Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры - Вантеев, А.М.; Коробов, А.И. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экспериментальные результаты, демонстрирующие возможность выявить элементы с нестабильными во времени характеристиками на этапе производства пластин с кристаллами СБИС.