Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления - Адарчин, С.А.; Кужненков, А.С.; Кожитов, Л.В.; Косушкин, В.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.