Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах

Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2002
Автори: Иванов, В.Н., Конакова, Р.В., Миленин, В.В., Стовповой, М.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70810
record_format dspace
spelling irk-123456789-708102014-11-14T03:01:37Z Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C. 2002 Article Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810 621.382.2.029.64 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
spellingShingle Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики.
format Article
author Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
author_facet Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
author_sort Иванов, В.Н.
title Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_short Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_full Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_fullStr Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_full_unstemmed Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_sort контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70810
citation_txt Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT stovpovojma kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
first_indexed 2025-07-05T19:58:18Z
last_indexed 2025-07-05T19:58:18Z
_version_ 1836838287906439168
fulltext �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� !�� ����� "����������������������� �� � �� � #$%�����&' ��$�� � ( ��) ����������������������������� ��� ���� ������������������ �������� ����� �������� * �� ���� �( ����+,,�-"� ��.��,/0�+1+* 2&34567�839:5 ;5<= >4 ("+�1(�""?@1A*BC,D 0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1 F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I ��������������������� !"����"��� � #��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� � �����+,-./01/+,��+,-./012$/+,� +,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,� 03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"� �&�����8��8��������� ��� 9�!! (� +��K���������L�� ��������M�������� �����& � � ��� ��L��� � ����L��%FJ&�� N����� � ��� ���M& �L�����K������ ���������������K���� ������O�� K ���N��K�K ���P������������������� O�� ��Q���O� ���Q���L����R��K ����� �K��K O�� �� �N��M���L� ���� ���� �S4T9�������U�� �� ����L��Q�� ���� �O�& ����� �����V����M����K�������N�QL�������N������& ��N����M��� ����LU��������K��������� ���� ����& K��M�L������� ���� �������� �G������� Q�� ��W �������� ��K������������� �R�Q��N��Q���� �����K & O�� �� �N��M���L�� ���� �������N���� ���N�O ����K& ��������%FJ&�� N����#���O���K��� ��M�� ������ ��& ������ �� �- ���O �.���O ���� � �����K���������K�V�� ��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U�� �������Q�& ��O ������P������Q��O ���M���� �� O������R Q �& ������� O�� �� ��������� �� � ������� O�� � ��Q��N��� ���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[ (� � Q���������������� ���� ���O��� ���� ���N��& Q��P ��K���� ��L�� � ����� ���������������� � & ����� O�� K �����������K���� QK��� ����� �����& �� ���� �����N���������Q���� ��� O����� RR�Q & ���W���KLK�NL���LK���������K���� ����P K� ���Q& ��U�� ���� N��� �?��MU���O���M���N������ ���� & ��K����������������������� ����� ��K���� QK� �"�& �� ��� �Q����M��O������������M������V�����������& O�� ���Q���O��� ��������M�������� �M���V������M& �L���RR� �L������LK �K�����K ����������� ��� �� �& ���MQ���� ���� �O������ ���� �����K��R�L��K����& ����� ��� O ������������ ���M���� Q �����K������& ����R�Q��� ����������\��� K���� ����� � ����� � R& R�Q ���� �������� ��� �� ��#���� K���]5^ � )����& N�����L�� �����O���� �������� O�� � ����������� ��Q�����P� ����Q�����M��O��M���� ��#≤���Å)�����& ����L����� �]5^ � \���Q��� �� ���� ��L��� ���K�����& K�PM��� � � ��L�� �� �� ��L��R�Q��� ����� � K���������� V�����N�����L�� ���O�L��������� O��& ������������R��K ����� ����������L����������& ��� ����� ���������� F�������P�K����NP�� �����Q���O����U����������& K�PM���K��R�L������� �N�� ���� �� �� ����� ���� F� �O������ ������ ��K���� ��������R��K ��& ��� ���K O�� �� �N��M���L�� ���� ���� �& ���MQ���� �M� �� �� � ��M�L�� ���� ���L� ����� �� ��� �����P ����_���W`�K K�:&� ����� ��������� & ������ ������ #� �)a!�!��KX` �b� ����� ���L��L��& P ��� �M�����������P �� ����� Q�� ���P �����& ��V �� '����� O�� �� ���� �L������ � �M�K�����K�K� & �������� ������L��� ������K��R������ �������K�& ���� Q ��������� ������� �� *F+&Z�@� � F� ��N�O�� �K��������������� �� ���� ����NL���������������� K� �������� ���������������� K���M�����R������� �O �� �#,/")����������� ��N��Q��� "N��Q�L��������L��� �� ��� � �M�������� �� �& ���L���������� ���������� ������M��� �K��� �#+�� �& �����M�K�V����������� ���M���������� �� )�(���& ���M���Q�������R � �����M����� �������������M& ���������NLK�K� �������LK� ���� ����K� ������& � ��,/" +��L��� �� ���� ��������N��Q������ Q��� ���M ������������M�����K� �������L�� ���� ����������& ������Q��������������������M���� ���������� ���M& �����O �� ������������� �,/"�������K�������� & O�� �K�� ���N�Q�����U�� ���� ��K� @�N�O��� �K����������� ���M����� ��K �������M �L�� ��� ��K�LK� K��� �����LK� ������K� ��� ���& ��� �������V���a!�XZKK��� ��� ��� ���� ����������c% A���K� �K��������V�����M���� �K���������K������& �L����� Q��� ��������� �Td���������� ���a!�X`�KK �� ��� � ���� Q��� ���M����L��� �� ���� ��� ,��������� �M�������P �� ���� ��L��� ���KL7 ���� �K O�� �� ���� ����T>S<We4WT>�� T>S<W e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>� ����L�����L��� �M������ �� � ��M�L������ ���L��� ���� Q�� ���P��������V � ����P ���T>� �S<�!j�� �̀ ���Å����������������\����P ���e4��e�f$��e5g$����& ���!����Å��hiW����Å��T>W�����Å �@�V K�����L& ��� ��e�f$��e5g$�NL���LN������ ��O���R��K �������M �K��R�������� � �0������������ �� ���� �����N��Q& �L������� �� �M����K��N��N�� ���� ����c%�����O�& � ��!�K ������������ �'�����K�R���� �� ��R � Q& ������� �M�������L���N��Q�L����� QK���� �� ���� & ��� �������� ���� ��K�����K��������P���� � 0����� QK���� �K� ���� ��L�������� ���� �������& ��� �� �������M� �� KK��� O����M�F1I �"N��Q�L�� �K O�� K � ���� ��K ������� �� �M����K O�� �� �N��N�� ����� ���K������������������� ����c%�����O�& � ��O��� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ����R��K ����� ��N��M���L�� ���� �����LN ��& � �M��� �� � ��M�L������ ���L�S4T9�����������P�� �����V � �F� �O�������L���K���P �� ���� ���� �& ���MQ���� �M��� ���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g k WT> �e5g;WhiWT>�� ����L������� � �M��������������M �� �� � ��M�������� ����P �������� �e5��e5f;� e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å %��������L������V� ����L�������K O�� �� ��& �� ��T>S<We5g$WT>�� ����L�������� ��������K�& �N��N�� �����������������O�� ��!�K � 0�����R��K ����� �� ���� ���� Q ����� ��� �M K�Q����� ���L�� �K����K�!���K K� � ��N ������K K K�����K�R���� �� ��R � �������� � �0�� Q��� ���M QK���� ��F1I� �lWm&���� ��� �� �� Q� ����L� ��������� �M��L�����N��M����n��� � �R� ���� ��& ��M���� � � �� QK���� �������K�������L����K��N��& N�� �����O�� ��!�O��� F� ������ �� �� �����L� ��Q��M���L� QK���� � ����M�� �������� ���� ���K O�� �� ���� & ���� �:&S4T9���R��K ������L�����������L������ ��& �������� ����������K��N��N�� ����� ��K���� ���K& ������������������� ����c%�����O�� ��!�O��� �,Q��� & ������L������L��� �����O�������M���������� ���& � ���K O�� �� ���� ����� �R��K ������L�� T>S<� ��� � O�� ��� �� ������������� �����L������ ��� "�V ��� ��o���c%���� QK��������� O �L�ρ �"��� � ���K��N��N�� ���� ��o���c%������������� ������ & O �����ρ� ���� ��L������ ������N�R���LK�����K��� ���������� � ����� O�� ������� ������������������& K�� � ��K��R�L����� �e4f;� �e5g;�����������������& � ����� �����K���Q������ Q������������� ������ K����� Q�� �� ��NM� ���� ��������� ���L� ��� ��& �� ��L�������S4T9 "�V ��� ��o���c%�����U��������K���L������ ��& �� ��L������ ��� �0� ����K����N��Q������N�R���LK ����K �e4f;� �e5g;���N������������� ��� ���������& � ��K���� O�� �������V�� ����������V���P���� ������� ��� �K�K����� Q�� ��O����������V������ QK���� �K ���� ���� � � Q�L�<� �����L�� ����& ��� ���L�����K��N��N�� ���� ��o����c%� ���� ��L� ���� ������N�R���LK �����K �e4f;� �e5g; �" �Q�& ���M��O������ ��� � � Q�L������VV���L�� ���� ��L� ���� ����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������ ���K��N��N�� ����� �Q���������LK���WZ��K b� ���Q��M���L������������� V�������������� �� ���M�&�K����LK ����� ��� �� �K �� �����G������� ����������K��N��N�� �� � O����F1I�� ����G���� ���K O�� K � ���� ��K �����������T>We4WT>S<W S4T9&���� ������� ���������V ���� ��o����c%�� ��O�� ��!�O������ ����������� �� � �F �����O���� ��Q��M������� ����� � ���� ����F1I������ ���f&�N& ��Q�L���O���� �F����V�����K��F1I�� �����G������ K����� Q�� ����� ��O��P���N�R���L����� �e4f;� � e5g;������������f&�N��Q�L��� ���� ���Q��O ���M��K �K��MU�� ��� ����� ���Q�������KL���K�P�� ��!W��F F����������� �����L���Q��M���L� QK���� ���L& ���L�N��M����n��� � �R� ����� ����M���� � ���L������ ����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9� T>We5g;WS4T9� �T>WhiWe5g;WS4T9���� ������ ���K��N��N�� �������V������� �� �F �����O���N��M& ���L���������������Q��M��������K��N��N�� ������& �������������� �������KL������ ��� �"��� ��N��M�& �L� n��� �� �R��K ������L�� �K��R�LK � ����K e5f;� �e5g;��� �QL�������N��������K����� K ��O�K ���� �L�T>We5WS4T9��O�������� ���������������� ������LK �����������"V�&��� ����������� ���� �& � ������O���LK ��� ���� ����T>We5g;WS4T9� e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[ 0� ������L������N� �������L����Q�������������M Q� ��O�� �����������O����L�� ������N �M���� � ��& � �L���Q�����$K�����WS4T9$� ������� � ����� � �& ���MQ���� ������N�L�� ���� ��L������ ����������& Q��� �����K����N �M�L���� N�������N��M���K�n��& � �+�N�����K������� ��� ���������� ��K���� O��& �������V�� ����N��M���L������ ��������� ����& P�����������V ���� ��o���c%� �������� ��� � K����� Q�� ������LQL���������� �����P��������� �� ����� �����K������N��M����n��� qqq �� K��N��Q�K�� � ��� �Q�� ���U � ��������� �� K�� ������L���K O�� �� ���� �L�T>We�f;#e5g$)W T>S<WS4T9� � �L���K���P �� ���� �L� T>W e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N �M�����N����M��� ���K& ����������������c%�N�Q� QK���� ����� �� O�� ����& ��K����� ��N� ���! =��!"������'��� %!�� ��ρ��� #��� $���������%���:�-1+> ρ,����� 2 ���� �� ��� �� ������ ��� �- � � 500°� 550°� 600°� Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3 Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5 ��N� ���� �&��������"����ϕ � � �������� ���!"���� �:�� ���&$ ���8��8�� ��� � '��!��������������� ��� �- ��� 500º� 550º� 600º� ������������� � ����� � ��, �� n ��, �� n ��, �� n ��, �� n Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45 Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37 Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30 Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30 ?��T ��j ��� � X��� X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g F1I�� ���� G����� �� �K O�� K � ���� ��K � T>We4W T>S<WS4T97 AW�������K��N��N�� \�BW����������K��N��N�� ��� ��o���c% �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(, ! �1���� �� ��� ����K ����� ���� ����0������ �+ �1����& �� ���* �* ��K��� W�' 7�' ���!pjj � �n���' �%����K���L���� N��L���������������� ��� ��& � � W�' 7�' ���!pp! ` �G��M�N�� �B �1 �"K O�� �� ���� ��K�����W����������& � �1`F� �'�������Q��� �� �������������/�0 W!pp� W�� ��j� ��!� W�% �!�j!W!�pj � �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q���� ���K O�� � �� ��& �� ��������������������L��� ���� ����� ��� �����n��� ��� �������S4T9� �S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W ��� � �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i| ]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9��� e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j� � �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t 84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9 }~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W s � ��`�W��`Z Z � '�VR�Q�L�� �Q� K������� �� � K���� QKL� �� ����� � � ���� ������K�����W��s� �K�����WS4T9���0������ �@ �F �(��� �& ���� �G �% �(����O�� ��� W�( ��7�,,"�,/0�+1+*��!pp� j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d ]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id ]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9 8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9 ~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9��� ����������� ����������� ��������� ������ ������������ ���������� �� � ���� ���� ��� ������� �� ������� �������� ���� ������� � ��������� ������� ���� ��� � ������� ������� ������ �� � �� ����� ���� ��!� � �� ����� �������" �� ������ ��� � �������� � ! ���� ������ ��� ������ � �� ������� ������# $�� ������ �� � ���� �� ��� ����� ��� ������ � �� � � ���� �� � �� ���� �������� �� ! ���� � �������� �� ���� ��"!���� ��% ��� ����������# & � ��� �� ����� � ������� � ��� ' �� ������ �� � ��� � ����� ���������� ����� � ����� ����������� � ! ��� � ������������� ������� ��� � � �������� �������� ��� ��� ���� � � ������ � ����� � ��� � ������ # (����� �������� ���������� � � ���� ������� ��������# )� ! ��� �� � ����� � ���� �� ��� ��� � ���� ���� ������ �� ������ �� ���� �� ������� �� ���� � � ������ ���� ���� � ������ ��� *� ���� �� ���� � ���������� � �������� ���� ���� ���������� � �������� ��� ��� ������ � ���������# &���� �� �������� ����� +$��� �� ��� �������� � �� ������� + ,# -# , �������� ���� ���� ���� �� ���� ��� ������������ ��* � �� � ������� ���� � ���� ���� ������� ��������� �������� ���������� �������� � �� ����� ����� ���� ����� ������������� .$) � ����� �� ��� �������� �� ��������� �� ���� ���������� ������ � � ,# -# , �������# ������������� �� ����� �� ���������#' /� �0 1& 23 ��4� 5665#' 789 �# :���# 5;� ���# ;;<� ����# ;<8 ����# ��� ���� �������� � ������� �� ��������� ����� ������� � �������� ����� ���# , ���� �� ������ �� ���� * �� ������ � ����* ��� � ������� ����� � ������ ���� ������� � ! ��� � ��������� ���� � ����� ����� ��� ����� � � ������ ������ � ����� � ��� ������ � ����� � ������ �������� � ������ ����� � �� ���� ������# &��� � �� �������� �� ������ ����� � � � �� ��� ���� �� ������ ��� � ������� ������ ����� � � � ������������� � ��� ���� ���"� ��������� ��*�� � �� ��������� ������ ��� ! � �� � ��� �����* ��� ����� ��� ����� � �� ���� � �� � �� �� ����� # , � � ������ �� ���� ���� ������ � ���� ����� �� �� ����* �� ��� ����� � �� ���������" ���������� ����� � �# =������� � ����� ���� �������� �� ������� ������ �� ������ ' +�� ���� ��� ��� � ����! ��" � � �������� ���� � �������� � ����������� + ' ������� � �������� �� ��� � � ��� ����������� ��� � ���* ���� ������������# >����� ��������� �����0 ���� � ���� �� � �������� ���� � ����� ������ ����������� �� ���� � ������� ������� �� ����� � �� ����"��� � �������� ��� ��� � �� ����� ��� ��� ������ � �� � ���� � ������ �� �� ��������� � � ����� �� �� ��� ����� �� ���� � ���� ����� � � � ��� ���� # )� �� � ��� ����� ��� ��� ������ � ������� �� ������ ������" ����� � ����� ������� �� �� ����� �� � �� � ������� ��� ����� � � ��# /���� ,# -# , �������� ���� ��� � ���� �� ������� �� � ������� ��������� ��� �� ��� ��� ! �� ���� � � � � �����* ��� � ������� �� ��� �������� ����������� � �� � ������ � �� � � ������ ����� � � �� � ���� �� ����� �� �� � ��� ?7,<� ��� � �� � ��* � � ������� � � � �� ����� � �� �������������� ��� ������# /���� � ����� ������ ��� �� ��! ����"!�� ����� � ����� ��� ��� �����# @ �� �� � ��� � �� ������� � ����� � ��� �� ������ ���� � ����� ����� ��� � �������� ��� ��� ����� ������# 1�*�� � ��� ������� �� ���� ����� �������� �� �� � ��� ����� � � ��� �� �� ���� ����� � ���� ��� � �� ���� � ��" � ����� ��������# /���� ,# -# , �������� �� � � ����� ��*�� ��� �����*� ��� �� � ��� ���� ������� �� ������ ���� �� ������ � �� � � ��� ��� ��� ��* � ��� �� �������� � ������ ������� ��� � ���� ���� �� ������ �� ���������� ���� � ������� ������ ��� � �� ��������� �� � ���* ���� ����� ���������� � ��* � ���� ����� �����"� � �������� ��"� � �������� �� ���� ��������� ��� ���� � ��� ��� �����"� �� � � � � ��� ����������� � �� ����# ����������������� ���� �� A(:>> +/� ����� ����� ��� � ���� ��������+� �# /� �B