Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
Применяемый в производстве СБИС метод тестовых схем предлагается дополнить методикой определения нестабильных во времени элементов физической структуры изделия с использованием модели деградационных процессов. Показана возможность проведения ускоренных испытаний на элементах структуры. Приведены экс...
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2003
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70609 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры / А.М. Вантеев, А.И. Коробов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 2. — С. 33-35. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |