Григорьев, Н., Кравецкий, М., Пащенко, Г., Сыпко, С., & Фомин, А. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Григорьев, Н.Н, М.Ю Кравецкий, Г.А Пащенко, С.А Сыпко, та А.В Фомин. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Григорьев, Н.Н, et al. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2003.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.