Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности
Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические харак...
Gespeichert in:
| Datum: | 2001 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70895 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-708952014-11-16T03:01:58Z Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Сенсоэлектроника Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические характеристики. 2001 Article Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895 681.586.326 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника |
| spellingShingle |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические характеристики. |
| format |
Article |
| author |
Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. |
| author_facet |
Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. |
| author_sort |
Лепих, Я.И. |
| title |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности |
| title_short |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности |
| title_full |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности |
| title_fullStr |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности |
| title_full_unstemmed |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности |
| title_sort |
емкостный датчик давления для аэс и нефтехимической промышленности |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2001 |
| topic_facet |
Сенсоэлектроника |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895 |
| citation_txt |
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT lepihâi emkostnyjdatčikdavleniâdlâaésineftehimičeskojpromyšlennosti AT lopušenkovk emkostnyjdatčikdavleniâdlâaésineftehimičeskojpromyšlennosti |
| first_indexed |
2025-07-05T20:01:32Z |
| last_indexed |
2025-07-05T20:01:32Z |
| _version_ |
1836838491077476352 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6 47
ÑÅÍÑÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ê. ô.-ì. í. ß. È. ËÅÏÈÕ, ê. ò. í. Â. Ê. ËÎÏÓØÅÍÊÎ
Óêðàèíà, ã. Îäåññà, ÑÊÒÁ "Ýëåìåíò"; ã.Êèåâ, Ìåæîòðàñë.
ÍÈÈ ïðîáëåì ìåõàíèêè ïðè ÍÒÓÓ "ÊÏÈ"
E-mail: ndl_lepikh@gomail.com.ua
Íàìè ðàçðàáîòàí åìêîñòíûé äàò÷èê èçáûòî÷íî-
ãî äàâëåíèÿ (ÄÈ) äëÿ ñèñòåì êîíòðîëÿ òåõíîëîãè-
÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ÀÝÑ è ïðåäïðèÿòèé íåôòåõèìè-
÷åñêîé ïðîìûøëåííîñòè (cì. ôîòî íà ñ. 3 îáëîæêè)
ñ öåëüþ çàìåíû èìïîðòèðóåìûõ â Óêðàèíó äàò÷è-
êîâ òèïà �Ñàïôèð-22-ÀÑ�, ïåðâè÷íûé ïðåîáðàçîâà-
òåëü ó êîòîðûõ ïîñòðîåí íà ñòðóêòóðàõ "êðåìíèé-
íà-ñàïôèðå" (ÊÍÑ).
 îòëè÷èå îò øèðîêî ðàñïðîñòðàíåííûõ òåíçî-
ðåçèñòîðíûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé, åìêîñòíûå âûãîäíî
îòëè÷àþòñÿ âûñîêîé òåðìî- è âðåìåííîé ñòàáèëüíî-
ñòüþ ìåòðîëîãè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê, ïðîñòîòîé è
òåõíîëîãè÷íîñòüþ èçãîòîâëåíèÿ. Êðîìå òîãî, ó åì-
êîñòíûõ äàò÷èêîâ èçìåíåíèå âûõîäíîãî ñèãíàëà, ñî-
îòâåòñòâóþùåå âåðõíåìó ïðåäåëó èçìåðÿåìîãî äàâ-
ëåíèÿ, ìîæåò ïðåâûøàòü 100% îò íà÷àëüíîãî, à ó
òåíçîðåçèñòîðíûõ ýòî èçìåíåíèå íå ïðåâûøàåò 1%
è îãðàíè÷åíî ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòüþ òåíçîðåçèñ-
òîðíûõ ìàòåðèàëîâ.
Ðàçâèòèå åìêîñòíîãî ìåòîäà ïðåîáðàçîâàíèÿ ñäåð-
æèâàëîñü ñëîæíîñòüþ òî÷íîãî èçìåðåíèÿ ìàëûõ èç-
ìåðÿåìûõ åìêîñòåé íà ôîíå áîëüøèõ ïàðàçèòíûõ,
âëèÿíèåì êðàåâûõ ýôôåêòîâ è åìêîñòíûì õàðàêòå-
ðîì èìïåäàíñà ñîåäèíèòåëüíîãî êàáåëÿ. Îäíàêî â
ïîñëåäíåå âðåìÿ íàéäåí ðÿä ýôôåêòèâíûõ ðåøåíèé
ýòîé ïðîáëåìû [1].
Åìêîñòíûå äàò÷èêè ïîñòðîåíû íà ïðèíöèïå ïðÿ-
ìîãî èçìåðåíèÿ åìêîñòè ïëîñêîãî êîíäåíñàòîðà, âêëþ-
÷åííîãî â öåïü îáðàòíîé ñâÿçè îïåðàöèîííîãî óñè-
ëèòåëÿ. Èçìåðÿåìîå äàâëåíèå ÷åðåç ïðèåìíûé øòó-
öåð âîçäåéñòâóåò íà ìåìáðàíó, âûïîëíÿþùóþ ðîëü
óïðóãîãî ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà, âûçûâàÿ åå ïðî-
ãèá (ïåðåìåùåíèå åå æåñòêîãî öåíòðà), îáåñïå÷èâàÿ
ïðåîáðàçîâàíèå ëèíåéíîãî ïåðåìåùåíèÿ â èçìåíÿþ-
ùóþñÿ åìêîñòü.  êà÷åñòâå ìàòåðèàëà ìåìáðàíû èñ-
ïîëüçóåòñÿ ñïåöèàëüíàÿ ñòàëü, óñòîé÷èâàÿ ê õèìè-
÷åñêè àêòèâíûì ñðåäàì, à ïóòåì çàäàíèÿ åé îïðåäå-
ëåííûõ êîíñòðóêòèâíûõ ïàðàìåòðîâ (ïðåæäå âñåãî,
òîëùèíû äåôîðìèðóåìîé ÷àñòè ìåìáðàíû) îáåñïå-
÷èâàåòñÿ óíèôèêàöèÿ êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñ-
êèõ ðåøåíèé ïàðàìåòðè÷åñêîãî ðÿäà ÄÈ.
Êîíñòðóêòèâíûé óçåë ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà
è ýëåêòðîííûé áëîê èçãîòîâëåíû â åäèíîì êîðïóñå.
Ýëåêòðîííûé áëîê ÄÈ ñîäåðæèò ìîäóëü ëîãîìåò-
ðè÷åñêîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ, ðàáîòà êîòîðîãî áàçè-
ðóåòñÿ íà êîìïåíñàöèîííî-ìîñòîâîì ìåòîäå èçìåðå-
íèÿ ìàëûõ åìêîñòåé ñ áàëàíñîì ïî öåïè îáðàòíîé
ñâÿçè îïåðàöèîííîãî óñèëèòåëÿ è âûïîëíåí ïî
ÅÌÊÎÑÒÍÛÉ ÄÀÒ×ÈÊ ÄÀÂËÅÍÈß ÄËß ÀÝÑ
È ÍÅÔÒÅÕÈÌÈ×ÅÑÊÎÉ ÏÐÎÌÛØËÅÍÍÎÑÒÈ
ãèáðèäíîé òåõíîëîãèè. Íàçíà÷åíèåì ýëåêòðîííîãî
áëîêà ÿâëÿåòñÿ ïðåîáðàçîâàíèå èçìåíåíèÿ åìêîñòè
÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà, çàâèñÿùåå îò èçìåíåíèÿ
èçìåðÿåìîãî äàâëåíèÿ, â âûõîäíîé ñèãíàë íàïðÿæå-
íèÿ ïîñòîÿííîãî òîêà.
Îñíîâíûå òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè
Äèàïàçîí èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ â ñîîòâåòñòâèè ñ
ïàðàìåòðè÷åñêèì ðÿäîì äëÿ äàò÷èêîâ èçáûòî÷íîãî
äàâëåíèÿ (ÌÏà):
0�1,0; 0�1,6; 0�2,5; 0�4,0; 0�6,3;
0�10,0; 0�16,0; 0�25,0; 0�40,0; 0�63,0;
0�100,0; 0�160,0; 0�250,0; 0�400,0; 0�630,0.
Îòíîñèòåëüíàÿ îñíîâíàÿ ïîãðåøíîñòü èçìåðåíèÿ
(êëàññ òî÷íîñòè ÄÈ) íå áîëåå 0,25%.
Âûõîäíîé óíèôèöèðîâàííûé ýëåêòðè÷åñêèé ñèã-
íàë ïîñòîÿííîãî òîêà âèäà:
0�5 ìÀ íà íàãðóçî÷íîì ñîïðîòèâëåíèè 0,2�
2,5 êÎì;
4�20 ìÀ íà íàãðóçî÷íîì ñîïðîòèâëåíèè 0,1�
1 êÎì.
Çàäàííûå õàðàêòåðèñòèêè ÄÈ îáåñïå÷èâàþòñÿ íà
êîíöå ëèíèè ñâÿçè äëèíîé äî 1000 ì.
Äèàïàçîí òåìïåðàòóð âíåøíåé ñðåäû � �40...
+60°Ñ.
Äèàïàçîí òåìïåðàòóð ðàáî÷åé ñðåäû � �40...
+100°Ñ.
Ýëåêòðè÷åñêîå ïèòàíèå ÄÈ îñóùåñòâëÿåòñÿ îò
èñòî÷íèêîâ ïèòàíèÿ ïîñòîÿííîãî òîêà íàïðÿæåíèåì
+30 Â, òîê ïîòðåáëåíèÿ íå áîëåå 20 ìÀ.
ÄÈ èìååò âçðûâîáåçîïàñíîå èñïîëíåíèå
Îåõiq11ÂÒ6, ñîîòâåòñòâóåò òðåáîâàíèÿì ÃÎÑÒ
22782.5�78 è èñïîëüçóåòñÿ ñî âòîðè÷íîé àïïàðàòó-
ðîé, îáåñïå÷èâàþùåé ñîáëþäåíèå áàðüåðà èñêðîáå-
çîïàñíîñòè òèïà Ï287À.
ÄÈ ñîîòâåòñòâóåò òðåáîâàíèÿì ÃÎÑÒ 25804�83
ïî ñòîéêîñòè ê èîíèçèðóþùèì èçëó÷åíèÿì, òðåáîâà-
íèÿì ÃÎÑÒ 29075�91 ïî óñòîé÷èâîñòè ê âîçäåéñòâèÿì
íàíîñåêóíäíûõ èìïóëüñíûõ ïîìåõ, ÃÎÑÒ 29191�91
ïî âîçäåéñòâèþ ýëåêòðîñòàòè÷åñêîãî ðàçðÿäà.
Ïî óñòîé÷èâîñòè ê êëèìàòè÷åñêèì âîçäåéñòâèÿì
ÄÈ ñîîòâåòñòâóåò èñïîëíåíèþ ÓÕË êàòåãîðèè ðàç-
ìåùåíèÿ 3.1 ïî ÃÎÑÒ 15150�69, ê âîçäåéñòâèþ
äåçàêòèâèðóþùèõ ðàñòâîðîâ � ÎÒÒ 08042462.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ðàêîâ Â. À., Òèìîøåíêî Â. Ã. Òî÷íûé åìêîñòíûé
èçìåðèòåëü äàâëåíèÿ // Ïðèáîðû è ñèñòåìû èçìåðåíèÿ.
� 1993.� ¹ 4.� Ñ. 27�28.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
15.10 2001 ã.
|