Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...
Збережено в:
Дата: | 2002 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-70810 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-708102014-11-14T03:01:37Z Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C. 2002 Article Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810 621.382.2.029.64 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
spellingShingle |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. |
format |
Article |
author |
Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. |
author_facet |
Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. |
author_sort |
Иванов, В.Н. |
title |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
title_short |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
title_full |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
title_fullStr |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
title_full_unstemmed |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
title_sort |
контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2002 |
topic_facet |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810 |
citation_txt |
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT stovpovojma kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah |
first_indexed |
2025-07-05T19:58:18Z |
last_indexed |
2025-07-05T19:58:18Z |
_version_ |
1836838287906439168 |
fulltext |
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
�� !�� �����
"����������������������� ��
� ��
�
#$%�����&'
��$�� � (
��)
�����������������������������
���
����
������������������ �������� �����
��������
*
��
���� �(
����+,,�-"�
��.��,/0�+1+*
2&34567�839:5 ;5<= >4
("+�1(�""?@1A*BC,D
0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1
F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I
��������������������� !"����"��� �
#��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� �
�����+,-./01/+,��+,-./012$/+,�
+,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,�
03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"�
�&�����8��8��������� ��� 9�!! (�
+��K���������L��
��������M��������
�����&
�
� ���
��L���
�
����L��%FJ&��
N�����
�
��� ���M&
�L�����K������
���������������K����
������O��
K
���N��K�K
���P�������������������
O��
��Q���O�
���Q���L����R��K
�����
�K��K
O��
��
�N��M���L�
����
����
�S4T9�������U��
��
����L��Q��
����
�O�&
�����
�����V����M����K�������N�QL�������N������&
��N����M���
����LU��������K���������
����
����&
K��M�L�������
����
��������
�G�������
Q��
��W
��������
��K�������������
�R�Q��N��Q����
�����K
&
O��
��
�N��M���L��
����
�������N����
���N�O
����K&
��������%FJ&��
N����#���O���K���
��M�� ������ ��&
������ �� �- ���O
�.���O
����
� �����K���������K�V��
��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U��
�������Q�&
��O
������P������Q��O
���M����
��
O������R
Q
�&
�������
O��
��
���������
��
� �������
O��
�
��Q��N���
���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[
(�
�
Q����������������
���� ���O���
����
���N��&
Q��P
��K����
��L��
�
�����
����������������
�
&
�����
O��
K
�����������K����
QK��� �����
�����&
��
����
�����N���������Q���� ���
O�����
RR�Q
&
���W���KLK�NL���LK���������K����
����P
K�
���Q&
��U��
����
N��� �?��MU���O���M���N������
����
&
��K�����������������������
����� ��K����
QK� �"�&
��
���
�Q����M��O������������M������V�����������&
O��
���Q���O���
��������M��������
�M���V������M&
�L���RR�
�L������LK
�K�����K
����������� ���
��
�&
���MQ����
����
�O������
����
�����K��R�L��K����&
����� ���
O
������������
���M����
Q
�����K������&
����R�Q��� ����������\���
K����
�����
� �����
�
R&
R�Q
���� ��������
���
��
��#����
K���]5^
�
)����&
N�����L��
�����O����
��������
O��
� �����������
��Q�����P� ����Q�����M��O��M����
��#≤���Å)�����&
����L�����
�]5^
�
\���Q���
��
����
��L���
���K�����&
K�PM���
�
�
��L��
��
��
��L��R�Q��� �����
�
K����������
V�����N�����L��
���O�L���������
O��&
������������R��K
�����
����������L����������&
���
�����
����������
F�������P�K����NP��
�����Q���O����U����������&
K�PM���K��R�L�������
�N��
����
��
��
�����
����
F�
�O������
������ ��K����
��������R��K
��&
���
���K
O��
��
�N��M���L��
����
����
�&
���MQ����
�M� ��
��
�
��M�L�� ����
���L� �����
��
���
�����P
����_���W`�K
K�:&�
�����
���������
&
������
������ #� �)a!�!��KX` �b�
�����
���L��L��&
P
���
�M�����������P
��
�����
Q��
���P
�����&
��V
��
'�����
O��
��
����
�L������
�
�M�K�����K�K� &
�������� ������L���
������K��R������ �������K�&
����
Q
��������� �������
�� *F+&Z�@� � F� ��N�O��
�K���������������
��
����
����NL����������������
K� ��������
����������������
K���M�����R�������
�O
��
�#,/")�����������
��N��Q���
"N��Q�L��������L���
��
���
�
�M��������
��
�&
���L����������
����������
������M���
�K��� �#+��
�&
�����M�K�V�����������
���M����������
�� )�(���&
���M���Q�������R
�
�����M�����
�������������M&
���������NLK�K� �������LK�
����
����K�
������&
�
��,/"
+��L���
��
����
��������N��Q������
Q���
���M
������������M�����K� �������L��
����
����������&
������Q��������������������M����
����������
���M&
�����O
��
�������������
�,/"�������K��������
&
O��
�K��
���N�Q�����U��
����
��K�
@�N�O���
�K�����������
���M�����
��K
�������M
�L��
���
��K�LK� K���
�����LK� ������K� ��� ���&
���
�������V���a!�XZKK��� ��� ���
���� ����������c%
A���K�
�K��������V�����M����
�K���������K������&
�L�����
Q���
���������
�Td����������
���a!�X`�KK
�� ��� �
����
Q���
���M����L���
��
����
���
,���������
�M�������P
��
����
��L���
���KL7
���� �K
O��
��
����
����T>S<We4WT>�� T>S<W
e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>�
����L�����L���
�M������
��
�
��M�L������
���L���
����
Q��
���P��������V
� ����P
���T>�
�S<�!j��
�̀ ���Å����������������\����P
���e4��e�f$��e5g$����&
���!������hiW������T>W������@�V
K�����L&
���
��e�f$��e5g$�NL���LN������
��O���R��K
�������M
�K��R��������
� �0������������
��
����
�����N��Q&
�L������� ��
�M����K��N��N��
����
����c%�����O�&
�
��!�K
������������ �'�����K�R����
�� ��R
�
Q&
�������
�M�������L���N��Q�L�����
QK����
��
����
&
��� ��������
����
��K�����K��������P����
�
0�����
QK����
�K�
����
��L��������
����
�������&
���
��
�������M�
��
KK���
O����M�F1I �"N��Q�L��
�K
O��
K
�
����
��K
������� ��
�M����K
O��
��
�N��N��
�����
���K�������������������
����c%�����O�&
�
��O���
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
�������� �
���
��
������������������
��������
����R��K
�����
��N��M���L��
����
�����LN
��&
�
�M���
��
�
��M�L������
���L�S4T9�����������P��
�����V
� �F�
�O�������L���K���P
��
����
����
�&
���MQ����
�M���
���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g
k
WT>
�e5g;WhiWT>��
����L�������
�
�M��������������M
��
��
�
��M��������
����P
��������
�e5��e5f;�
e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å
%��������L������V�
����L�������K
O��
��
��&
��
��T>S<We5g$WT>��
����L�������� ��������K�&
�N��N��
�����������������O��
��!�K
�
0�����R��K
�����
��
����
����
Q �����
���
�M
K�Q�����
���L��
�K����K�!���K
K�
� ��N
������K
K
K�����K�R����
�� ��R
�
��������
� �0��
Q���
���M
QK����
��F1I�
�lWm&����
���
��
��
Q�
����L�
���������
�M��L�����N��M����n���
�
�R�
����
��&
��M����
�
�
��
QK����
�������K�������L����K��N��&
N��
�����O��
��!�O���
F� ������ �� ��
�����L� ��Q��M���L�
QK����
�
����M�� ��������
����
���K
O��
��
����
&
����
�:&S4T9���R��K
������L�����������L������
��&
��������
����������K��N��N��
�����
��K����
���K&
�������������������
����c%�����O��
��!�O��� �,Q���
&
������L������L���
�����O�������M����������
���&
�
���K
O��
��
����
����� �R��K
������L�� T>S<�
���
�
O��
���
��
�������������
�����L������
���
"�V
���
��o���c%����
QK���������
O
�L�ρ �"���
�
���K��N��N��
����
��o���c%�������������
������
&
O
�����ρ�
����
��L������
������N�R���LK�����K���
����������
�
�����
O��
�������
������������������&
K��
�
��K��R�L�����
�e4f;�
�e5g;�����������������&
�
�����
�����K���Q������
Q������������� ������
K�����
Q��
�� ��NM�
����
���������
���L�
���
��&
��
��L�������S4T9
"�V
���
��o���c%�����U��������K���L������
��&
��
��L������
��� �0�
����K����N��Q������N�R���LK
����K
�e4f;�
�e5g;���N�������������
���
���������&
�
��K����
O��
�������V��
����������V���P����
�������
���
�K�K�����
Q��
��O����������V������
QK����
�K
����
����
�
�
Q�L�<�
�����L��
����&
��� ���L�����K��N��N��
����
��o����c%�
����
��L�
����
������N�R���LK
�����K
�e4f;�
�e5g; �"
�Q�&
���M��O������
���
�
�
Q�L������VV���L��
����
��L�
����
����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������
���K��N��N��
�����
�Q���������LK���WZ��K
b�
���Q��M���L�������������
V��������������
��
���M�&�K����LK
�����
���
��
�K
��
�����G�������
����������K��N��N��
��
�
O����F1I��
����G����
���K
O��
K
�
����
��K
�����������T>We4WT>S<W
S4T9&����
�������
���������V
����
��o����c%��
��O��
��!�O������
�����������
��
� �F
�����O����
��Q��M������� �����
�
����
����F1I������
���f&�N&
��Q�L���O����
�F����V�����K��F1I��
�����G������
K�����
Q��
�����
��O��P���N�R���L�����
�e4f;�
�
e5g;������������f&�N��Q�L���
����
���Q��O
���M��K
�K��MU��
���
�����
���Q�������KL���K�P��
��!W��F
F�����������
�����L���Q��M���L�
QK����
���L&
���L�N��M����n���
�
�R�
�����
����M����
�
���L������
����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9�
T>We5g;WS4T9�
�T>WhiWe5g;WS4T9����
������
���K��N��N��
�������V�������
�� �F
�����O���N��M&
���L���������������Q��M��������K��N��N��
������&
��������������
�������KL������
��� �"���
��N��M�&
�L� n���
�� �R��K
������L�� �K��R�LK
� ����K
e5f;�
�e5g;���
�QL�������N��������K�����
K
��O�K
����
�L�T>We5WS4T9��O��������
����������������
������LK
�����������"V�&���
�����������
����
�&
�
������O���LK
���
����
����T>We5g;WS4T9�
e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[
0�
������L������N�
�������L����Q�������������M
Q�
��O��
�����������O����L��
������N
�M����
� ��&
�
�L���Q�����$K�����WS4T9$�
�������
�
�����
�
�&
���MQ����
������N�L��
����
��L������
����������&
Q���
�����K����N
�M�L����
N�������N��M���K�n��&
�
�+�N�����K�������
���
����������
��K����
O��&
�������V��
����N��M���L������
���������
����&
P�����������V
����
��o���c%�
��������
���
�
K�����
Q��
������LQL����������
�����P���������
�� �����
�����K������N��M����n���
qqq
��
K��N��Q�K��
�
���
�Q��
���U
�
���������
��
K�� ������L���K
O��
��
����
�L�T>We�f;#e5g$)W
T>S<WS4T9�
� �L���K���P
��
����
�L� T>W
e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N
�M�����N����M���
���K&
����������������c%�N�Q�
QK����
�����
��
O��
����&
��K�����
��N�
���!
=��!"������'��� %!�� ��� #��� $���������%���:�-1+>
ρ,�����
2
���� ��
���
�� ������ ��� �-
� �
500°� 550°� 600°�
Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3
Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5
��N�
����
�&��������"����ϕ
�
� �������� ���!"���� �:�� ���&$
���8��8�� ��� � '��!���������������
��� �-
���
500º� 550º� 600º�
�������������
� ����� � ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n
Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45
Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37
Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30
Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30
?��T
��j
���
�
X���
X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g
F1I��
���� G����� �� �K
O��
K
�
����
��K
� T>We4W
T>S<WS4T97
AW�������K��N��N��
\�BW����������K��N��N��
���
��o���c%
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(,
! �1����
�� ���
����K
�����
����
����0������ �+ �1����&
��
���* �*
��K��� W�' 7�'
���!pjj
� �n���' �%����K���L����
N��L����������������
��� ��&
�
� W�' 7�'
���!pp!
` �G��M�N�� �B �1 �"K
O��
��
����
��K�����W����������&
�
�1`F� �'�������Q���
��
�������������/�0 W!pp� W�� ��j�
��!� W�% �!�j!W!�pj
� �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q����
���K
O��
� ��
��&
��
��������������������L��� ���� �����
���
�����n���
���
�������S4T9�
�S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W
���
� �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i|
]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9���
e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j�
� �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t
84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9
}~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W
s � ��`�W��`Z
Z � '�VR�Q�L�� �Q�
K�������
��
� K����
QKL� �� �����
� �
����
������K�����W��s�
�K�����WS4T9���0������ �@ �F �(���
�&
����
�G �% �(����O��
��� W�(
��7�,,"�,/0�+1+*��!pp�
j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d
]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id
]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ
p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9
8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9
~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W
mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9���
�����������
�����������
���������
������
������������
����������
��
� ���� ����
���
������� ��
�������
��������
����
�������
� ���������
�������
���� ���
�
�������
�������
������
��
� �� �����
����
��!� �
��
�����
�������"
�� ������ ���
�
��������
� ! ����
������
���
������
�
��
������� ������#
$�� ������
�� � ����
��
���
�����
��� ������ �
�� �
�
���� �� �
��
���� ��������
��
! ����
�
��������
�� ����
��"!����
��% ���
����������#
& � ���
��
�����
�
�������
� ���
'
�� ������
�� � ���
� �����
����������
����� �
�����
�����������
� ! ���
�
�������������
�������
��� �
� ��������
�������� ���
���
���� �
�
������ � �����
�
���
�
������ #
(����� ��������
����������
�
� ����
������� ��������#
)�
! ��� �� �
�����
�
���� ��
��� ���
�
���� ����
������ ��
������
�� ����
�� �������
��
���� � �
������
���� ����
� ������
��� *� ����
��
����
� ����������
� �������� ����
����
����������
�
�������� ���
��� ������ �
���������#
&����
��
��������
�����
+$���
��
��� ��������
�
�� ������� +
,#
-#
, ��������
���� ����
����
��
���� ���
������������
��* � ��
� �������
���� �
���� ����
������� ���������
��������
����������
��������
� ��
����� �����
���� �����
�������������
.$)
�
�����
��
��� ��������
��
��������� ��
����
����������
������
� �
,#
-#
, �������#
������������� ��
�����
��
���������#'
/� �0
1&
23 ��4�
5665#'
789
�#
:���#
5;�
���#
;;<�
����#
;<8
����#
��� ����
��������
�
�������
�� ���������
�����
�������
�
��������
����� ���#
,
����
�� ������ ��
����
* ��
������ �
����* ���
�
������� ����� �
������
����
�������
� ! ���
�
���������
����
� �����
����� ���
�����
� �
������ ������
�
����� �
���
������ � �����
� ������
�������� �
������
����� �
��
���� ������#
&��� � ��
�������� ��
������ �����
� �
� �� ��� ����
�� ������
���
�
������� ������
�����
�
� � �������������
�
��� ����
���"�
���������
��*��
�
��
���������
������
��� ! �
��
� ���
�����* ���
����� ���
�����
�
��
���� � ��
�
�� ��
����� #
,
� �
������
�� ����
����
������
�
���� ����� ��
��
����* ��
��� �����
�
��
���������"
����������
�����
� �#
=�������
� ����� ����
��������
��
�������
������
��
������
'
+��
���� ��� ���
�
����! ��"
�
� �������� ����
� ��������
�
����������� +
'
������� �
��������
��
��� �
�
���
�����������
���
�
���*
����
������������#
>�����
���������
�����0
���� �
����
��
� �������� ����
� �����
������
�����������
�� ����
�
�������
�������
��
����� �
��
����"���
� �������� ���
���
� ��
����� ���
��� ������ �
�� � ����
�
������ �� ��
���������
�
� ����� ��
��
��� �����
��
���� � ����
�����
�
�
� ��� ���� #
)� �� �
��� �����
���
���
������ �
�������
��
������
������"
�����
�
����� �������
��
��
�����
�� � ��
�
�������
��� �����
�
� ��#
/����
,#
-#
, ��������
���� ���
� ����
��
������� ��
�
�������
���������
��� �� ���
��� ! ��
���� � �
� �
�����* ���
�
�������
��
��� ��������
����������� �
��
� ������ �
�� �
�
������ �����
� �
�� � ����
��
�����
�� ��
� ���
?7,<�
���
� �� �
��*
� �
�������
�
� � ��
����� �
��
��������������
��� ������#
/����
� �����
������ ���
��
��! ����"!��
����� �
�����
���
��� �����#
@
�� ��
�
���
� ��
������� �
�����
�
���
�� ������
���� �
����� �����
���
�
��������
���
��� �����
������#
1�*��
� ���
�������
�� ����
�����
��������
�� ��
� ��� ����� �
�
���
�� ��
���� ����� �
���� ���
�
��
���� � ��"
�
����� ��������#
/����
,#
-#
, ��������
�� �
� �����
��*��
���
�����*�
���
�� � ��� ����
������� ��
������
���� �� ������
�
��
� �
��� ���
���
��* � ���
�� ��������
� ������
�������
���
�
���� ����
�� ������ ��
���������� ����
�
�������
������ ��� �
�� ��������� ��
�
���*
���� �����
����������
�
��* � ����
�����
�����"�
�
�������� ��"�
� ��������
��
���� ���������
��� ����
� ���
���
�����"� �� �
�
� � ���
����������� �
�� ����#
�����������������
����
��
A(:>>
+/� �����
����� ���
� ����
��������+�
�#
/� �B
|