîâîдÿò ïðåдâàðèòåëьíóю
ñòóïåíчàòóю òåðмîîбðàбîòêó ïðè òåмïåðàòóðàõ
îò 120 дî 230°С дî ñòåïåíè ïîëèмåðèзàцèè ïî-
ëèèмèдíîãî ïîêðыòèÿ 60—70%, ïîñëå чåãî îñó-
щåñòâëÿюò îêîíчàòåëьíóю ñóшêó ïðè òåмïåðà-
òóðå 295—350°С дî зàдàííîé ñòåïåíè ïîëèмå-
ðèзàцèè [4].
В òåõíîëîãèчåñêîм ïðîцåññå èзãîòîâëåíèÿ
àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí èñïîëьзóåòñÿ íåãàòèâíыé
фîòîðåзèñò ФН-11С íà îñíîâå цèêëîêàóчóêà ñ
бèñàзèдîм, îбðàзóющèé íà ãèбêèõ ïîдëîжêàõ
ýëàñòèчíыé зàщèòíыé ðåëьåф, ñòîéêèé ê мíî-
ãîêðàòíым ïåðåãèбàм. Пðè íàíåñåíèè фîòîðåзè-
ñòà, îñóщåñòâëÿåмîãî мåòîдîм ïîãðóжåíèÿ, èñ-
ïîëьзóåòñÿ ðàíåå ðàзðàбîòàííàÿ мåòîдèêà [5].
Еå ïðèмåíåíèå îбåñïåчèâàåò ïîëóчåíèå îïòè-
мàëьíîé òîëщèíы ñâåòîчóâñòâèòåëьíîãî ñëîÿ
ïîðÿдêà 1,5 мêм â дèàïàзîíå ðàбîчèõ òåмïåðà-
òóð è ïðè ðàзëèчíыõ зíàчåíèÿõ âÿзêîñòè фîòî-
ðåзèñòà, дîïóñêàåмыõ òåõíèчåñêèмè óñëîâèÿмè
íà íåãî. Пðè ýòîм òðåбóåмóю ñêîðîñòь дâèжå-
íèÿ дèýëåêòðèêà Uòð â зàâèñèмîñòè îò âÿзêîñòè
фîòîðåзèñòà îïðåдåëÿюò ïî ãðàфèêó, ïîëóчåí-
íîмó ýêñïåðèмåíòàëьíî (рис. 2). Нàíåñåíèå è
ñóшêó фîòîðåзèñòèâíîãî ñëîÿ ïî ñòàíдàðòíым
ðåжèмàм ïðîâîдÿò íà ñïåцèàëèзèðîâàííîé óñòà-
íîâêå òàêжå ðóëîííым мåòîдîм.
Äàëåå фîëьãèðîâàííыé дèýëåêòðèê ñ íàíå-
ñåííым фîòîðåзèñòîм ðàзðåзàюò íà îòдåëьíыå
зàãîòîâêè.
Эêñïîíèðîâàíèå ñâåòîчóâñòâèòåëьíîãî ñëîÿ
ïðîâîдÿò íà óñòàíîâêå дâóõñòîðîííåãî ýêñïîíè-
ðîâàíèÿ «Эêñïîíèð-202» ãðóïïîâым мåòîдîм,
ïðè ýòîм ïðèмåíÿюòñÿ ïëåíîчíыå фîòîшàбëîíы.
Пåðåд ïðîÿâëåíèåм зàãîòîâêè зàêðåïëÿюò
íà ñïåцèàëьíыõ мåòàëëèчåñêèõ ðàмêàõ, ñòîé-
êèõ ê дåéñòâèю òåõíîëîãèчåñêèõ ðàñòâîðîâ.
Пðîÿâëåíèå зàщèòíîãî ðåëьåфà ïðîâîдÿò ïîñëå-
Рèñ. 1. Аêóñòèчåñêàÿ мåмбðàíà ВЧ-èзëóчàòåëÿ
íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå
350
300
250
200
150
100
U
òð
,
м
м
/
м
èí
10 11 12 13 14 15
Êèíåмàòèчåñêàÿ âÿзêîñòь, мм2/ñ
Рèñ. 2. Зàâèñèмîñòь ñêîðîñòè дâèжåíèÿ дèýëåêòðèêà
îò êèíåмàòèчåñêîé âÿзêîñòè фîòîðåзèñòà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2014, ¹ 1
44
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
дîâàòåëьíî â òðåõ ïîðцèÿõ óàéò-ñïèðèòà ñ ïîñëå-
дóющåé ïðîмыâêîé â бóòèëàцåòàòå è ñóшêîé â
ïîòîêå òåïëîãî âîздóõà. Òåðмèчåñêîå дóбëåíèå
ïîëóчåííîãî ïðè ïðîÿâëåíèè зàщèòíîãî ðåëьå-
фà ïðîâîдÿò â ñóшèëьíîм шêàфó ïðè òåмïåðà-
òóðå 120±10°С â òåчåíèå чàñà.
Лîêàëьíîå òðàâëåíèå ñëîÿ àëюмèíèÿ ïðîâî-
дÿò ãðóïïîâым мåòîдîм â ñïåцèàëьíî ïîдîбðàí-
íîм êèñëîòíîм òðàâÿщåм ðàñòâîðå.
Пðè íåîбõîдèмîñòè óдàëåíèå фîòîðåзèñòà
ïðîâîдÿò ïîñëå ïðåдâàðèòåëьíîãî зàмàчèâàíèÿ
â êñèëîëå ïóòåм îбðàбîòêè â ãîðÿчåм фîðñàíå-2
è ïîñëåдîâàòåëьíîé ïðîмыâêè â êñèëîëå è бó-
òèëàцåòàòå. Нà íåêîòîðыõ èздåëèÿõ ïðîâîдèòь
îïåðàцèю óдàëåíèÿ фîòîðåзèñòà íå òðåбóåòñÿ.
В òàêîм ñëóчàå åãî óдàëÿюò ëîêàëьíî òîëьêî ñ
êîíòàêòíыõ ïëîщàдîê, êîòîðыå èñïîëьзóюò дëÿ
êîíòðîëÿ ñîïðîòèâëåíèÿ мåмбðàí è дëÿ ïàéêè
ïðîâîдíèêîâ.
Пðè êîíòðîëå êàчåñòâà мåмбðàí ïðîâåðÿ-
юò ïîëíîòó âыòðàâëèâàíèÿ àëюмèíèÿ â дîðîж-
êàõ òðàâëåíèÿ è ïðè íåîбõîдèмîñòè ñ ïîмîщью
èãëы óдàëÿюò åдèíèчíыå зàêîðîòêè мåждó ýëå-
мåíòàмè бåз íàðóшåíèÿ цåëîñòíîñòè ïîëèèмèд-
íîé îñíîâы.
Зàòåм ñ ïîмîщью ïðèбîðîâ èзмåðÿюò ñîïðî-
òèâëåíèå ãîòîâыõ мåмбðàí, êîòîðîå â зàâèñèмî-
ñòè îò èõ êîíñòðóêцèè мîжåò ñîñòàâëÿòь îò åдè-
íèц дî дåñÿòêîâ Ом ïðè òîчíîñòè âîñïðîèзâåдå-
íèÿ íå õóжå ± 5%.
Из дàííыõ табл. 1 âèдíî, чòî òåõíèчåñêèå õà-
ðàêòåðèñòèêè ïîëèèмèдíîé îñíîâы ñóщåñòâåííî
Òàбëèцà 1
Технические характеристики полимерной основы акустических мембран
Òàбëèцà 2
Технические характеристики ВЧ-головки 10ГИ-1
Òèï
ïîëèмåðà
Пðîчíîñòь
ïðè ðàзðыâå,
МПà
Оòíîñèòåëьíîå
óдëèíåíèå
ïðè ðàñòÿжåíèè, %
Êîýффèцèåíò
òåïëîïðîâîд íîñòè,
Вò/(м⋅Ê)
Äèàïàзîí ðàбîчèõ
òåмïåðàòóð, °С
Пîëèèмèд 150—180 60 0,14—0,20 –60 ... +220
Лàâñàí 90 15 0,15 –20 ... +100
Оñíîâà
мåмбðàíы
Рàбîчèé
дèàïàзîí
чàñòîò, êГц
Óðîâåíь чóâ-
ñòâèòåëьíîñòè,
дБ/(Вт•м)
Мàêñèмàëьíàÿ
ýëåêòðèчåñêàÿ
мîщíîñòь, Вò
Êîýффèцèåíò ãàðмîíèчå-
ñêèõ èñêàжåíèé ïðè зâó-
êîâîм дàâëåíèè 94 дБ, íå
бîëåå, %
Мàêñèмàëьíыé
óðîâåíь зâóêîâîãî
дàâëåíèÿ, дБ
Пîëèèмèд 2—37 88,5 30 0,5 103
Лàâñàí 2—35 88,3 10 1,3 97
Рèñ. 3. АЧХ èзîдèíàмèчåñêîé ВЧ-ãîëîâêè ñ мåмбðàíàмè дèàмåòðîм 34 мм íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå
ïðè ðàзëèчíыõ зíàчåíèÿõ òîëщèíы àëюмèíèÿ è ïîëèèмèдà (ПИ):
1 — Al 14 мêм, ПИ 14 мêм; 2 — Al 10 мêм, ПИ 12 мêм
З
âó
êî
âî
å
дà
âë
åí
èå
,
дБ
110
100
90
80
70
60
102 103 104 105
Чàñòîòà, Гц
1 2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2014, ¹ 1
45
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ïðåâîñõîдÿò ïàðàмåòðы ëàâñàíîâîé ïëåíêè, бëà-
ãîдàðÿ чåмó óâåëèчèâàåòñÿ íàдåжíîñòь è ñðîê
ñëóжбы àóдèîñèñòåм, óëóчшàåòñÿ òåõíîëîãèч-
íîñòь ïðîцåññà ïàéêè ïðîâîдíèêîâ ê мåмбðà-
íàм ïðè мîíòàжå ñèñòåм. Вàжíî òàêжå îòмå-
òèòь, чòî èñêëючåíèå àдãåзèâà èз êîíñòðóêцèè
àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí ïîëîжèòåëьíî ñêàзыâà-
åòñÿ è íà êàчåñòâå èõ зâóчàíèÿ. Нàïðèмåð, èñ-
ïîëьзóÿ òîíêóю ïîëèèмèдíóю ïëåíêó òîëщè-
íîé 10—12 мêм óдàëîñь èзãîòîâèòь âыñîêîчà-
ñòîòíóю ãîëîâêó ãðîмêîãîâîðèòåëÿ ñ мàêñè-
мàëьíîé ðàбîчåé чàñòîòîé 120 êГц. Пðè ýòîм
зâóê ñòàíîâèëñÿ íå òîëьêî бîëåå åñòåñòâåí-
íым, íî è зíàчèòåëьíî óëóчшèëèñь åãî ïðî-
ñòðàíñòâåííыå õàðàêòåðèñòèêè — фîêóñèðîâ-
êà è ëîêàëèзàцèÿ.
Зàâèñèмîñòè àмïëèòóды зâóêîâîãî дàâëåíèÿ
àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí îò чàñòîòы (ÀЧÕ) èзмå-
ðÿëè ãåòåðîдèííым àíàëèзàòîðîм ñïåêòðà 2010А
фèðмы «Бðюëь è Êьåð» (Äàíèÿ) ñ мèêðîфîíà-
мè 4149, 4135 è ñàмîïèñцåм 2037, ïîзâîëÿющèм
èññëåдîâàòь чàñòîòíыå õàðàêòåðèñòèêè â дèàïà-
зîíå чàñòîò îò 2 Гц дî 200 êГц. Измåðåíèÿ ïðî-
âîдèëèñь â зâóêîзàãëóшåííîé êàмåðå àêóñòèчå-
ñêîé ëàбîðàòîðèè НПП «Зâóêîòåõíèêè è èí-
фîðмàцèîííыõ ñèñòåм» (ã. Льâîâ).
АЧХ èзîдèíàмèчåñêîé âыñîêîчàñòîòíîé ãî-
ëîâêè ãðîмêîãîâîðèòåëÿ 10ГИ-1 ñ мåмбðàíàмè
íà ïîëèèмèдíîé è íà мàéëàðîâîé îñíîâàõ, âы-
ïîëíåííымè ñ îдèíàêîâîé òîïîëîãèåé è òîëщè-
íîé àëюмèíèåâîé фîëьãè, îòëèчàюòñÿ íåíàмíî-
ãî. Оíè îïðåдåëÿюòñÿ â бîëьшåé ñòåïåíè àêó-
ñòèчåñêèм дèзàéíîм ãîëîâêè, êîòîðыé íå èзмå-
íèëñÿ. А âîò дèíàмèчåñêèå è мîщíîñòíыå õà-
ðàêòåðèñòèêè ãîëîâêè â ñëóчàå èñïîëьзîâàíèÿ
ïîëèèмèдíîé îñíîâы зíàчèòåëьíî óëóчшèëèñь
(табл. 2).
Äëÿ дåмîíñòðàцèè âëèÿíèÿ êîíñòðóêòèâ-
íыõ îñîбåííîñòåé íà õàðàêòåðèñòèêè àêóñòèчå-
ñêèõ ïðåîбðàзîâàòåëåé íà рис. 3 è 4 ïðèâåдå-
íы АЧХ àêóñòèчåñêèõ èзëóчàòåëåé дâóõ òèïîâ.
Здåñь âèдíî, чòî èзмåíÿÿ òîëщèíó мàòåðèàëà,
мîжíî âëèÿòь íà чàñòîòíыé дèàïàзîí êàê âыñî-
êîчàñòîòíыõ, òàê è íèзêîчàñòîòíыõ óñòðîéñòâ.
Аâòîðàмè îðãàíèзîâàí ñåðèéíыé âыïóñê бåз-
àдãåзèâíыõ àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí íà ïîëèèмèд-
íîé îñíîâå â НПП «Пîëèêîм» (ã. Êðàñíîãîðñê).
Иññëåдîâàíèÿ ïåðâыõ îбðàзцîâ мåмбðàí è èздå-
ëèé ñ èõ èñïîëьзîâàíèåм, à òàêжå ñîâåðшåíñòâî-
âàíèå êîíñòðóêцèè è òåõíîëîãèè èздåëèé ïðî-
âîдèëèñь â òåчåíèå íåñêîëьêèõ ëåò.
С èñïîëьзîâàíèåм íèзêîîмíыõ àêóñòèчå-
ñêèõ мåмбðàí íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå ýòèм
жå ïðåдïðèÿòèåм ñîâмåñòíî ñ НПП зâóêîòåõ-
íèêè è èíфîðмàцèîííыõ ñèñòåм âыïóñêàåò-
ñÿ ðÿд óíèêàëьíыõ àâòîмîбèëьíыõ èзîдèíà-
мèчåñêèõ ñèñòåм, â òîм чèñëå èзîдèíàмèчå-
ñêèé ñàбâóфåð, шèðîêîïîëîñíыå èзîдèíàмè-
чåñêèå дîмàшíèå ñèñòåмы. Пðèмåíåíèå бåз-
àдãåзèâíыõ àêóñòèчåñêèõ мåмбðàí ïîзâîëè-
ëî óâåëèчèòь чóâñòâèòåëьíîñòь íåбîëьшîé
(400×1100 мм) шèðîêîïîëîñíîé èзîдèíàмè-
чåñêîé Hi-End ñèñòåмы 150 АСИÄ-007 ñ 85
до 97 дБ/(Вт•м), а нижнюю граничную ча-
ñòîòó óмåíьшèòь ñ 200 дî 70 Гц ïðè ïðàêòè-
чåñêè òîм жå êîíñòðóêòèâå.
Рèñ. 4. АЧХ èзîдèíàмèчåñêîé ВЧ-ãîëîâêè ðàзмåðîм 300×110 мм ñ мåмбðàíàмè íà ïîëèèмèдíîé îñíîâå ïðè
ðàзëèчíыõ зíàчåíèÿõ òîëщèíы àëюмèíèÿ è ïîëèèмèдà (ПИ):
1 — Al 14 мêм, ПИ 14 мêм; 2 — Al 20 мêм, ПИ 20 мêм
З
âó
êî
âî
å
дà
âë
åí
èå
,
дБ
110
100
90
80
70
60
101 102 103 104
Чàñòîòà, Гц
1
2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2014, ¹ 1
46
ÒÅÕÍÎËÎÃÈЧÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
A.V.VOROB'EV1, V. D. ZHORA2 ,
K. K. BAKLAEV3, V. P. GRUNYANSKAYA2
Russia, Krasnogorsk, 1Research and Production Company “Polycom” LLC;
Ukraine, Kiev, 2State enterprise “RI of Microdevices”
STS “Institute of Single Crystals” NAS of Ukraine;
Lvov, 3Subsidiary of public stock company
“Scientific Research Institute of Consumer Electronic Equipment
“Research and manufacturing Company for audio and IT systems”
E-mail: vdzhora@ukrpost.net
NONADHESIVE ACOUSTIC MEMBRANES BASED ON POLYIMIDE
The paper presents a comparison of technical characteristics of acoustic membranes with an adhesive layer and
nonadhesive membranes. The authors present the manufacturing technology for acoustic membranes based on
aluminum-polyimide film dielectrics and analyze the advantages of such membranes in comparison to other
sound emitters.
Keywords: acoustic system, sound emitters, membrane, polyimide film.
А. В. ВОРОБЙОВ, В. Д. ЖОРА, К. К БАКЛАЄВ, В. П. ГРУНЯНСЬКА
Рîñіÿ, м. Êðàñíîãîðñьê, Мîñêîâñьêà îбë., НВП «Пîëіêîм»;
Óêðàїíà, м. Êèїâ, НÄІ міêðîïðèëàдіâ НÒÊ «ІМÊ» НАН Óêðàїíè;
м. Льâіâ, НВП Зâóêîòåõíіêè òà іíфîðмàціéíèõ ñèñòåм
E-mail: vdzhora@ukrpost.net
БЕЗАÄГЕЗИВНІ АÊÓСÒИЧНІ МЕМБРАНИ НА ПОЛІІМІÄНІЙ ОСНОВІ
Розглянуто технологію виготовлення акустичних мембран з фольгованих діелектриків типу «алюміній—
поліімід» та переваги таких мембран у порівнянні з іншими звуковими випромінювачами.
Ключові слова: акустична система, звукові випромінювачі, мембрана, поліімідна плівка.
REFERENCES
1. Bessonov M.I., Koton M.M., Kudryavtsev V.V., Laius
L.A. Poliimidy — klass termostoikikh polimerov [Polyimides
— a class of heat-resistant polymers] Leningrad, Nauka, 1983,
328 p. (in Russian)
2. Borshchev V.N., Listratenko O.M., Antonova V.A.,
Protsenko M.A., Tymchuk I.T., Kostyshyn Y. Y. [LED
modules on the basis of aluminium «Chip on flex» (COF)
technique] Svitlotekhnika ta elektroenergetika, 2008, no 4,
pp. 31-37 (in Russian).
3. Plis N. I., Verbitsky V. G., Zhora V. D., Volnistov
V. N, Grunyanskaya V. P., Sergeyeva N. N. [The technology
of microcircuit assembly on flexible polyimide substrate]
Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature,
2010, no 5–6, pp. 43-45. (in Russian)
4. Russian Patent 2240921 [A method for producing a
polyimide material] 27.11.2004.
5. Zhora V.D., Sherevenya A.G., Dontsova V.V. et al.
[Application of the photoresist layer in the process of roll
manufacturing of flexible carrier for IC assembly] Elektronnaya
tekhnika, Ser. 7, TOPO, 1988, iss. 3, pp. 5-8. (in Russian)
ИСПОЛЬЗОВАННЫЕ ИСÒОЧНИÊИ
1. Бåññîíîâ М.И., Êîòîí М.М., Êóдðÿâцåâ В.В., Лàéóñ
Л.А. Пîëèèмèды — êëàññ òåðмîñòîéêèõ ïîëèмåðîâ.—
Лåíèíãðàд: Нàóêà, 1983.
2. Бîðщåâ В.Н., Лèñòðàòåíêî А.М., Аíòîíîâà В.А. è
дð. Сâåòîдèîдíыå мîдóëè íà îñíîâå àëюмèíèåâîé “chip on
flex” (COF) òåõíîëîãèè // Сâіòëîòåõíіêà òà åëåêòðîåíåð-
ãåòèêà.—2008.— ¹ 4.— С. 31 — 37.
3. Пëèñ Н.И., В Вåðбèцêèé.Г., Жîðà В.Ä. è дð.
Òåõíîëîãèÿ ñбîðêè мèêðîñõåм íà ãèбêîм ïîëèèмèдíîм íî-
ñèòåëå // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé
аппаратуре.— 2010.— № 5–6.— С. 43—45.
4. Пàòåíò Рîññèè 2240921. Сïîñîб ïîëóчåíèÿ ïîëèèмèд-
íîãî мàòåðèàëà / В.Н.Вîðîбьåâ, А.В.Вîðîбьåâ.— Оïóбë.
27.11.2004.
5. Жîðà В.Ä., Шåðåâåíÿ А.Г., Äîíцîâà В.В. è дð.
Нàíåñåíèå фîòîðåзèñòèâíîãî ñëîÿ â ïðîцåññå ðóëîííî-
ãî èзãîòîâëåíèÿ ãèбêèõ íîñèòåëåé дëÿ ñбîðêè ИС //
Эëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Сåð. 7, ÒОПО.— 1988.— Выï. 3.—
С. 5 — 8.
Дата поступления рукописи
в редакöию 15.09 2013 г.
DOI: 10.15222/TKEA2014.1.42
UDC 681.84.081.5
|