Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности

Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические харак...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2001
Main Authors: Лепих, Я.И., Лопушенко, В.К.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine