APA (7th ed.) Citation

Григорьев, Н., Кравецкий, М., Пащенко, Г., Сыпко, С., & Фомин, А. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Григорьев, Н.Н, М.Ю Кравецкий, Г.А Пащенко, С.А Сыпко, and А.В Фомин. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.

MLA (8th ed.) Citation

Григорьев, Н.Н, et al. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.