APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Григорьев, Н., Кравецкий, М., Пащенко, Г., Сыпко, С., & Фомин, А. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Григорьев, Н.Н, М.Ю Кравецкий, Г.А Пащенко, С.А Сыпко, und А.В Фомин. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Григорьев, Н.Н, et al. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.