Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности
Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические харак...
Saved in:
Date: | 2001 |
---|---|
Main Authors: | , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. |