Вантеев, А., & Коробов, А. (2003). Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Вантеев, А.М, und А.И Коробов. Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Вантеев, А.М, und А.И Коробов. Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.