Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2001
Автори: Головяшкин, А.Н., Лежнев, Д.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70840
record_format dspace
spelling irk-123456789-708402014-11-16T03:01:46Z Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Технология производства Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. 2001 Article Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технология производства
Технология производства
spellingShingle Технология производства
Технология производства
Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
format Article
author Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
author_facet Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В.
author_sort Головяшкин, А.Н.
title Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_short Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_full Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_fullStr Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_full_unstemmed Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
title_sort получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2001
topic_facet Технология производства
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840
citation_txt Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT golovâškinan polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume
AT ležnevdv polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume
first_indexed 2025-07-05T19:59:18Z
last_indexed 2025-07-05T19:59:18Z
_version_ 1836838350812610560
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2 42 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Ïðèâåäåíû òåõíîëîãè÷åñêèå ðåæèìû ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê, îïèñàíèå òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ è îñíàñ- òêè äëÿ àâòîìàòèçàöèè ïðîöåññà âà- êóóìíîãî íàïûëåíèÿ.  íàñòîÿùåå âðåìÿ âñå âàêóóìíûå ìåòîäû ïîëó- ÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ãðóïïèðóþòñÿ â ÷åòûðå îñ- íîâíûõ êëàññà: òåðìîâàêóóìíûå, èìïóëüñíûå, èîí- íîãî ðàñïûëåíèÿ è èîííîãî îñàæäåíèÿ. Êàæäûé êëàññ âàêóóìíûõ ìåòîäîâ èìååò ñâîè ïðåèìóùåñòâà è íåäîñòàòêè, à òàêæå äîñòàòî÷íî áîëüøîå ÷èñëî âîçìîæíûõ ñïîñîáîâ ðåàëèçàöèè. Ïîýòîìó âûáîð îïòèìàëüíîãî ìåòîäà âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ â ïîë- íîé ìåðå îïðåäåëÿåòñÿ òîëüêî âñåé ñîâîêóïíîñòüþ òðåáîâàíèé òåõíè÷åñêîãî çàäàíèÿ.  äàííîé ðàáîòå îñíîâíûìè òðåáîâàíèÿìè ÿâëÿëèñü: � îáåñïå÷åíèå âûñîêîé ÷èñòîòû ïðîöåññà íàïû- ëåíèÿ ïëåíîê ìåòàëëè÷åñêèõ ñïëàâîâ â óñëîâèÿõ ñâåðõâûñîêîãî âàêóóìà; � âûñîêàÿ ñòåïåíü âîñïðîèçâåäåíèÿ ñòåõèîìåò- ðè÷åñêîãî ñîñòàâà è îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê ïîëó- ÷àåìûõ ïëåíîê; � êà÷åñòâåííàÿ àäãåçèÿ ê äèýëåêòðè÷åñêèì ïîä- ëîæêàì; � ïðîñòîå àïïàðàòíîå èñïîëíåíèå íà áàçå ñåðèé- íûõ âàêóóìíûõ óñòàíîâîê.  êà÷åñòâå äîïîëíèòåëüíûõ òðåáîâàíèé ñòàâè- ëàñü çàäà÷à ðàçðàáîòêè ñõåìû ðàáî÷åé êàìåðû âàêó- óìíîé óñòàíîâêè äëÿ àâòîìàòèçàöèè òåõíîëîãè÷åñ- êîãî ïðîöåññà íàïûëåíèÿ. Êàê ïîêàçàë àíàëèç, íàèáîëåå ïîëíî ïîñòàâëåí- íûì òðåáîâàíèÿì óäîâëåòâîðÿåò ýëåêòðè÷åñêèé âçðûâ â âàêóóìå, êîòîðûé îòíîñèòñÿ ê èìïóëüñíûì ìåòîäàì íàïûëåíèÿ. Èñïàðåíèå ìàòåðèàëà ýëåêòðè÷åñêèì âçðûâîì ïðîèñõîäèò â ðåçóëüòàòå èíòåíñèâíîãî âûäåëåíèÿ òåïëîòû ïðè ïðîõîæäåíèè òîêà âûñîêîé ïëîòíîñòè ÷åðåç îáðàçåö (ðèñ. 1). Ïîýòîìó äàííûì ìåòîäîì íåëüçÿ ðàñïûëÿòü äèýëåêòðè÷åñêèå ìàòåðèàëû, à âçðû- âàåìûé îáðàçåö íå äîëæåí áûòü èçëèøíå ìàññèâ- íûì. Íà ïðàêòèêå ïðèìåíÿþòñÿ îáðàçöû â âèäå ôîëüãè, ïðîâîëîêè è ïðîâîäÿùèõ ïëåíîê, íàíåñåí- íûõ íà äèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæêè. Õàðàêòåðíàÿ òîëùèíà (èëè äèàìåòð) îáðàçöîâ ñîñòàâëÿåò 0,01� 0,1 ìì. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ èíòåíñèâíîñòè îáúåìíîãî èñòî÷íèêà òåïëà íà óðîâíå ≈1012 Âò/ã ïðèìåíÿþò ðàçðÿä âûñîêîâîëüòíîé ìàëîèíäóêòèâíîé êîíäåíñà- òîðíîé áàòàðåè. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ âîñïðîèçâîäèìûõ õàðàêòåðèñòèê òîíêèõ ïëåíîê íåîáõîäèìî ïðîâîäèòü ïðîöåññ â ðå- æèìå áûñòðîãî âçðûâà (çà âðåìÿ 10�8�10�7 ñ). Ìå- òîä õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé ñêîðîñòüþ ðîñòà ïëåíêè (107�108) íì/ñ, èñêëþ÷èòåëüíîé ÷èñòîòîé ïîëó÷à- åìûõ ïëåíîê è áîëüøîé ýíåðãèåé êîíäåíñèðóþùåé- ñÿ ïëàçìû. Ïîñëåäíåå ìîæåò ïðèâîäèòü ê çíà÷è- òåëüíîìó ðàçîãðåâó ïîäëîæêè âïëîòü äî ðåèñïàðå- íèÿ êîíäåíñàòà. ×èñòîòà òîíêèõ ïëåíîê â äàííîì ìåòîäå îáåñïå- ÷èâàåòñÿ äâóìÿ îáñòîÿòåëüñòâàìè: � âîçìîæíîñòüþ ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà â óñëî- âèÿõ ñâåðõâûñîêîãî âàêóóìà; � èñêëþ÷åíèåì ðàçîãðåâà ìàòåðèàëîâ ýëåìåí- òîâ êîíñòðóêöèé ñ îäíîâðåìåííûì îáåñïå÷åíèåì èí- òåíñèâíîãî íàãðåâà òîëüêî ìàòåðèàëà îáðàçöà. Èìïóëüñíûå ìåòîäû õàðàêòåðèçóþòñÿ êîðîòêèì âðåìåíåì èñïàðåíèÿ è âûñîêîé èíòåíñèâíîñòüþ ïîãëîùåíèÿ òåïëîâîé ýíåðãèè âåùåñòâîì (1011� 1013 Âò/ã), â ðåçóëüòàòå ÷åãî âîçìîæíî ïîëó÷åíèå ïëåíîê òîëùèíîé îò 10�2 äî 1 ìêì îäíîêðàòíûì èìïóëüñíûì èñïàðåíèåì. Ê. ò. í. À. Í. ÃÎËÎÂߨÊÈÍ, Ä. Â. ËÅÆÍÅ Ðîññèÿ, Ïåíçåíñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò E-mail: micro@diamond.stup.ac.ru ÏÎËÓ×ÅÍÈÅ ÒÎÍÊÈÕ ÏËÅÍÎÊ ÌÅÄÍÎ-ÖÈÍÊÎÂÛÕ ÑÏËÀÂΠÌÅÒÎÄÎÌ ÝËÅÊÒÐÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÂÇÐÛÂÀ  ÂÀÊÓÓÌÅ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 25.10 2000 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. À. È. ÂÎÐÎÆÁÈÒΠÈÏ V ÐÓ 10 9 8 7 6 1 2 3 4 5 Ê âàêóóìíîé ñèñòåìå îòêà÷êè Ðèñ. 1. Òåõíè÷åñêàÿ ðåàëèçàöèÿ ìåòîäà ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà: 1 � èñòî÷íèê ïèòàíèÿ; 2 � âîëüòìåòð; 3 � êëþ÷ óïðàâëåíèÿ çàðÿäêîé êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåè; 4 � êîíäåíñàòîðíàÿ áàòà- ðåÿ; 5 � ðàçðÿäíîå óñòðîéñòâî; 6 � ýëåêòðîäû èñïàðèòåëÿ; 7 � èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë; 8 � èçîëÿòîðíûå ïîäëîæêîäåðæàòåëè; 9 � ïîäëîæêà; 10 � ðàáî÷àÿ êàìåðà Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2 43 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Óêàçàííûå âûøå îñîáåííîñòè ïîçâîëÿþò ñ îäè- íàêîâûì óñïåõîì ïîëó÷àòü òîíêèå ïëåíêè êàê ïðî- ñòûõ, òàê è ñëîæíûõ âåùåñòâ. Ðàçëè÷íûå ñïîñîáû ðåàëèçàöèè èìïóëüñíûõ ìåòîäîâ ïîçâîëÿþò èñïà- ðÿòü ëþáûå âåùåñòâà âíå çàâèñèìîñòè îò èõ òåìïå- ðàòóðû êèïåíèÿ, ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ è ëåòó- ÷åñòè êîìïîíåíòîâ. Ïîñêîëüêó èñïàðåíèå âñåõ êîì- ïîíåíòîâ âåùåñòâà â ìîìåíò ýëåêòðè÷åñêîãî âçðû- âà ïðîèñõîäèò îäíîâðåìåííî, òî õèìè÷åñêèé ñîñòàâ èñõîäíîé òâåðäîé, à çàòåì ãàçîâîé è êîíäåíñèðîâàí- íîé ôàç èäåíòè÷åí. Ïîýòîìó ìàêðî- è ìèêðîñòðóê- òóðà ïîëó÷àåìûõ ïëåíîê ìàëî çàâèñÿò îò èñõîäíîé ôàçû è óñëîâèé îñàæäåíèÿ. Õàðàêòåð ðàñïðåäåëå- íèÿ òîíêèõ ïëåíîê ïî òîëùèíå çàâèñèò îò ãåîìåòðè- ÷åñêèõ îñîáåííîñòåé èñïàðÿåìîãî îáðàçöà èëè èñïà- ðèòåëÿ. Ïîëó÷åíèå çàäàííîé òîëùèíû ïëåíêè äîñòè- ãàåòñÿ êîíòðîëåì ìàññû èñõîäíîãî èñïàðÿåìîãî îá- ðàçöà. Ìåòîä ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà ðåàëèçîâàí íà áàçå âàêóóìíîé óñòàíîâêè ÓÂÍ-71-Ï-3.  êà÷åñòâå èñ- òî÷íèêà ïèòàíèÿ èñïîëüçîâàí áëîê èîííîé î÷èñòêè, êîòîðûé ïðè ïîäêëþ÷åíèè ê êîíäåíñàòîðíîé áàòà- ðåå ðàáîòàåò â ðåæèìå èñòî÷íèêà íàïðÿæåíèÿ. Åãî ìàêñèìàëüíîå íàïðÿæåíèå äîñòèãàåò 3 êÂ. Êîíäåíñàòîðíàÿ áàòàðåÿ Ñ1 (ðèñ. 2) ïðè çàìû- êàíèè êëþ÷à K2 ïîäêëþ÷àåòñÿ ê èñòî÷íèêó ïèòàíèÿ E1. Íàïðÿæåíèå çàðÿäêè íà êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåå êîíòðîëèðóåòñÿ ìèëëèàìïåðìåòðîì, êîòîðûé âêëþ- ÷åí ïîñëåäîâàòåëüíî ñ íàãðóçî÷íûì ñîïðîòèâëåíè- åì R2. Ïðè äîñòèæåíèè çàäàííîãî íàïðÿæåíèÿ çà- ðÿäêè íà êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåå êëþ÷ K2 ðàçìû- êàåòñÿ è ìèëëèàìïåðìåòð îòñåêàåòñÿ îò êîíäåíñà- òîðíîé áàòàðåè. Çàòåì, ïðè çàìûêàíèè êíîïêè K3, ðàçðÿä ÷åðåç óïðàâëÿþùèé òèðèñòîð VD5 ïîäàåòñÿ íà èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë R3. Áëîê óïðàâëåíèÿ òèðè- ñòîðîì ñîñòîèò èç Òð1, âûïðÿìëÿþùåãî äèîäíîãî ìîñòà VD1�VD4 è êíîïêè K3. Ïðè èñïàðåíèè ìàòåðèàëà (èñ÷åçíîâåíèè R3) èíîãäà ïðîèñõîäèò íåïîëíàÿ ðàçðÿäêà êîíäåíñàòîð- íîé áàòàðåè, è íàïðÿæåíèå, îñòàþùååñÿ íà íåé, äîñòè- ãàåò âåëè÷èíû 100�250 Â. Äëÿ áåçîïàñíîñòè íóæ- íî åå ðàçðÿäèòü. Äëÿ ýòîãî ïðåäíàçíà÷åíà öåïü, êî- òîðàÿ ñîñòîèò èç ðåçèñòîðà R1 è êëþ÷à K1. Ïðè çàìûêàíèè êëþ÷à Ê1 êîíäåíñàòîðíàÿ áàòàðåÿ Ñ1 ðàçðÿæàåòñÿ ÷åðåç R1 íà "çåìëþ". Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ õèìè÷åñêîãî ñîñòàâà èñõîäíîãî ìåäíî-öèíêîâîãî ñïëàâà è ïîëó÷åííûõ ïëåíîê ìåòîäîì ðåíòãåíîôëóîðåñöåíòíîãî àíàëèçà íà óñòàíîâêå VRA-20R ïîêàçàëè èõ ïðàêòè÷åñêè ïîëíîå ñîâïàäåíèå (ñ òî÷íîñòüþ äî 0,5%). Àíàëî- ãè÷íûå ïëåíêè, ïîëó÷åííûå òåðìîâàêóóìíûì èñïà- ðåíèåì, èìåþò îòêëîíåíèÿ îò çàäàííîãî ñòåõèîìåò- ðè÷åñêîãî ñîñòàâà â ïðåäåëàõ 10�15%. Êðîìå òîãî, íà ðåíòãåíîãðàììàõ ïîÿâëÿþòñÿ ïèêè îòðàæåíèÿ, ñâÿçàííûå ñ íàëè÷èåì çàãðÿçíåíèé îò èñïàðèòåëÿ è îñòàòî÷íîé àòìîñôåðû. (Ïðè íàïûëåíèè ïëåíîê ìå- òîäîì ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà âëèÿíèå îñòàòî÷íîé àò- ìîñôåðû â âàêóóìíîé êàìåðå óìåíüøàåòñÿ áëàãîäàðÿ ìàëîìó èíòåðâàëó âðåìåíè îñàæäåíèÿ ìàòåðèàëà.) Ñõåìà ðàçðàáîòàííîãî âàðèàíòà àâòîìàòèçèðîâàí- íîé óñòàíîâêè ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 3. ~220 VD1�VD4 Òð1 R1 K1 K2 R2 E1 mA R3 C1 K3 VD5 Ðèñ. 2. Ñõåìà ýëåêòðè÷åñêàÿ ïðèíöèïèàëüíàÿ ðàçðÿä- íîãî óñòðîéñòâà Ê âàêóóìíîé ñèñòåìå 1 2 3 4 5 6 7 8 â) Ðèñ. 3. Ñõåìà ïîäêîëïà÷íîãî óñòðîéñòâà àâòîìàòèçèðî- âàííîé âàêóóìíîé óñòàíîâêè äëÿ ðåàëèçàöèè ìåòîäà ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà: à � îáùèé âèä; á � âèä ñâåðõó; â � âèä ñáîêó; 1 � êîëïàê ðàáî÷åé êàìåðû; 2 � êàðóñåëü; 3 � ïîäëîæêè; 4 � ïðèâîä êàðóñåëè; 5 � ïîäâèæíûå ýëåêòðîäû; 6 � ýëåêòðîäâè- ãàòåëè ïðèâîäà äâèæåíèÿ ýëåêòðîäîâ; 7 � ýëåêòðîäâèãàòåëü ïðèâîäà âîçâðàòíî-ïîñòóïàòåëüíîãî äâèæåíèÿ ýëåêòðîäà; 8 � ðóëîí èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà 8 5á) 7 6 5 8 à) Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2 44 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Ïðè àâòîìàòèçèðîâàííîì ðåøåíèè ýëåêòðîäû äîë- æíû áûòü ïîäâèæíû è îáëàäàòü çàæèìàþùèì äåé- ñòâèåì. Îíè ñîñòîÿò èç äâóõ ÷àñòåé. Íèæíèå è âåð- õíèå ÷àñòè ýëåêòðîäîâ äîëæíû äâèãàòüñÿ ââåðõ-âíèç. Ìåõàíè÷åñêèé ïðèâîä ýëåêòðîäîâ îñóùåñòâëÿåòñÿ îò ðåâåðñèâíîãî äâèãàòåëÿ, îáåñïå÷èâàþùåãî ýëåêò- ðîäàì âîçâðàòíî-ïîñòóïàòåëüíîå äâèæåíèå. Èñòî÷- íèê èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà èçãîòîâëÿåòñÿ â âèäå ðóëîíà è çàêðåïëÿåòñÿ íà îñè, êîòîðàÿ âðàùàåòñÿ ñ íåêîòîðûì ñîïðîòèâëåíèåì äëÿ íàòÿæåíèÿ èñïàðÿå- ìîãî ìàòåðèàëà. Íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåíû òàêòû ðàáî÷åãî öèêëà àâòîìàòèçèðîâàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëå- íèÿ ìåòîäîì ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà. Âî âðåìÿ ïåðâîãî òàêòà ïðîèñõîäèò èñïàðåíèå ìàòåðèàëà ìåæäó ïåðâûì è âòîðûì ýëåêòðîäàìè.  ïåðâîì ýëåêòðîäå ñî ñòîðîíû ðóëîíà ôîëüãè îñòà- åòñÿ çàæàò èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë. Íà âòîðîì òàêòå âòîðîé ýëåêòðîä ðàçäâèãàåòñÿ: âåðõíÿÿ ïîëîâèíà ïîäíèìàåòñÿ, íèæíÿÿ îïóñêàåòñÿ. Íà òðåòüåì òàêòå ýëåêòðîäû ìåíÿþòñÿ ìåñòàìè. Íà ÷åòâåðòîì òàêòå âòîðîé ýëåêòðîä çàæèìàåò èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë ìåæ- äó äâóìÿ ñâîèìè ÷àñòÿìè, ïðîèñõîäèò çàðÿäêà êîí- äåíñàòîðíîé áàòàðåè è âíîâü ïðîèñõîäèò ðàçðÿä ìåæ- äó ýëåêòðîäàìè � èñïàðåíèå ìàòåðèàëà. Óêàçàííûå òàêòû ñîñòàâëÿþò îäèí ðàáî÷èé öèêë àâòîìàòèçèðî- âàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ. Êîíñòðóêöèÿ ýëåêòðîäîâ äîëæíà îáåñïå÷èòü íà- äåæíûé çàõâàò ôîëüãè èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà. Êàê îäèí èç âàðèàíòîâ ìîæíî ïðåäëîæèòü êîíñòðóêöèþ âåðõíåé ÷àñòè â âèäå ïëàñòèíû ñ ðÿäîì èãë è íèæ- íåé ÷àñòè ðàçäâèæíîãî ýëåêòðîäà â âèäå ïëàñòèíû ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè ñêâîçíûìè îòâåðñòèÿìè. Îñíîâíûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðîöåññà íàïûëåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ìåäíî-öèíêîâûõ ñïëàâîâ: � ýôôåêòèâíîå âðåìÿ ðàçðÿäà 0,001 ñ; � ðàáî÷åå íàïðÿæåíèå êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåè 300�500 Â; � îñòàòî÷íîå íàïðÿæåíèå 30�120 Â; � óäåëüíàÿ ýíåðãèÿ ðàçðÿäà 800�1000 Äæ/ã; � óäåëüíàÿ ìîùíîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà 190�220 êÂò/ã. Àäãåçèîííûå ñâîéñòâà ïîëó÷åííûõ ïëåíîê èñ- ñëåäîâàíû ñ ïîìîùüþ èçìåðåíèé óñèëèé íà îòðûâ îò ïîäëîæêè. Ïðè ñðàâíåíèè ñ èçìåðåíèÿìè ïëåíîê, ïîëó÷åííûõ íà òîé æå âàêóóìíîé óñòàíîâêå ìåòî- äîì òåðìè÷åñêîãî èñïàðåíèÿ, óñòàíîâëåíî, ÷òî ñèëà ñöåïëåíèÿ ïëåíîê, ïîëó÷åííûõ ìåòîäîì ýëåêòðè÷åñ- êîãî âçðûâà, óâåëè÷èâàåòñÿ â ñðåäíåì íà 25�30% â çàâèñèìîñòè îò óãëà îòðûâà.  çàêëþ÷åíèå íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî îñíîâ- íûå ðåçóëüòàòû è ïðåäëîæåííûé ñïîñîá ðåàëèçàöèè äàííîé ðàáîòû ìîæíî èñïîëüçîâàòü äëÿ ïîëó÷åíèÿ íå òîëüêî òîíêèõ ïëåíîê ëàòóíè, íî è äðóãèõ ìåòàë- ëè÷åñêèõ ñïëàâîâ. Ðèñ. 4. Òàêòû (1�4) ðàáî÷åãî öèêëà àâòîìàòèçèðîâàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ ìåòîäîì �ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà�: 1, 2 � ðàçäâèæíûå ïîäâèæíûå ýëåêòðîäû 1 2 1 2 2 1 2 1 1 2 3 4