Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...
Збережено в:
Дата: | 2001 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-70840 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-708402014-11-16T03:01:46Z Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Технология производства Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. 2001 Article Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Технология производства Технология производства |
spellingShingle |
Технология производства Технология производства Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. |
format |
Article |
author |
Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
author_facet |
Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
author_sort |
Головяшкин, А.Н. |
title |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
title_short |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
title_full |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
title_fullStr |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
title_full_unstemmed |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
title_sort |
получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2001 |
topic_facet |
Технология производства |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 |
citation_txt |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT golovâškinan polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume AT ležnevdv polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume |
first_indexed |
2025-07-05T19:59:18Z |
last_indexed |
2025-07-05T19:59:18Z |
_version_ |
1836838350812610560 |
fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
42
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Ïðèâåäåíû òåõíîëîãè÷åñêèå ðåæèìû
ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê, îïèñàíèå
òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ è îñíàñ-
òêè äëÿ àâòîìàòèçàöèè ïðîöåññà âà-
êóóìíîãî íàïûëåíèÿ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ âñå âàêóóìíûå ìåòîäû ïîëó-
÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ãðóïïèðóþòñÿ â ÷åòûðå îñ-
íîâíûõ êëàññà: òåðìîâàêóóìíûå, èìïóëüñíûå, èîí-
íîãî ðàñïûëåíèÿ è èîííîãî îñàæäåíèÿ. Êàæäûé
êëàññ âàêóóìíûõ ìåòîäîâ èìååò ñâîè ïðåèìóùåñòâà
è íåäîñòàòêè, à òàêæå äîñòàòî÷íî áîëüøîå ÷èñëî
âîçìîæíûõ ñïîñîáîâ ðåàëèçàöèè. Ïîýòîìó âûáîð
îïòèìàëüíîãî ìåòîäà âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ â ïîë-
íîé ìåðå îïðåäåëÿåòñÿ òîëüêî âñåé ñîâîêóïíîñòüþ
òðåáîâàíèé òåõíè÷åñêîãî çàäàíèÿ.  äàííîé ðàáîòå
îñíîâíûìè òðåáîâàíèÿìè ÿâëÿëèñü:
� îáåñïå÷åíèå âûñîêîé ÷èñòîòû ïðîöåññà íàïû-
ëåíèÿ ïëåíîê ìåòàëëè÷åñêèõ ñïëàâîâ â óñëîâèÿõ
ñâåðõâûñîêîãî âàêóóìà;
� âûñîêàÿ ñòåïåíü âîñïðîèçâåäåíèÿ ñòåõèîìåò-
ðè÷åñêîãî ñîñòàâà è îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê ïîëó-
÷àåìûõ ïëåíîê;
� êà÷åñòâåííàÿ àäãåçèÿ ê äèýëåêòðè÷åñêèì ïîä-
ëîæêàì;
� ïðîñòîå àïïàðàòíîå èñïîëíåíèå íà áàçå ñåðèé-
íûõ âàêóóìíûõ óñòàíîâîê.
 êà÷åñòâå äîïîëíèòåëüíûõ òðåáîâàíèé ñòàâè-
ëàñü çàäà÷à ðàçðàáîòêè ñõåìû ðàáî÷åé êàìåðû âàêó-
óìíîé óñòàíîâêè äëÿ àâòîìàòèçàöèè òåõíîëîãè÷åñ-
êîãî ïðîöåññà íàïûëåíèÿ.
Êàê ïîêàçàë àíàëèç, íàèáîëåå ïîëíî ïîñòàâëåí-
íûì òðåáîâàíèÿì óäîâëåòâîðÿåò ýëåêòðè÷åñêèé
âçðûâ â âàêóóìå, êîòîðûé îòíîñèòñÿ ê èìïóëüñíûì
ìåòîäàì íàïûëåíèÿ.
Èñïàðåíèå ìàòåðèàëà ýëåêòðè÷åñêèì âçðûâîì
ïðîèñõîäèò â ðåçóëüòàòå èíòåíñèâíîãî âûäåëåíèÿ
òåïëîòû ïðè ïðîõîæäåíèè òîêà âûñîêîé ïëîòíîñòè
÷åðåç îáðàçåö (ðèñ. 1). Ïîýòîìó äàííûì ìåòîäîì
íåëüçÿ ðàñïûëÿòü äèýëåêòðè÷åñêèå ìàòåðèàëû, à âçðû-
âàåìûé îáðàçåö íå äîëæåí áûòü èçëèøíå ìàññèâ-
íûì. Íà ïðàêòèêå ïðèìåíÿþòñÿ îáðàçöû â âèäå
ôîëüãè, ïðîâîëîêè è ïðîâîäÿùèõ ïëåíîê, íàíåñåí-
íûõ íà äèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæêè. Õàðàêòåðíàÿ
òîëùèíà (èëè äèàìåòð) îáðàçöîâ ñîñòàâëÿåò 0,01�
0,1 ìì. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ èíòåíñèâíîñòè îáúåìíîãî
èñòî÷íèêà òåïëà íà óðîâíå ≈1012 Âò/ã ïðèìåíÿþò
ðàçðÿä âûñîêîâîëüòíîé ìàëîèíäóêòèâíîé êîíäåíñà-
òîðíîé áàòàðåè.
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ âîñïðîèçâîäèìûõ õàðàêòåðèñòèê
òîíêèõ ïëåíîê íåîáõîäèìî ïðîâîäèòü ïðîöåññ â ðå-
æèìå áûñòðîãî âçðûâà (çà âðåìÿ 10�8�10�7 ñ). Ìå-
òîä õàðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé ñêîðîñòüþ ðîñòà ïëåíêè
(107�108) íì/ñ, èñêëþ÷èòåëüíîé ÷èñòîòîé ïîëó÷à-
åìûõ ïëåíîê è áîëüøîé ýíåðãèåé êîíäåíñèðóþùåé-
ñÿ ïëàçìû. Ïîñëåäíåå ìîæåò ïðèâîäèòü ê çíà÷è-
òåëüíîìó ðàçîãðåâó ïîäëîæêè âïëîòü äî ðåèñïàðå-
íèÿ êîíäåíñàòà.
×èñòîòà òîíêèõ ïëåíîê â äàííîì ìåòîäå îáåñïå-
÷èâàåòñÿ äâóìÿ îáñòîÿòåëüñòâàìè:
� âîçìîæíîñòüþ ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà â óñëî-
âèÿõ ñâåðõâûñîêîãî âàêóóìà;
� èñêëþ÷åíèåì ðàçîãðåâà ìàòåðèàëîâ ýëåìåí-
òîâ êîíñòðóêöèé ñ îäíîâðåìåííûì îáåñïå÷åíèåì èí-
òåíñèâíîãî íàãðåâà òîëüêî ìàòåðèàëà îáðàçöà.
Èìïóëüñíûå ìåòîäû õàðàêòåðèçóþòñÿ êîðîòêèì
âðåìåíåì èñïàðåíèÿ è âûñîêîé èíòåíñèâíîñòüþ
ïîãëîùåíèÿ òåïëîâîé ýíåðãèè âåùåñòâîì (1011�
1013 Âò/ã), â ðåçóëüòàòå ÷åãî âîçìîæíî ïîëó÷åíèå
ïëåíîê òîëùèíîé îò 10�2 äî 1 ìêì îäíîêðàòíûì
èìïóëüñíûì èñïàðåíèåì.
Ê. ò. í. À. Í. ÃÎËÎÂߨÊÈÍ, Ä. Â. ËÅÆÍÅÂ
Ðîññèÿ, Ïåíçåíñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò
E-mail: micro@diamond.stup.ac.ru
ÏÎËÓ×ÅÍÈÅ ÒÎÍÊÈÕ ÏËÅÍÎÊ
ÌÅÄÍÎ-ÖÈÍÊÎÂÛÕ ÑÏËÀÂÎÂ
ÌÅÒÎÄÎÌ ÝËÅÊÒÐÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÂÇÐÛÂÀ  ÂÀÊÓÓÌÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
25.10 2000 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. À. È. ÂÎÐÎÆÁÈÒÎÂ
ÈÏ
V
ÐÓ
10
9
8
7
6
1
2
3
4
5
Ê âàêóóìíîé ñèñòåìå îòêà÷êè
Ðèñ. 1. Òåõíè÷åñêàÿ ðåàëèçàöèÿ ìåòîäà ýëåêòðè÷åñêîãî
âçðûâà:
1 � èñòî÷íèê ïèòàíèÿ; 2 � âîëüòìåòð; 3 � êëþ÷ óïðàâëåíèÿ
çàðÿäêîé êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåè; 4 � êîíäåíñàòîðíàÿ áàòà-
ðåÿ; 5 � ðàçðÿäíîå óñòðîéñòâî; 6 � ýëåêòðîäû èñïàðèòåëÿ; 7 �
èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë; 8 � èçîëÿòîðíûå ïîäëîæêîäåðæàòåëè;
9 � ïîäëîæêà; 10 � ðàáî÷àÿ êàìåðà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
43
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Óêàçàííûå âûøå îñîáåííîñòè ïîçâîëÿþò ñ îäè-
íàêîâûì óñïåõîì ïîëó÷àòü òîíêèå ïëåíêè êàê ïðî-
ñòûõ, òàê è ñëîæíûõ âåùåñòâ. Ðàçëè÷íûå ñïîñîáû
ðåàëèçàöèè èìïóëüñíûõ ìåòîäîâ ïîçâîëÿþò èñïà-
ðÿòü ëþáûå âåùåñòâà âíå çàâèñèìîñòè îò èõ òåìïå-
ðàòóðû êèïåíèÿ, ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ è ëåòó-
÷åñòè êîìïîíåíòîâ. Ïîñêîëüêó èñïàðåíèå âñåõ êîì-
ïîíåíòîâ âåùåñòâà â ìîìåíò ýëåêòðè÷åñêîãî âçðû-
âà ïðîèñõîäèò îäíîâðåìåííî, òî õèìè÷åñêèé ñîñòàâ
èñõîäíîé òâåðäîé, à çàòåì ãàçîâîé è êîíäåíñèðîâàí-
íîé ôàç èäåíòè÷åí. Ïîýòîìó ìàêðî- è ìèêðîñòðóê-
òóðà ïîëó÷àåìûõ ïëåíîê ìàëî çàâèñÿò îò èñõîäíîé
ôàçû è óñëîâèé îñàæäåíèÿ. Õàðàêòåð ðàñïðåäåëå-
íèÿ òîíêèõ ïëåíîê ïî òîëùèíå çàâèñèò îò ãåîìåòðè-
÷åñêèõ îñîáåííîñòåé èñïàðÿåìîãî îáðàçöà èëè èñïà-
ðèòåëÿ. Ïîëó÷åíèå çàäàííîé òîëùèíû ïëåíêè äîñòè-
ãàåòñÿ êîíòðîëåì ìàññû èñõîäíîãî èñïàðÿåìîãî îá-
ðàçöà.
Ìåòîä ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà ðåàëèçîâàí íà áàçå
âàêóóìíîé óñòàíîâêè ÓÂÍ-71-Ï-3.  êà÷åñòâå èñ-
òî÷íèêà ïèòàíèÿ èñïîëüçîâàí áëîê èîííîé î÷èñòêè,
êîòîðûé ïðè ïîäêëþ÷åíèè ê êîíäåíñàòîðíîé áàòà-
ðåå ðàáîòàåò â ðåæèìå èñòî÷íèêà íàïðÿæåíèÿ. Åãî
ìàêñèìàëüíîå íàïðÿæåíèå äîñòèãàåò 3 êÂ.
Êîíäåíñàòîðíàÿ áàòàðåÿ Ñ1 (ðèñ. 2) ïðè çàìû-
êàíèè êëþ÷à K2 ïîäêëþ÷àåòñÿ ê èñòî÷íèêó ïèòàíèÿ
E1. Íàïðÿæåíèå çàðÿäêè íà êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåå
êîíòðîëèðóåòñÿ ìèëëèàìïåðìåòðîì, êîòîðûé âêëþ-
÷åí ïîñëåäîâàòåëüíî ñ íàãðóçî÷íûì ñîïðîòèâëåíè-
åì R2. Ïðè äîñòèæåíèè çàäàííîãî íàïðÿæåíèÿ çà-
ðÿäêè íà êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåå êëþ÷ K2 ðàçìû-
êàåòñÿ è ìèëëèàìïåðìåòð îòñåêàåòñÿ îò êîíäåíñà-
òîðíîé áàòàðåè. Çàòåì, ïðè çàìûêàíèè êíîïêè K3,
ðàçðÿä ÷åðåç óïðàâëÿþùèé òèðèñòîð VD5 ïîäàåòñÿ
íà èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë R3. Áëîê óïðàâëåíèÿ òèðè-
ñòîðîì ñîñòîèò èç Òð1, âûïðÿìëÿþùåãî äèîäíîãî
ìîñòà VD1�VD4 è êíîïêè K3.
Ïðè èñïàðåíèè ìàòåðèàëà (èñ÷åçíîâåíèè R3)
èíîãäà ïðîèñõîäèò íåïîëíàÿ ðàçðÿäêà êîíäåíñàòîð-
íîé áàòàðåè, è íàïðÿæåíèå, îñòàþùååñÿ íà íåé, äîñòè-
ãàåò âåëè÷èíû 100�250 Â. Äëÿ áåçîïàñíîñòè íóæ-
íî åå ðàçðÿäèòü. Äëÿ ýòîãî ïðåäíàçíà÷åíà öåïü, êî-
òîðàÿ ñîñòîèò èç ðåçèñòîðà R1 è êëþ÷à K1. Ïðè
çàìûêàíèè êëþ÷à Ê1 êîíäåíñàòîðíàÿ áàòàðåÿ Ñ1
ðàçðÿæàåòñÿ ÷åðåç R1 íà "çåìëþ".
Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ õèìè÷åñêîãî ñîñòàâà
èñõîäíîãî ìåäíî-öèíêîâîãî ñïëàâà è ïîëó÷åííûõ
ïëåíîê ìåòîäîì ðåíòãåíîôëóîðåñöåíòíîãî àíàëèçà
íà óñòàíîâêå VRA-20R ïîêàçàëè èõ ïðàêòè÷åñêè
ïîëíîå ñîâïàäåíèå (ñ òî÷íîñòüþ äî 0,5%). Àíàëî-
ãè÷íûå ïëåíêè, ïîëó÷åííûå òåðìîâàêóóìíûì èñïà-
ðåíèåì, èìåþò îòêëîíåíèÿ îò çàäàííîãî ñòåõèîìåò-
ðè÷åñêîãî ñîñòàâà â ïðåäåëàõ 10�15%. Êðîìå òîãî,
íà ðåíòãåíîãðàììàõ ïîÿâëÿþòñÿ ïèêè îòðàæåíèÿ,
ñâÿçàííûå ñ íàëè÷èåì çàãðÿçíåíèé îò èñïàðèòåëÿ è
îñòàòî÷íîé àòìîñôåðû. (Ïðè íàïûëåíèè ïëåíîê ìå-
òîäîì ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà âëèÿíèå îñòàòî÷íîé àò-
ìîñôåðû â âàêóóìíîé êàìåðå óìåíüøàåòñÿ áëàãîäàðÿ
ìàëîìó èíòåðâàëó âðåìåíè îñàæäåíèÿ ìàòåðèàëà.)
Ñõåìà ðàçðàáîòàííîãî âàðèàíòà àâòîìàòèçèðîâàí-
íîé óñòàíîâêè ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 3.
~220
VD1�VD4
Òð1
R1
K1
K2
R2
E1
mA
R3
C1
K3
VD5
Ðèñ. 2. Ñõåìà ýëåêòðè÷åñêàÿ ïðèíöèïèàëüíàÿ ðàçðÿä-
íîãî óñòðîéñòâà
Ê âàêóóìíîé ñèñòåìå
1
2
3
4
5
6
7
8
â)
Ðèñ. 3. Ñõåìà ïîäêîëïà÷íîãî óñòðîéñòâà àâòîìàòèçèðî-
âàííîé âàêóóìíîé óñòàíîâêè äëÿ ðåàëèçàöèè ìåòîäà
ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà:
à � îáùèé âèä; á � âèä ñâåðõó; â � âèä ñáîêó;
1 � êîëïàê ðàáî÷åé êàìåðû; 2 � êàðóñåëü; 3 � ïîäëîæêè; 4 �
ïðèâîä êàðóñåëè; 5 � ïîäâèæíûå ýëåêòðîäû; 6 � ýëåêòðîäâè-
ãàòåëè ïðèâîäà äâèæåíèÿ ýëåêòðîäîâ; 7 � ýëåêòðîäâèãàòåëü
ïðèâîäà âîçâðàòíî-ïîñòóïàòåëüíîãî äâèæåíèÿ ýëåêòðîäà;
8 � ðóëîí èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà
8 5á)
7 6
5 8
à)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
44
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Ïðè àâòîìàòèçèðîâàííîì ðåøåíèè ýëåêòðîäû äîë-
æíû áûòü ïîäâèæíû è îáëàäàòü çàæèìàþùèì äåé-
ñòâèåì. Îíè ñîñòîÿò èç äâóõ ÷àñòåé. Íèæíèå è âåð-
õíèå ÷àñòè ýëåêòðîäîâ äîëæíû äâèãàòüñÿ ââåðõ-âíèç.
Ìåõàíè÷åñêèé ïðèâîä ýëåêòðîäîâ îñóùåñòâëÿåòñÿ
îò ðåâåðñèâíîãî äâèãàòåëÿ, îáåñïå÷èâàþùåãî ýëåêò-
ðîäàì âîçâðàòíî-ïîñòóïàòåëüíîå äâèæåíèå. Èñòî÷-
íèê èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà èçãîòîâëÿåòñÿ â âèäå
ðóëîíà è çàêðåïëÿåòñÿ íà îñè, êîòîðàÿ âðàùàåòñÿ ñ
íåêîòîðûì ñîïðîòèâëåíèåì äëÿ íàòÿæåíèÿ èñïàðÿå-
ìîãî ìàòåðèàëà.
Íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåíû òàêòû ðàáî÷åãî öèêëà
àâòîìàòèçèðîâàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëå-
íèÿ ìåòîäîì ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà.
Âî âðåìÿ ïåðâîãî òàêòà ïðîèñõîäèò èñïàðåíèå
ìàòåðèàëà ìåæäó ïåðâûì è âòîðûì ýëåêòðîäàìè. Â
ïåðâîì ýëåêòðîäå ñî ñòîðîíû ðóëîíà ôîëüãè îñòà-
åòñÿ çàæàò èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë. Íà âòîðîì òàêòå
âòîðîé ýëåêòðîä ðàçäâèãàåòñÿ: âåðõíÿÿ ïîëîâèíà
ïîäíèìàåòñÿ, íèæíÿÿ îïóñêàåòñÿ. Íà òðåòüåì òàêòå
ýëåêòðîäû ìåíÿþòñÿ ìåñòàìè. Íà ÷åòâåðòîì òàêòå
âòîðîé ýëåêòðîä çàæèìàåò èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë ìåæ-
äó äâóìÿ ñâîèìè ÷àñòÿìè, ïðîèñõîäèò çàðÿäêà êîí-
äåíñàòîðíîé áàòàðåè è âíîâü ïðîèñõîäèò ðàçðÿä ìåæ-
äó ýëåêòðîäàìè � èñïàðåíèå ìàòåðèàëà. Óêàçàííûå
òàêòû ñîñòàâëÿþò îäèí ðàáî÷èé öèêë àâòîìàòèçèðî-
âàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ.
Êîíñòðóêöèÿ ýëåêòðîäîâ äîëæíà îáåñïå÷èòü íà-
äåæíûé çàõâàò ôîëüãè èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà. Êàê
îäèí èç âàðèàíòîâ ìîæíî ïðåäëîæèòü êîíñòðóêöèþ
âåðõíåé ÷àñòè â âèäå ïëàñòèíû ñ ðÿäîì èãë è íèæ-
íåé ÷àñòè ðàçäâèæíîãî ýëåêòðîäà â âèäå ïëàñòèíû ñ
ñîîòâåòñòâóþùèìè ñêâîçíûìè îòâåðñòèÿìè.
Îñíîâíûå òåõíîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðîöåññà
íàïûëåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê ìåäíî-öèíêîâûõ ñïëàâîâ:
� ýôôåêòèâíîå âðåìÿ ðàçðÿäà 0,001 ñ;
� ðàáî÷åå íàïðÿæåíèå êîíäåíñàòîðíîé áàòàðåè
300�500 Â;
� îñòàòî÷íîå íàïðÿæåíèå 30�120 Â;
� óäåëüíàÿ ýíåðãèÿ ðàçðÿäà 800�1000 Äæ/ã;
� óäåëüíàÿ ìîùíîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà
190�220 êÂò/ã.
Àäãåçèîííûå ñâîéñòâà ïîëó÷åííûõ ïëåíîê èñ-
ñëåäîâàíû ñ ïîìîùüþ èçìåðåíèé óñèëèé íà îòðûâ
îò ïîäëîæêè. Ïðè ñðàâíåíèè ñ èçìåðåíèÿìè ïëåíîê,
ïîëó÷åííûõ íà òîé æå âàêóóìíîé óñòàíîâêå ìåòî-
äîì òåðìè÷åñêîãî èñïàðåíèÿ, óñòàíîâëåíî, ÷òî ñèëà
ñöåïëåíèÿ ïëåíîê, ïîëó÷åííûõ ìåòîäîì ýëåêòðè÷åñ-
êîãî âçðûâà, óâåëè÷èâàåòñÿ â ñðåäíåì íà 25�30% â
çàâèñèìîñòè îò óãëà îòðûâà.
 çàêëþ÷åíèå íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî îñíîâ-
íûå ðåçóëüòàòû è ïðåäëîæåííûé ñïîñîá ðåàëèçàöèè
äàííîé ðàáîòû ìîæíî èñïîëüçîâàòü äëÿ ïîëó÷åíèÿ
íå òîëüêî òîíêèõ ïëåíîê ëàòóíè, íî è äðóãèõ ìåòàë-
ëè÷åñêèõ ñïëàâîâ.
Ðèñ. 4. Òàêòû (1�4) ðàáî÷åãî öèêëà àâòîìàòèçèðîâàííîé óñòàíîâêè âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ
ìåòîäîì �ýëåêòðè÷åñêîãî âçðûâà�:
1, 2 � ðàçäâèæíûå ïîäâèæíûå ýëåêòðîäû
1 2 1 2
2
1
2 1
1 2
3 4
|