Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры - Орлов, В.Д.; Удовицкий, В.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Исследованы тонкие пленки органических полупроводников с макроциклической структурой фталоцианина и дигидродибензотетрааза[14]аннулена. Подтверждено, что при напылении в вакууме химическая структура молекул органических полупроводников сохраняется. Пленки имеют пористую мелкокристаллическую структуру. При определенных условиях напыления были получены высокоупорядоченные ориентированные пленки даже на аморфных неориентированных подложках. Пленки обладали полупроводниковой электропроводностью р-типа. Методом рентгеноструктурного анализа показано влияние химического модифицирования структуры на пространственное строение молекул.