Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме - Головяшкин, А.Н.; Лежнев, Д.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.