Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях
На основании модели производственной системы и иерархии технологических функций при изготовлении интегральных микросхем (ИМС) разработана организация индустрии ИМС в виде иерархической модели — гиперграфа, в узлах которого изображены множества производственных систем, а ребра отражают соответствующи...
Збережено в:
| Дата: | 2000 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70920 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях/ А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 3-10. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70920 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-709202014-11-17T03:01:40Z Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях Мержвинский, А.А. Техническая политика На основании модели производственной системы и иерархии технологических функций при изготовлении интегральных микросхем (ИМС) разработана организация индустрии ИМС в виде иерархической модели — гиперграфа, в узлах которого изображены множества производственных систем, а ребра отражают соответствующие материальные и информационные потоки. Модель позволяет получить макроструктуру индустрии ИМС, выделить основные категории технологии изготовления ИМС, а также производственные системы для образования финансово-промышленных групп. Рассмотрены особенности характерных современных микроэлектронных производств ведущих западных фирм. Приведены проблемы и некоторые концепции обеспечения Украины заказными ИМС применительно к современным условиям. The organization of integrated chips (IC) industry in kind of hierarchy model on the base of production system and hierarchy of process functions during manufacturing IC has been developed. The organization is shown as the hypergraph in sites of which a great number of production systems are represented, and edges reflect appropriate material and information flows. The model allows to produce microstructure of IC industry, to select main process categories manufacturing IC as well as production systems for forming financial and industrial groups. The features of characteristic modern microelectronic productions of leading western firms have been considered. The problems and some concents providing Ukraine with custom-made IC with reference to modern conditions. 2000 Article Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях/ А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 3-10. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70920 681.38 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Техническая политика Техническая политика |
| spellingShingle |
Техническая политика Техническая политика Мержвинский, А.А. Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
На основании модели производственной системы и иерархии технологических функций при изготовлении интегральных микросхем (ИМС) разработана организация индустрии ИМС в виде иерархической модели — гиперграфа, в узлах которого изображены множества производственных систем, а ребра отражают соответствующие материальные и информационные потоки. Модель позволяет получить макроструктуру индустрии ИМС, выделить основные категории технологии изготовления ИМС, а также производственные системы для образования финансово-промышленных групп. Рассмотрены особенности характерных современных микроэлектронных производств ведущих западных фирм. Приведены проблемы и некоторые концепции обеспечения Украины заказными ИМС применительно к современным условиям. |
| format |
Article |
| author |
Мержвинский, А.А. |
| author_facet |
Мержвинский, А.А. |
| author_sort |
Мержвинский, А.А. |
| title |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| title_short |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| title_full |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| title_fullStr |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| title_full_unstemmed |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| title_sort |
модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Техническая политика |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70920 |
| citation_txt |
Модель индустрии интегральных микросхем в современных условиях/ А.А. Мержвинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 3-10. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT meržvinskijaa modelʹindustriiintegralʹnyhmikroshemvsovremennyhusloviâh |
| first_indexed |
2025-07-05T20:02:20Z |
| last_indexed |
2025-07-05T20:02:20Z |
| _version_ |
1836838541626179584 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 3
Ðàçðàáîòàíà ìîäåëü îðãàíèçàöèè ïðî-
èçâîäñòâà èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì.
Âûñêàçàíû ñîîáðàæåíèÿ ïî îðãàíèçà-
öèè òàêîãî ïðîèçâîäñòâà â Óêðàèíå.
Èçâåñòíûå ïðîöåññû ïåðåñòðîéêè ýêîíîìèêè è
äîñòèæåíèÿ âåäóùèõ ýëåêòðîííûõ ôèðì ïðèâåëè ê
ñîêðàùåíèþ âûïóñêà èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì
(ÈÌÑ) â ñòðàíàõ ÑÍÃ, â ò. ÷. íà Óêðàèíå. Âìåñòå ñ
òåì àíàëèç ïîêàçûâàåò, ÷òî ïîëíîå ïðåêðàùåíèå ñîá-
ñòâåííîãî ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ â Óêðàèíå ñëåäóåò
ñ÷èòàòü íåäîïóñòèìûì [1].
Ðàçðàáîòêà è ïðîèçâîäñòâî ìèêðîñõåì îáåñïå÷è-
âàþòñÿ íàó÷íûìè è ïðîèçâîäñòâåííûìè ïðåäïðèÿ-
òèÿìè ñ îòëè÷àþùèìèñÿ äðóã îò äðóãà òåõíîëîãè-
÷åñêèìè ïðîöåññàìè, ñòðóêòóðîé è ñâÿçÿìè [2]. Äëÿ
àíàëèçà òàêèõ ñèñòåì îáû÷íî èñïîëüçóþòñÿ ìîäåëè
DF (ïîòîêîâ äàííûõ), ER (ñóùíîñòü�ñâÿçü) è äð.
[3]. Èçâåñòíû ìîäåëè [4, ñ. 71; 5], â êîòîðûõ ïðåä-
ïðèÿòèå ìîæåò áûòü ïðåäñòàâëåíî êàê «ïðîèçâîä-
ñòâåííàÿ ñèñòåìà» (ÏÑ), îñóùåñòâëÿþùàÿ íà îñíî-
âå îïðåäåëåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ïðåîá-
ðàçîâàíèå âõîäíûõ îáúåêòîâ â âûõîäíûå. Â îáùåì
ñëó÷àå äåÿòåëüíîñòü ÏÑ ìîæíî îòîáðàçèòü øåñòüþ
ïîòîêàìè � ìàòåðèàëîâ, îáîðóäîâàíèÿ, ðàáî÷åé ñèëû,
çàêàçîâ, äåíåæíûõ ñðåäñòâ, èíôîðìàöèè.
Ïðåäñòàâëÿåòñÿ öåëåñîîáðàçíûì ðàçðàáîòàòü ìî-
äåëü [6] èíäóñòðèè ÈÌÑ, îòðàæàþùóþ ýòè ïîòîêè
è ïîçâîëÿþùóþ îïðåäåëèòü âîçìîæíûå ñòðóêòóðû
ïðîèçâîäñòâ.
Ìîäåëü ïðîèçâîäñòâåííîé ñèñòåìû
Ñîâðåìåííîå ïðîèçâîäñòâî ÈÌÑ êàê ðåàëüíûé
îáúåêò ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ìíîãîóðîâíåâóþ èåðàð-
õè÷åñêóþ ñèñòåìó êîìïüþòåðèçèðîâàííûõ ïðîèçâîä-
ñòâåííûõ, àïïàðàòíî-òåõíîëîãè÷åñêèõ è äðóãèõ ìî-
äóëåé.
Äëÿ ïîñòðîåíèÿ èåðàðõè÷åñêîé ìîäåëè ïðîèçâîä-
ñòâà ÈÌÑ â êà÷åñòâå ñòðóêòóðîîáðàçóþùåé «åäè-
íèöû» ââåäåì ïîíÿòèå ìîäóëü «ÏÑ» (ðèñ. 1), îòðà-
æàþùåå îñíîâíûå ôóíêöèè ïðîèçâîäñòâåííîé ñèñ-
òåìû (ëèáî åå ïîäñèñòåìû). Âõîäíûå è âûõîäíûå
îáúåêòû ìîãóò áûòü ìàòåðèàëüíûìè (ïðåäìåòû òðó-
äà, ïåðñîíàë) ëèáî èíôîðìàöèîííûìè (äàííûå, çíà-
íèÿ, ôèíàíñû è äð.). Çäàíèÿ è ñîîðóæåíèÿ äëÿ óï-
ðîùåíèÿ íå ïîêàçàíû.
Ñóòü ïîíÿòèé íà ðèñ. 1 ìîæåò áûòü îïðåäåëåíà
ñëåäóþùèì îáðàçîì.
«Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ (ÒÏ)» îòîáðàæàåò ïðî-
öåññ ïðåîáðàçîâàíèÿ âõîäíûõ îáúåêòîâ â âûõîäíûå ïðî-
äóêòû (íàïðèìåð, êðèñòàëëû ÈÌÑ) ïîä âëèÿíèåì òåõ-
íîëîãè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé.
Ïîíÿòèå «Îáîðóäîâàíèå» îòîáðàæàåò ñîâîêóïíîñòü
âçàèìîäåéñòâóþùèõ òåõíè÷åñêèõ ñðåäñòâ îáåñïå÷åíèÿ
ÒÏ, â ò. ÷. íàêîïèòåëüíûå ñèñòåìû (êàìåðû, ñêëàäû).
Êîíêðåòíîå òåõíîëîãè÷åñêîå îáîðóäîâàíèå âêëþ÷àåò ìà-
òåðèàëüíóþ êîìïîíåíòó (ñâÿçàííóþ ñ âîçäåéñòâèåì íà
ìàòåðèàëüíûå îáúåêòû) è èíôîðìàöèîííóþ (hardware
+ êîäû software).
Ïåðñîíàë ïðè èçãîòîâëåíèè ÈÌÑ ñ êîìïîíåíòàìè
ÒÏ íåïîñðåäñòâåííî íå âçàèìîäåéñòâóåò. Âëèÿíèå ôè-
íàíñîâûõ è äðóãèõ ñòèìóëîâ ðàáîòû â ìîäåëè íà ðèñ. 1
ó÷òåíî ñ ïîìîùüþ ïîíÿòèÿ «ìîòèâàöèÿ äåÿòåëüíîñòè îá-
ñëóæèâàþùåãî ïåðñîíàëà».
«Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ» ìîæåò áûòü ïðåäñòàâëåí
ìàòåìàòè÷åñêîé ìîäåëüþ, îñíîâó êîòîðîé ìîæåò ñîñòàâ-
ëÿòü, íàïðèìåð, îïèñàíèå ïðîöåññà ïðåîáðàçîâàíèÿ îá-
ëèêà âõîäíûõ îáúåêòîâ â âûõîäíûå ïîä âëèÿíèåì òåõ-
íîëîãè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé ñ ó÷åòîì ñâîéñòâ îáúåêòà.
Âõîäíûå äàííûå � ýòî îïèñàíèå òîïîëîãèè ñëîåâ
èçãîòàâëèâàåìîé ÈÌÑ, ðåæèìîâ èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ, êðè-
òåðèè óïðàâëåíèÿ. Ïî âõîäíûì äàííûì (çàäàâàåìûì
èëè èçìåðÿåìûì) software ìîæåò ôîðìèðîâàòü ïðåäñêà-
çûâàåìûå çíà÷åíèÿ ïàðàìåòðîâ ïðîöåññà è îáðàáàòûâàå-
ìîãî îáúåêòà.
Software ìîæåò ñîäåðæàòü ìàøèííûå ìîäåëè ôóíê-
öèîíèðîâàíèÿ îáîðóäîâàíèÿ è ôîðìèðîâàíèÿ òåõíîëî-
ãè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé, à òàêæå áàçó çíàíèé äàííîé îáëà-
ñòè, îáåñïå÷èâàþùóþ âîçìîæíîñòü ýôôåêòèâíîãî âçàè-
ìîäåéñòâèÿ ïåðñîíàëà è óïðàâëÿåìîãî ïðîöåññà.
Òàêèì îáðàçîì, â ýëåìåíòàõ ñòðóêòóðû íà ðèñ. 1
ìîæíî îòìåòèòü ñóùåñòâîâàíèå ñëåäóþùèõ ìîäåëåé:
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
13.09 1999 ã.
Ê. ò. í. À. À. ÌÅÐÆÂÈÍÑÊÈÉ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èí-ò êèáåðíåòèêè èì. Â. Ì. Ãëóøêîâà ÍÀÍÓ
ÌÎÄÅËÜ ÈÍÄÓÑÒÐÈÈ ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÕ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ
 ÑÎÂÐÅÌÅÍÍÛÕ ÓÑËÎÂÈßÕ
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Ðèñ. 1. Ìîäåëü ïðîèçâîäñòâåííîé ñèñòåìû
Ìîòèâàöèÿ
Ïåðñîíàë
Îáîðóäîâàíèå
Òåõíîëîãè÷åñêèé
ïðîöåññ
Âûõîäíûå
îáúåêòû
Âõîäíûå
îáúåêòû
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
4
Ðèñ. 2. "Îðãàíèçàöèÿ" èíäóñòðèè ÈÌÑ
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Èìïëàíòàöèÿ
Î÷èñòêà
Òðàâëåíèå
Ýïèòàêñèÿ Îêèñëåíèå
Äèôôóçèÿ
Òðàíñïîðòíî-íàêîïèòåëüíûå îïåðàöèè
Ôîðìèðîâàíèå ñòðóêòóðíûõ ñëîåâ
Êîðïóñè-
ðîâàíèå
Ìàòåðèàëüíûå ïîòîêè Ïîòîêè äîêóìåíòîâ è ñèãíàëîâ
Äîáû÷à
ñûðüÿ
Èçãî-
òîâëåíèå
ïëàñòèí Ñáîðêà
Òåñòè-
ðîâàíèå
ÈÌÑ
$100
×èïû
Ôîðìèðîâàíèå
ñòðóêòóðíûõ
ñëîåâ
L (r)
Ëèòîãðàôèÿ
Òîïîëîãè÷åñêèå íîðìû
ÒÇò
ÒÒñ
Ïîäãîòîâêà äàííûõ
èçãîòîâëåíèÿ ñëîåâ
è êîìïèëÿöèÿ
Äàííûå
òåñòèðîâàíèÿ
Äñ
Ñë Òð
ÒÒò
Èñõîäíûå äàííûå
Äàííûå
ïðîãðàììèðîâàíèÿ
Ãåíåðàöèÿ
ðèñóíêîâ
Èçãîòîâ-
ëeíèå
øàáëîíîâ
Ïðîåêòèðîâàíèå
òåõíîëîãèè
Ðàçðàáîòêà
òåõíîëîãèè
ÈÌÑ
Ïðîåêòèðîâàíèå ÈÌÑ
Ðàçðàáîòêà ÈÌÑ
ÏÝ-òåõíîëîãèÿ
Çíàíèÿ
ÏÂË-òåõíîëîãèÿ
M (r)
Ôèíàíñû
ÏÂØ-òåõíîëîãèÿ
Ïðèìå-
íåíèÿ
{Ï2} {Ï3} {Ï5} {Ï6} {Ï7} {Ï15}
{Ï14}
{Ï10} {Ï12} {Ï11}
{Ï13}
{Ï1}
Ïðîèçâîäñòâî
ìàòåðèàëîâ
~$1000
Çã
ÏÐ-òåõíîëîãèÿ
{Ï16}
ÐÌÏ
{Ï4}
{Ï9} {Ï8}
{Ï1}...{Ï3} � ìíîæåñòâà ïðîöåññîâ, ðåàëèçóåìûõ â ÏÑ (ïðåäïðèÿòèÿõ, ó÷àñòêàõ) ïî äîáû÷å ñûðüÿ, ïðîèçâîäñòâó ìàòåðèà-
ëîâ è èçãîòîâëåíèþ èñõîäíûõ ïëàñòèí; {Ï4} � ëèòîãðàôèÿ; {Ï5}, {Ï6} � ôîðìèðîâàíèå ñòðóêòóðíûõ ñëîåâ; ðåçêà êðèñòàë-
ëîâ è êîðïóñèðîâàíèå; {Ï7} � ïðîöåññû òåñòèðîâàíèÿ; {Ï8}, {Ï9} � ïðåäïðîåêòíûå èññëåäîâàíèÿ âîçìîæíîñòè ñîçäàíèÿ
íîâîé òåõíîëîãèè è íîâîãî êëàññà ÈÌÑ; {Ï10} � ïðîöåññû ðàçðàáîòêè íîâîãî ÒÏ c ïîìîùüþ «ÑÀÏÐ òåõíîëîãèè»; {Ï11} �
ïðîöåññû ðàçðàáîòêè êîíêðåòíîé ÈÌÑ ñ ïîìîùüþ «ÑÀÏÐ òîïîëîãèè»; {Ï12} � ïðîöåññû ïîäãîòîâêè äàííûõ óïðàâëåíèÿ
ôîðìèðîâàíèåì òîïîëîãè÷åñêîãî ñëîÿ; {Ï13}, {Ï14} � ïðîöåññû èçãîòîâëåíèÿ øàáëîíîâ ñëîåâ; Çã � çàãîòîâêè; ÒÒò, ÒÒñ �
òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ íà íîâûå ÒÏ è ÈÌÑ; Òð � äàííûå òèïîâûõ ðåæèìîâ èçãîòîâëåíèÿ; Ñë � îïèñàíèÿ ñõåìû íà ÿçûêå
îïèñàíèÿ òîïîëîãèè ñëîåâ ÈÌÑ; Äë � äàííûå ôîðìèðîâàíèÿ ñëîåâ è ðåæèìîâ óïðàâëåíèÿ íà âõîäíîì ÿçûêå ãåíåðàòîðà
ðèñóíêà ñòðóêòóðíîãî ñëîÿ òîïîëîãèè ÈÌÑ; L(r), M(r) � òîïîëîãèÿ èçîáðàæåíèÿ è ìàñêè ñëîÿ ÈÌÑ, ÒÇñ, ÒÇò �
òåõíè÷åñêèå çàäàíèÿ íà ðàçðàáîòêó ÈÌÑ è ÒÏ; ÐÌÏ � ðóêîâîäÿùèå ìàòåðèàëû ïî ïðèìåíåíèþ
{Óïð}
○ ○ ○
○ ○ ○
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 5
ÏÑ (íà ðèñ. 2), îáúåäèíÿÿ ïåðñîíàë è îáîðóäîâàíèå,
ìîãóò îáðàçîâûâàòü ôèíàíñîâî-ïðîìûøëåííûå ãðóïïû.
{Óïð} � óïðàâëÿþùèå ñòðóêòóðû, â àëãîðèòìû êîòî-
ðûõ çàëîæåíû "ïëàíîâûå" ëèáî "ðûíî÷íûå" ìåõàíèçìû
è ìåõàíèçìû, îïðåäåëÿþùèå ìîòèâàöèþ äåÿòåëüíîñòè
{ÏÑ}.
Òåõíîëîãè÷åñêàÿ çàäà÷à � ôîðìèðîâàíèå ñ âû-
ñîêîé òî÷íîñòüþ ñòðóêòóðíûõ ñëîåâ ÈÌÑ � â ñî-
âðåìåííûõ ÏÑ äîñòèãàåòñÿ ïðèìåíåíèåì àäàïòèâ-
íûõ àëãîðèòìîâ óïðàâëåíèÿ, ïðè êîòîðûõ èçìåðÿ-
þòñÿ êàê îòêëîíåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêèõ ðåæèìîâ ïðî-
öåññîâ â êàæäîé ÏÑ, òàê è îòêëîíåíèÿ ïàðàìåòðîâ
âûõîäíûõ ïðîäóêòîâ. Îáðàòíûå ñâÿçè âíåøíåãî êîí-
òóðà óïðàâëåíèÿ ïðîöåññîì îáû÷íî çàìûêàþòñÿ ÷å-
ðåç ÏÑ ïîäãîòîâêè äàííûõ {Ï13}, ò. ê. â íåé çàäà÷è
êîððåêöèè èñêàæåíèé ñòðóêòóðíûõ ýëåìåíòîâ ñëîÿ
â ïîñëåäóþùèõ ïðîöåññàõ [9] ìîãóò áûòü ðåøåíû
ïðîãðàììíî ïóòåì ïðåäûñêàæåíèÿ òîïîëîãèè ñëîÿ
ÈÌÑ ëèáî èçìåíåíèåì ðàñ÷åòíûõ ïàðàìåòðîâ ðå-
æèìîâ ÒÏ.
Îáúåäèíÿÿ ýëåìåíòû ìîäåëè íà ðèñ. 2, ìîæíî
ïîëó÷èòü íîâóþ ìîäåëü � îáîáùåííûé ãðàôè÷åñ-
êèé "îáðàç" èíäóñòðèè ÈÌÑ (ðèñ. 3), êîòîðàÿ ìî-
æåò èñïîëüçîâàòüñÿ äëÿ îïðåäåëåíèÿ ïîíÿòèÿ «èí-
äóñòðèÿ ÈÌÑ» è èíòåðïðåòàöèè èíäóñòðèè ÈÌÑ
êàê îáúåêòà áàçû çíàíèé (Èèíä = {ÈÌÑ & ÒÒñ &
ÒÒò & Ìàòåðèàëüíûå êîìïîíåíòû}).
Ìîäåëü èíäóñòðèè ÈÌÑ, â êîòîðîé «ìîòèâîì»
âçàèìîäåéñòâèÿ ñ çàêàç÷èêîì ÿâëÿåòñÿ «âåëè÷èíà
ñ÷åòà â áàíêå», âêëþ÷àåò ïîòîêè «Çàêàçû» (Çàêàç =
ÒÒñ & ÒÒò & Ôèíàíñû), «Ïåðñîíàë» òðåáóåìîé
êâàëèôèêàöèè è «Çíàíèÿ» â òîé èëè èíîé ôîðìå
(ðèñ. 3, á).
"Îðãàíèçàöèÿ" èíäóñòðèè ÈÌÑ, ïðèâåäåííàÿ íà
ðèñ. 2, ìîæåò áûòü ïðèìåíåíà äëÿ êëàññèôèêàöèè òåõ-
íîëîãèé èçãîòîâëåíèÿ. Â çàâèñèìîñòè îò âõîæäåíèÿ ÏÑ
â öåïî÷êó èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ ìîãóò áûòü âûäåëåíû ñëå-
äóþùèå ñòðóêòóðíûå êàòåãîðèè òåõíîëîãèé.
Ø-òåõíîëîãèÿ (ïðè èçãîòîâëåíèè ÈÌÑ âûïîëíÿþò-
ñÿ ÒÏ ÏÑ 13, 14, 4�7).  ýòîì ñëó÷àå ïðåäïîëàãàåòñÿ
èçãîòîâëåíèå øàáëîíà ïóòåì ïîñëåäîâàòåëüíîé ãåíåðà-
öèè ýëåìåíòîâ òîïîëîãèè ñ ïîìîùüþ óçêîíàïðàâëåííî-
ãî ôîòîííîãî èëè ýëåêòðîííîãî ïó÷êà. Ïåðåíîñ ðèñóíêà
òîïîëîãèè ñ øàáëîíà íà ïëàñòèíó îñóùåñòâëÿåòñÿ ïà-
ðàëëåëüíûì ñïîñîáîì. Ïðè ýòîì îáåñïå÷èâàåòñÿ íàèáîëü-
øàÿ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü, íî îãðàíè÷èâàåòñÿ íîìåíêëà-
òóðà ÈÌÑ � â ñâÿçè ñ ãðîìîçäêîñòüþ "øàáëîííîãî õî-
çÿéñòâà".
Ïðè ÏÝ-òåõíîëîãèè èëè òåõíîëîãèè ïðÿìîãî ýêñ-
ïîíèðîâàíèÿ èñêëþ÷àåòñÿ èçãîòîâëåíèå øàáëîíîâ â Ï14,
� ìîäåëü ðåàëüíî ïðîòåêàþùåãî ÒÏ ïðåîáðàçî-
âàíèÿ âõîäíîãî îáúåêòà â âûõîäíîé;
� "ðàñ÷åòíàÿ" ìîäåëü â âèäå êîäîâ software íà
îñíîâå íåêîòîðîé èäåàëèçèðîâàííîé ìîäåëè ÒÏ (â
îáúåêòå «Îáîðóäîâàíèå»);
� "æåëàåìàÿ" ìîäåëü ÒÏ, îòðàæàþùàÿ çàìûñåë
òåõíîëîãè÷åñêîé îïåðàöèè (â ïðîñòåéøåì ñëó÷àå �
òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ).
Âñå òðè ìîäåëè ñîñóùåñòâóþò â ñîçíàíèè îïåðà-
òîðà èëè ðàçðàáîò÷èêà ÒÏ, è ðàññîãëàñîâàíèÿ ìåæ-
äó íèìè � óïðàâëÿþùèå âîçäåéñòâèÿ ïðè îòëàäêå
ÒÏ. Ñïåöèàëüíûå çíàíèÿ òåõíîëîãîâ î ìåòîäàõ ÒÏ
ìîãóò áûòü ðåàëèçîâàíû â âèäå êîäîâ software ñè-
ñòåìû óïðàâëåíèÿ ÒÏ. Ðàññîãëàñîâàíèå ìåæäó ðå-
àëüíûìè (èëè èçìåðåííûìè) è ðàñ÷åòíûìè ïàðàìåò-
ðàìè ìîæåò èñïîëüçîâàòüñÿ äëÿ óïðàâëåíèÿ èñïîë-
íèòåëüíûìè ìåõàíèçìàìè ñ ïîìîùüþ íåêîòîðîé ìî-
äåëè óïðàâëåíèÿ, íàïðèìåð RSM-ìîäåëè [7].
�Îðãàíèçàöèÿ� èíäóñòðèè ÈÌÑ
Ïëàíàðíàÿ òåõíîëîãèÿ ïðåäóñìàòðèâàåò ñîòíè
ïîñëåäîâàòåëüíûõ îïåðàöèé ïî ôîðìèðîâàíèþ ñòðóê-
òóðíûõ ñëîåâ ÈÌÑ, äîñòàòî÷íî ïîäðîáíûé ñîñòàâ
êîòîðûõ ïðèâåäåí â [8]. Êàæäîé i-é îïåðàöèè ìî-
æåò áûòü ïîñòàâëåíà â ñîîòâåòñòâèå ÏÑi, êîòîðàÿ
ìîæåò áûòü îïèñàíà ñòðóêòóðíîé åäèíèöåé íà ðèñ. 1.
Õàðàêòåðíûå ïîäìíîæåñòâà ÏÑ, àññîöèèðóþùèåñÿ ñ
äîìèíèðóþùèìè, ìîãóò áûòü àãðåãèðîâàíû â èåðàð-
õè÷åñêèå ìîäåëè ÏÑ, êàæäàÿ èç êîòîðûõ, î÷åâèäíî,
òàêæå ìîæåò áûòü ïðåäñòàâëåíà ìîäåëüþ íà ðèñ. 1.
Âîñïîëüçóåìñÿ ïîäõîäîì, ïðè êîòîðîì ñëîæíàÿ
ñèñòåìà ïðåäñòàâëÿåòñÿ â âèäå �îðãàíèçàöèè�, ïîíÿ-
òèÿ áîëåå âûñîêîãî ðàíãà, ÷åì ñòðóêòóðà [6, ñ. 15].
�Îðãàíèçàöèÿ� â ñìûñëå [6] � ìîäåëü, íà îñíîâå
êîòîðîé ìîãóò ñòðîèòüñÿ êîíêðåòíûå ñèñòåìû. Â
íàøåì ñëó÷àå �îðãàíèçàöèþ� èíäóñòðèè ÈÌÑ óäîáíî
ïðåäñòàâëÿòü â âèäå ãèïåðãðàôà, â óçëàõ êîòîðîãî
íàõîäÿòñÿ ìíîæåñòâà {ÏÑ}, à ðåáðà îòðàæàþò ñîîò-
âåòñòâóþùèå èíôîðìàöèîííûå è ìàòåðèàëüíûå ïî-
òîêè.
Àíàëèç ïîêàçûâàåò, ÷òî íåçàâèñèìî îò ôèçè÷åñ-
êèõ ìåõàíèçìîâ âûïîëíåíèÿ îñíîâíûõ òåõíîëîãè-
÷åñêèõ îïåðàöèé ñóùåñòâåííûìè ôàêòîðàìè ñòðóê-
òóðîîáðàçîâàíèÿ ÒÏ ÿâëÿþòñÿ ïðèìåíåíèå ôîòî- è
ýëåêòðîííûõ ðåçèñòîâ è ñïîñîáû ôîðìèðîâàíèÿ
ñëîåâ ÈÌÑ. Òîãäà �îðãàíèçàöèþ� èíäóñòðèè (â
ñìûñëå [6]) ìîæíî ïðåäñòàâèòü êàê íà ðèñ. 2.
Ñèíîíèìàìè èìåí óçëîâ {Ï1}, ..., {Ï14} ÿâëÿþòñÿ íà-
çâàíèÿ ÒÏ âåðõíåãî óðîâíÿ. Âõîäû è âûõîäû ïîìå÷åíû
èìåíàìè âõîäíûõ è âûõîäíûõ îáúåêòîâ ñîîòâåòñòâóþ-
ùèõ ÏÑ. Ïðèìåð ñòðóêòóðû ìîäóëÿ Ï5 ïðèâåäåí íà
âûíîñêå.
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
à) á)
Ðèñ. 3. Ìàêðîñòðóêòóðà èíäóñòðèè ÈÌÑ:
à� óïðîùåííàÿ; á�ïîëíàÿ
Ìàòåðèaëüíûå êîìïîíåíòû ÈÌÑ
ÒÒñ&ÒÒò
Ìàòåðèàëüíûå êîìïîíåíòû
Çàêàçû
Çíàíèÿ
Ïåðñîíàë
ÈÌÑ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
6
âñëåäñòâèå ÷åãî ñîêðàùàåòñÿ öèêë èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ.
Ôîðìèðîâàíèå äàííûõ ãåíåðàöèè ðèñóíêà ïî äàííûì
òîïîëîãèè ñëîÿ è òåõíîëîãèè îñóùåñòâëÿåòñÿ c ó÷åòîì
îñîáåííîñòåé ôîðìèðîâàíèÿ ñêðûòîãî èçîáðàæåíèÿ íà
ïëàñòèíå (íåëèíåéíûå èñêàæåíèÿ ãåíåðàòîðà ðèñóíêà,
ðàññåÿíèå ýëåêòðîíîâ ïðè ýëåêòðîííî-ëó÷åâîì ýêñïîíè-
ðîâàíèè), à òàêæå ïðîöåññîâ ïðîÿâëåíèÿ è ïîñëåäóþ-
ùèõ òåõíîëîãè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé (óñàäêà, ïîäòðàâû).
Îñíîâíîé íåäîñòàòîê ÏÝ-òåõíîëîãèè � ñíèæåíèå ïðî-
èçâîäèòåëüíîñòè ïðè óâåëè÷åíèè êîëè÷åñòâà òîïîëîãè-
÷åñêèõ ýëåìåíòîâ â ñëîå.
ÏÂ-òåõíîëîãèÿ îñíîâàíà íà ïðÿìîì âîçäåéñòâèè íà
îáðàáàòûâàåìûé ñëîé òî÷å÷íîãî èëè ìîäóëèðîâàííîãî
øàáëîíîì ïîòîêà ýíåðãèè, êëàñòåðîâ âåùåñòâà, ëèáî íà
ìàññîïåðåíîñå.
Äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ òî÷å÷íûõ ïîòîêîâ ôîòîíîâ, ýëåê-
òðîíîâ, èîíîâ, êëàñòåðîâ èñïîëüçóþòñÿ ýêðàíû ñ ñóáìèê-
ðîííûìè îòâåðñòèÿìè ëèáî èãëà ñ íàíîìåòðîâûì ðàçìå-
ðîì îñòðèÿ. Ñîçäàíèþ îáîðóäîâàíèÿ ìàññîïåðåíîñà â
çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè ñïîñîáñòâîâàëî ðàçâèòèå òóííåëü-
íîé ìèêðîñêîïèè.
Ìåòîä îòëè÷àåòñÿ íèçêîé ïðîèçâîäèòåëüíîñòüþ, îáóñ-
ëîâëåííîé ìàëîé ñêîðîñòüþ ïðîöåññîâ ñòèìóëèðîâàí-
íîãî îñàæäåíèÿ (àääèòèâíûå ïðîöåññû) èëè òðàâëåíèÿ,
ñóáëèìàöèè (ñóáòðàêòèâíûå ïðîöåññû).
ÁÊ-òåõíîëîãèÿ (áåñêîðïóñíàÿ òåõíîëîãèÿ) ïðåäóñ-
ìàòðèâàåò ñáîðêó è ãåðìåòèçàöèþ ÷èïîâ ÈÌÑ íà ýòàïå
ïðèìåíåíèÿ.
Îòìåòèì íà ðèñ. 2 òàêæå öåïî÷êó ÏÐ-òåõíîëîãèè
(ïðîãðàììèðîâàíèå ñòðóêòóðû), ïðè êîòîðîé íà ýòàïå
ïðèìåíåíèÿ ÈÌÑ ïðîãðàììèðóþòñÿ ñîåäèíåíèÿ ìåæäó
åå ýëåìåíòàìè ïóòåì çàïèñè îïðåäåëåííûõ êîäîâ â ñïå-
öèàëüíûå ÿ÷åéêè ïàìÿòè. Äàííûå ïðîåêòèðîâàíèÿ êîí-
êðåòíîé ñõåìû ïîñòóïàþò â Ï15, îáåñïå÷èâàÿ ñàìûé êî-
ðîòêèé öèêë èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ (íàïðèìåð, ÏËÈÑ).
Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè èíäóñòðèè ÈÌÑ �
êàïèòàëüíûå âëîæåíèÿ, ðåíòàáåëüíîñòü, öèêë ðå-
èíâåñòèöèé [10], ñîâîêóïíûé ïðîäóêò � ÈÌÑ
(ýëåêòðîííûå, îïòè÷åñêèå, îïòîýëåêòðîííûå), çíàíèÿ,
ïîëó÷åííûå â ðåçóëüòàòå èññëåäîâàíèé.
Äðóãèìè õàðàêòåðèñòèêàìè ñîáñòâåííî èíäóñòðèè ÿâ-
ëÿþòñÿ:
� Òîïîëîãè÷åñêèå íîðìû ÒÏ, îïðåäåëÿþùèå ðàçìåðû
ýëåìåíòîâ è ðàñõîä ìàòåðèàëîâ, ïàðàìåòðû è ñòîèìîñòü
èíòåãðàëüíûõ ñõåì.
� Òåõíè÷åñêèé ïîòåíöèàë � íàëè÷èå ðåçóëüòàòîâ
ìèðîâîãî óðîâíÿ, know-how, èçîáðåòåíèé, ïàòåíòîâ, ñòàí-
äàðòîâ.
� Ãèáêîñòü � ñïîñîáíîñòü ïåðåñòðàèâàòüñÿ â ñîîò-
âåòñòâèè ñ óñëîâèÿìè ôóíêöèîíèðîâàíèÿ.
� Ñîãëàñîâàííîñòü ñ îêðóæåíèåì, õàðàêòåðèçóåìàÿ
òàêèìè ôàêòîðàìè:
� ïîòðåáíîñòü â ÈÌÑ íà äîñòóïíîì ðûíêå;
� ñîãëàñîâàíèå ïðîèçâîäèòåëüíîñòè öåíòðîâ ïðîåê-
òèðîâàíèÿ {Ï10} ñ ïîòîêîì çàêàçîâ íà ïðîåêòèðîâàíèå;
� íàëè÷èå â ñòðàíå íåîáõîäèìûõ ñïåöèàëèñòîâ;
� ôèíàíñîâûå âîçìîæíîñòè èíâåñòîðîâ;
� îáåñïå÷åííîñòü çàêîíîäàòåëüñòâîì (âûõîäíûå
ïðîäóêòû {Ï1}...{Ï7} ìîãóò íåñêîëüêî ðàç ïåðåñåêàòü
òàìîæåííûå ãðàíèöû).
� Öåëîñòíîñòü òåõíîëîãè÷åñêèõ öåïî÷åê ñîçäàíèÿ
ÈÌÑ, îïðåäåëÿþùàÿ òåõíè÷åñêóþ íåçàâèñèìîñòü.  óñ-
ëîâèÿõ ìåæäóíàðîäíîãî ðàçäåëåíèÿ òðóäà òðóäîåìêèå
îïåðàöèè, ñâÿçàííûå ñ èíäèâèäóàëüíîé îáðàáîòêîé êðè-
ñòàëëà è èçãîòîâëåíèåì ñïåöîñíàñòêè (íàïðèìåð, ñáîð-
êà ÈÌÑ èëè òåñòèðîâàíèå), âûïîëíÿþò â ñòðàíàõ c ìåíü-
øåé ñòîèìîñòüþ òðóäà.
� Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè (ñì. òàáë. 1).
Ñîçäàíèå ÏÑ òðåáóåò íå òîëüêî èíâåñòèöèé è
ñîâðåìåííûõ ñðåäñòâ ïðîåêòèðîâàíèÿ, íî è íåêîòî-
ðîé ïðîèçâîäñòâåííîé è íàó÷íîé ñðåäû (ðèñ. 4).
Ïðè îïðåäåëåíèè êàòåãîðèé ïðîèçâîäñòâ ñóùå-
ñòâåííûì îêàçûâàåòñÿ ñîîòíîøåíèå çàòðàò íà ñî-
çäàíèå òåõíîëîãèè è ñàìèõ ÈÌÑ è îòíîøåíèé çà-
êàç÷èê � ðàçðàáîò÷èê � èçãîòîâèòåëü � ïîëüçî-
âàòåëü.
ÈÌÑ îáùåãî ïðèìåíåíèÿ ñîçäàþòñÿ ñ ó÷åòîì òåí-
äåíöèé ðàçâèòèÿ äàííîãî òèïà ñõåì è ïðîèçâîäÿòñÿ íå-
çàâèñèìî îò ÷àñòíûõ òðåáîâàíèé çàêàç÷èêîâ. Èõ ðàç-
ðàáîòêà � ðåçóëüòàò êàê ìíîãèõ èññëåäîâàíèé, òàê è
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Òàáëèöà 1
Ñðàâíèòåëüíûå õàðàêòåðèñòèêè òåõíîëîãèé èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ
* Âåäóòñÿ ðàçðàáîòêè ÏÑ íà îñíîâå òåõíîëîãèé GaAs c ïðîèçâîäñòâåííûì öèêëîì â 1�2 íåäåëè [9].
Îñíîâíûå ïðèçíàêè òåõíîëîãèé
Íàçíà÷åíèå
òåõíîëîãèè
ÈÌÑ
×èñëî èíäè-
âèäóàëüíûõ
ñëîåâ ÈÌÑ
Âåëè÷èíà
ïàðòèè
ïëàñòèí
Êîëè÷åñòâî
òèïîâ ÈÌÑ
Äëèòåëü-
íîñòü ÒÏ
Àäàïòèâ-
íîñòü
òåõíîëîãèè
Âðåìÿ
ñîâåðøåíñò-
âîâàíèÿ
Âûõîäíîé
ïðîäóêò
Ìàññîâîå
ïðîèçâîäñòâî
Âñå òîïîëî-
ãè÷åñêèå
ñëîè (äî 16)
Áîëüøàÿ Íåáîëüøîå Ìåñÿöû,
íåäåëè
Æåñòêàÿ *
(íîìèíàëüíûå
òåõíîëîãè÷åñ-
êèå ðåæèìû)
Ãîäû Òîâàð
Ïðîèçâîäñòâî
ïîëóçàêàçíûõ
è çàêàçíûõ ÈÌÑ
2—3
(ñëîè ìåæ-
ñîåäèíå-
íèé); âñå
Ìàëàÿ èëè
áîëüøàÿ Áîëüøîå Äíè
Ãèáêàÿ
(èíäèâèäó-
àëüíûå
ðåæèìû)
Ìåñÿöû
Äîáàâëåí-
íàÿ
ñòîèìîñòü
Ïðîèçâîäñòâî
ñïåöèàëüíûõ
ÈÌÑ
Ðàçëè÷íîå Òî æå Íåáîëüøîå Äíè Æåñòêàÿ,
ãèáêàÿ Ðàçëè÷íîå Òîâàð
Ïðîãðàììèðîâà-
íèå ñòðóêòóðû
ÈÌÑ
Íåò
Èñïîëüçóåò-
ñÿ ãîòîâàÿ
ÈÌÑ
Åäèíè÷íûé Ìèíóòû — Îòðàáîòàííàÿ
òåõíîëîãèÿ Óñëóãà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 7
èçîáðåòåíèé îòäåëüíûõ ñõåìîòåõíèêîâ, òåõíîëîãîâ. Äâè-
æóùåé ñèëîé ÿâëÿþòñÿ èäåè ïîëåçíîñòè òàêèõ ñõåì (èí-
òåëëåêòóàëüíîãî ïðîäóêòà, êîòîðûé ìîæåò áûòü ñîçäàí
âíå ÏÑ èíäóñòðèè ÈÌÑ, íàïðèìåð â âóçàõ èëè èíñòè-
òóòàõ Àêàäåìèè íàóê); ïðèáûëü æå çàâèñèò îò ñîâåð-
øåíñòâà ìåòîäîâ ðåàëèçàöèè ýòèõ èäåé â êîíêðåòíîì ÒÏ.
Ïðîöåññ ìîæåò áûòü ñòèìóëèðîâàí ðåøåíèåì îá èíâåñ-
òèöèÿõ (íàïðèìåð, óïðàâëåí÷åñêèìè ñòðóêòóðàìè ôè-
íàíñîâî-ïðîìûøëåííûõ ãðóïï).
Íèçêàÿ ñåáåñòîèìîñòü òàêèõ ÈÌÑ, êàê ïðàâèëî, îáåñ-
ïå÷èâàåòñÿ âûñîêîé ïðîèçâîäèòåëüíîñòüþ îáîðóäîâàíèÿ
è âûñîêèì ïðîöåíòîì âûõîäà ãîäíûõ èçäåëèé.
Çàêàçíûå ÈÌÑ ÷àñòíîãî ïðèìåíåíèÿ. Ïðè èõ èçãî-
òîâëåíèè ïîëó÷åíèå ïðèáûëè îáåñïå÷èâàåòñÿ ïðîèçâîä-
ñòâîì è ðåàëèçàöèåé óñòðîéñòâ, â êîòîðûõ îíè ïðèìåíÿ-
þòñÿ. Çàêàç÷èêà èíòåðåñóþò çàäàííûå èì ôóíêöèè (ðå-
àëèçóåìûå, æåëàòåëüíî, ïî îòðàáîòàííûì òåõíîëîãèÿì),
öåíà è ñðîêè ñîçäàíèÿ. Çàêàçíàÿ ñõåìà ìîæåò áûòü èç-
ãîòîâëåíà íà áàçå ñòàíäàðòíûõ ÿ÷ååê, ýëåìåíòîâ ýëåêòðè-
÷åñêîé ñõåìû èëè èíäèâèäóàëüíî.
Ñîêðàùåíèå ñðîêîâ ïðîåêòèðîâàíèÿ äîñòèãàåòñÿ ïðè-
ìåíåíèåì òåõíîëîãèé ÏÝ, ÏÐ, à òàêæå òåõíîëîãèè «ôè-
íèøíûõ ñëîåâ». Àðõèòåêòóðà êîíêðåòíîé ñõåìû â ïîñ-
ëåäíåì ñëó÷àå îïðåäåëÿåòñÿ âåðõíèìè ñëîÿìè ìåæñîå-
äèíåíèé, è ÷èñëî öèêëîâ {Ï4}�{Ï5}, îïðåäåëÿþùèõ òèï
ÈÌÑ, ñîêðàùàåòñÿ.
Ïðè ïðîåêòèðîâàíèè çàêàçíûõ ÈÌÑ ïîñëåäíèå ìî-
ãóò ìàêåòèðîâàòüñÿ íà îäíîé èëè íåñêîëüêèõ ïðîãðàì-
ìèðóåìûõ ÈÌÑ ñ ïîñëåäóþùèìè èñïûòàíèÿìè â ñî-
ñòàâå óñòðîéñòâà è àâòîìàòè÷åñêîé òðàíñëÿöèåé ýëåêò-
ðè÷åñêîé ñõåìû â îïèñàíèå ñòðóêòóðû êðèñòàëëà â {Ï12}.
Ñîêðàùåíèå ñðîêîâ òàêæå äîñòèãàåòñÿ ïðèìåíåíèåì òåõ-
íîëîãèé ÏÝ, ÏÐ.
Óâåëè÷åíèå ïðîèçâîäèòåëüíîñòè ãåíåðàòîðîâ ðèñóí-
êîâ {Ï13} è ñîâåðøåíñòâîâàíèå ëèòîãðàôèè ïîçâîëèëè
ðåàëèçîâàòü òåõíîëîãèè «ñëîæíàÿ ñõåìà íà íåñêîëüêèõ
÷èïàõ» è «ìíîãî çàêàç÷èêîâ íà îäíîé ïëàñòèíå».
Ðîëü ñâÿçåé Ï9�>Ï15. Îáåñïå÷åíèå ïîäðîáíîé
òåõíè÷åñêîé èíôîðìàöèåé íà ýòàïå ðàçðàáîòêè ÈÌÑ
îïðåäåëåííîé ãðóïïû ðàçðàáîò÷èêîâ óñòðîéñòâ è
ñèñòåì, ñ îäíîé ñòîðîíû, è ñîçäàòåëåé ÈÌÑ î ïîòåí-
öèàëüíûõ ïîòðåáíîñòÿõ â ÈÌÑ, ñ äðóãîé, � ñóùå-
ñòâåííûé ôàêòîð èõ ïîáåäû â êîíêóðåíòíîé áîðüáå
áëàãîäàðÿ âîçìîæíîñòè óëó÷øèòü õàðàêòåðèñòèêè
èçäåëèé çà ñ÷åò áîëåå ñîâåðøåííûõ õàðàêòåðèñòèê
ïðèìåíÿåìûõ ÈÌÑ è, îäíîâðåìåííî, âîçìîæíîñòè
ñáûòà.
Òàêàÿ òåõíîëîãèÿ ïðåäïî÷òèòåëüíîãî ñîòðóäíè-
÷åñòâà âûòåêàåò èç ìåæäóíàðîäíîãî ïðàâà íà èí-
òåëëåêòóàëüíóþ ñîáñòâåííîñòü.
Ïðîèçâîäñòâåííûå ñèñòåìû èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ
Cèñòåìû ìàññîâîãî ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ âûñî-
êîé ñòåïåíè èíòåãðàöèè � âåñüìà êàïèòàëîåìêîå
ïðîèçâîäñòâî íà îñíîâå Ø-òåõíîëîãèè. Ëèòîãðàôèÿ
âûïîëíÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ ôîòî- èëè ðåíòãåíîâñêèõ
øàáëîíîâ. Íîìèíàëüíûå ðåæèìû îïðåäåëÿþòñÿ â
òå÷åíèå äëèòåëüíîãî ïðîöåññà îïòèìèçàöèè ÒÏ ïî
âåëè÷èíå ïðîöåíòà áðàêà.
 æèçíåííîì öèêëå óæå ðàçðàáîòàííîé ÏÑ ìîæíî
âûäåëèòü òðè ñòàäèè [11]:
"Îïûòíàÿ ñòàäèÿ (pilot stage)", êîãäà ñäåëàíû îñíîâ-
íûå êàïèòàëüíûå âëîæåíèÿ è ïîëó÷åíû ïåðâûå ïàðòèè
ïëàñòèí, îïðåäåëÿþùèå ýêîíîìè÷åñêèé óñïåõ ïðîåêòà.
"Áûñòðûé öèêë (fast cycle)" � ñòàäèÿ, íà êîòîðîé
íåîáõîäèìûå òåõíîëîãè÷åñêèå áëîêè èíòåãðèðîâàíû â
åäèíóþ ñèñòåìó è ïðîöåññ óæå "ìîëîòèò", íî åùå "âûìà-
íèâàåò äåíüãè" ("ramped").
"Ñòàäèÿ ñîâåðøåíñòâà (mature)" � íà ýòîé ñòàäèè
äîñòèãíóòî âûñîêîå êà÷åñòâî ïðîäóêöèè, âûñîêè îáúåì
ïðîèçâîäñòâà è ýêîíîìè÷åñêèå ïîêàçàòåëè.
 ÏÑ èñïîëüçóåòñÿ ðàçíîòèïíîå îáîðóäîâàíèå ìíî-
ãèõ ôèðì, êîòîðîå îêóïàåòñÿ ïðè ýêñïëóàòàöèè â òðè
ñìåíû ñåìü äíåé â íåäåëþ.
Ñèñòåìû ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ ÷àñòíîãî ïðèìå-
íåíèÿ. Îáîðóäîâàíèå è ÒÏ òàêèõ ïðîèçâîäñòâ ðàç-
ðàáàòûâàþòñÿ îáû÷íî êîìïëåêñíî. Øèðîêèå ïîòðåá-
íîñòè èçãîòîâèòåëåé óñòðîéñòâ èíôîðìàòèêè â çà-
êàçíûõ ÈÌÑ ïðèâåëè ê ñîçäàíèþ ãèáêèõ ÏÑ, îòëè-
÷àþùèõñÿ ìîäóëüíîñòüþ ïîñòðîåíèÿ, òåõíîëîãèåé
÷èñòûõ "êîðèäîðîâ", à íå "êîìíàò", ìàëûìè ðàçìåðà-
ìè òåõíîëîãè÷åñêèõ ðåàêòîðîâ, èíòåãðàöèåé ïðîöåñ-
ñîâ íà îñíîâå ìíîãîêàìåðíîãî îáîðóäîâàíèÿ, èíäè-
âèäóàëüíîé îáðàáîòêîé ïëàñòèí, êîðîòêèì öèêëîì
èçãîòîâëåíèÿ è äð.
Õàðàêòåðíîé ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòàííàÿ ôèðìîé Òexas
Instrument êîìïüþòåðèçèðîâàííàÿ ôàáðèêà äëÿ ïðîèç-
âîäñòâà çàêàçíûõ ÑÁÈÑ [12], îñíîâíûå äàííûå êîòîðîé
ïðèâåäåíû â òàáë. 2. Ñèñòåìà óïðàâëåíèÿ âêëþ÷àåò â
ñåáÿ àïïàðàòíûå è ïðîãðàììíûå ñðåäñòâà SPARCstation2
è SPARÑstation IPC, ñåòü Ethernet, ÎÑ UNIX, ðàñïðåäå-
ëåííóþ àðõèòåêòóðó "êëèåíò�ñåðâåð".
Ñïåöèàëüíîå ïðîèçâîäñòâî îòëè÷àåòñÿ îðèãè-
íàëüíîé òåõíîëîãèåé, ñâÿçàííîé ñ ôèçè÷åñêèì ìåõà-
íèçìîì ôóíêöèîíèðîâàíèÿ ÈÌÑ (íàïðèìåð, îïòè-
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Èíâåñòîðû 1
Ïîñòàâùèêè
ìàòåðèàëîâ
Ïîñòàâùèêè
îáîðóäîâàíèÿ
Èíäóñòðèÿ
ÈÌÑ
Èíâåñòîðû 2
Ïîòðåáèòåëè
ÈÌÑ
Ðàçðàáîò÷èêè
óñòðîéñòâ
Íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêèå
îðãàíèçàöèè
Çíàíèÿ {TTc}&{TTm)
Ðèñ. 4. Ñâÿçè èíäóñòðèè ÈÌÑ
ñ îêðóæåíèåì
ÈÌÑ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
8
÷åñêèå, îïòîýëåêòðîííûå, àêóñòîýëåêòðîííûå ÈÌÑ,
èçäåëèÿ ìèêðîìåõàíèêè, ìíîãîêðèñòàëüíûå ïëàòû,
äàò÷èêè è äð.).
Ïðè ÏÐ-òåõíîëîãèè èñïîëüçóåòñÿ ãîòîâîå èç-
äåëèå, êîòîðîå ìîæåò èçìåíÿòü ñâîþ ñòðóêòóðó â
ðåçóëüòàòå ïðîãðàììèðîâàíèÿ ñõåìû: à) ñ ïîìîùüþ
ñïåöèàëüíîãî îáîðóäîâàíèÿ; á) ñ ïîìîùüþ âñòðî-
åííûõ íåïîñðåäñòâåííî â ÈÌÑ ñðåäñòâ ïðîãðàììè-
ðîâàíèÿ (ïîñëåäíèå ñíàáæåíû èíòåðôåéñîì, äîïóñ-
êàþùèì ïîäêëþ÷åíèå ê ñèñòåìíîé øèíå ìèêðîïðî-
öåññîðîâ).
Îòìåòèì òàêæå, ÷òî ðûíîê çàêàçíûõ ÈÌÑ ñ íå-
ïðåäåëüíûìè ñòåïåíüþ èíòåãðàöèè è áûñòðîäåé-
ñòâèåì ïî ìåðå ñîâåðøåíñòâîâàíèÿ ÏÐ-òåõíîëîãèè
åñòåñòâåííî ïåðåõîäèò ê ïðîèçâîäèòåëÿì ÈÌÑ îá-
ùåãî ïðèìåíåíèÿ � ïðîãðàììèðóåìûõ ÈÌÑ.
Îòìåòèì îñîáåííîñòè è ïðîáëåìû ñîçäàíèÿ ÏÑ
ÈÌÑ.
Ïîòðåáèòåëüñêèå ñâîéñòâà ÈÌÑ � áûñòðîäåé-
ñòâèå è ôóíêöèîíàëüíûå âîçìîæíîñòè � îïðåäåëÿ-
þòñÿ ñòðóêòóðíûìè ýëåìåíòàìè êðèñòàëëà [13].
Òðàäèöèîííûå ïóòè ñîâåðøåíñòâîâàíèÿ ïîñëåäíèõ:
� óìåíüøåíèå ïðåäåëüíûõ ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ,
óâåëè÷åíèå ïðîâîäèìîñòè ñîåäèíåíèé, ïðèìåíåíèå
ãåòåðîñòðóêòóð;
� óâåëè÷åíèå ñòåïåíè èíòåãðàöèè;
� ïðèìåíåíèå ôîòîíîâ âìåñòî ýëåêòðîíîâ äëÿ
ïåðåíîñà èíôîðìàöèè ìåæäó ÈÌÑ è äàæå âíóòðè
ÈÌÑ.
Äëÿ òåõíîëîãèé ñîâðåìåííûõ ñêîðîñòíûõ îïòè-
êîýëåêòðîííûõ ñèñòåì õàðàêòåðíûì ÿâëÿåòñÿ:
� ïðèìåíåíèå íîâûõ ìàòåðèàëîâ (À3Â5 è äð.) è
íåîáõîäèìîñòü èíòåãðàöèè êðåìíèåâûõ è àðñåíèä-
ãàëëèåâûõ òåõíîëîãèé [14];
� âíåäðåíèå òåõíîëîãè÷åñêèõ íîðì, ìåíüøèõ
÷åòâåðòè èñïîëüçóåìîé äëèíû âîëíû (äëÿ âîëí 0,82,
1,31 è 1,55 ìêì íîðìû äîëæíû áûòü ñîîòâåòñòâåí-
íî 0,2�0,38 ìêì);
� óñëîæíåíèå ñáîðêè {Ï6} èç-çà íåîáõîäèìîñòè
þñòèðîâêè îïòè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé.
Ñóáìèêðîííûå è íàíîìåòðîâûå ðàçìåðû â ãîðèçîí-
òàëüíîé ïëîñêîñòè äîñòèãàþòñÿ, êàê èçâåñòíî, ïðèìåíå-
íèåì òàêèõ òåõíîëîãèé, êàê ýëåêòðîííî-ëó÷åâàÿ, ðåíò-
ãåíîâñêàÿ è äð. Ïðè îñâîåíèè ýòîãî äèàïàçîíà ðàçìåðîâ
ýëåìåíòîâ â òåõíîëîãèè çàâåðøàåòñÿ ïåðåõîä îò ïðîñòî-
ãî ìàñøòàáèðîâàíèÿ ê ðåçêîìó óñëîæíåíèþ ìîäåëåé óï-
ðàâëåíèÿ. Ïðè ýòîì òðåáóåòñÿ ó÷åò âñå áîëåå òîíêèõ ìå-
õàíèçìîâ âçàèìîäåéñòâèÿ îáðàáàòûâàåìîãî îáúåêòà è
êîìïîíåíò ÒÏ äëÿ êîððåêöèè âîçìóùàþùåãî äåéñòâèÿ
ðàçëè÷íûõ ôàêòîðîâ íà òî÷íîñòü èçãîòîâëåíèÿ ñòðóê-
òóð ñ òàêèìè ìàëûìè ðàçìåðàìè. Ïîýòîìó êëþ÷åâûì
îáîðóäîâàíèåì ñòàíîâèòñÿ íå òîëüêî âûñîêîâàêóóìíîå
îáîðóäîâàíèå {Ï4}, íî è îáîðóäîâàíèå êîìïèëÿöèè {Ï12}
è ãåíåðàòîðû ðèñóíêîâ ÈÌÑ {Ï13}, ïðîèçâîäèòåëüíîñòü
êîòîðûõ îïðåäåëÿåò âîçìîæíîñòè êîððåêöèè ÒÏ è õà-
ðàêòåðèçóåòñÿ âûñîêîé ñêîðîñòüþ ïåðåäà÷è ïîòîêà äàí-
íûõ ýêñïîíèðîâàíèÿ (~1 Ãáèò/c).
Ïðèìåíèòåëüíî ê âåðòèêàëüíîé èíòåãðàöèè ñòóêòóð-
íûå ñëîè íîâåéøèõ ÈÌÑ õàðàêòåðèçóþòñÿ óæå íå òîë-
ùèíîé â ìêì ïëåíêè íåêîòîðîãî âåùåñòâà, à êîëè÷åñòâîì
îïðåäåëåííûõ àòîìîâ. Óïðàâëåíèå ôîðìèðîâàíèåì òà-
êèõ ñòðóêòóð íà óñòàíîâêàõ ýïèòàêñèè îñóùåñòâëÿåòñÿ
êîìïüþòåðíûìè ñèñòåìàìè, â àëãîðèòìàõ êîòîðûõ ðåà-
ëèçîâàíû ìîäåëè ÒÏ ýïèòàêñèè.
Ïðè ðàññòîÿíèÿõ ìåæäó ïðîâîäíèêàìè ìåíåå 50 íì
ñóùåñòâåííî êâàíòîâîå âçàèìîäåéñòâèå ìåæäó íèìè, è
ðàäèêàëüíî èçìåíÿþòñÿ ìåõàíèçìû ðàáîòû. Ïðèáîðû íà
íàíîñòðóêòóðàõ ðåàëèçóþòñÿ íà îñíîâå ìåòîäîâ ÏÂ-òåõ-
íîëîãèè.
Íîâåéøèå òåõíîëîãèè ïðåäïîëàãàþò õðàíåíèå è îá-
ðàáîòêó èíôîðìàöèè óæå âíóòðè ìîëåêóëû âåùåñòâà, è ê
óêàçàííûì ïðîáëåìàì äîáàâëÿåòñÿ íåîáõîäèìîñòü ëî-
êàëüíîãî óïðàâëåíèÿ õèìè÷åñêîé ðåàêöèåé.
Ñâîåâðåìåííàÿ ðàçðàáîòêà íîâûõ òåõíîëîãèé è
äîñòàòî÷íîé íîìåíêëàòóðû íîâûõ ÈÌÑ � íåîáõî-
äèìîå óñëîâèå êîíêóðåíòîñïîñîáíîñòè. Îñîáåííîñ-
òüþ ñîçäàíèÿ íîâûõ ÏÑ ÿâëÿåòñÿ èçâåñòíûé ôàêò,
÷òî îíè ìîãóò ñòàòü äåéñòâóþùèìè òîëüêî â ðå-
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Òàáëèöà 2
Õàðàêòåðèñòèêè èíäóñòðèè ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ
Õ à ð à êò å ð èñò è êè ïð îè ç â îä ñò â å í íû õ ñè ñò å ì
Êëàññ
ÈÌÑ è ÏÑ
Ðàçìåð
ïëàñòèí,
ìì
Òîïîëîãè-
÷åñêèå
íîðìû, ìêì
Ñòåïåíü
èíòåãðàöèè,
êîìïîíåíòîâ
Ïðîèçâîä-
ñòâåííûé
öèêë
Ñòðóêòóðà
òåõíîëîãè-
÷åñêîé
ëèíèè
Ïðîèçâî-
äèòåëü-
íîñòü
Ïîìåùå-
íèÿ ÏÑ
(êëàññ
÷èñòîòû)
Ñòîèìîñòü
ÏÑ,
äîë. ÑØÀ
Ìàññîâîå
ïðîèçâîäñòâî
ÈÌÑ
200 0,2; 0,35
Äî
10 000 000
1—3
ìåñÿöà
Ñìåøàííàÿ
êîíôèãóðà-
öèÿ îáîðó-
äîâàíèÿ
~20000
ïëàñòèí/ìåñ 1—10 ~ 500 ìëí.
Ïðîèçâîäñòâî
ïîëóçàêàçíûõ
è çàêàçíûõ
ÈÌÑ
100—150;
30
0,3; –1,5
>500000
âåíòèëåé
Äî
1 000 000
5—15 äíåé
Âàêóóìíûå
ìîäóëè +
÷èñòûå
"êîðèäîðû"
100—1000
ïëàñòèí/ìåñ 1000 30—
50 ìëí.
Ïðîèçâîäñòâî
ñïåöèàëüíûõ
ÈÌÑ
Îáúåêòû
ïðîèçâîëü-
íîé ôîðìû
0,1—2; 5 ~100 000
 çàâèñè-
ìîñòè îò
èçäåëèÿ
Êîìáèíè-
ðîâàííàÿ Ðàçëè÷íàÿ 10—1000 äî 30 ìëí.
Ïðîãðàììèðî-
âàíèå ñòðóê-
òóðû ÈÌÑ
Èñïîëüçó-
åòñÿ ãîòî-
âàÿ ÈÌÑ
>25000
âåíòèëåé
Èñïîëüçó-
åòñÿ ãîòî-
âàÿ ÈÌÑ
Ìèíóòû
ÏÝÂÌ;
âñòðîåííîå
â ÈÌÑ îáî-
ðóäîâàíèå
Ïðèåìëå-
ìàÿ 100 000
20—30 çà
øòóêó,
ÑÀÏÐ —
~ 3 òûñ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 9
çóëüòàòå íåêîòîðîé ýâîëþöèè îò ïðîñòîé ñèñòå-
ìû ê ñëîæíîé.
Öèêë ñîçäàíèÿ òåõíîëîãèé âêëþ÷àåò âðåìÿ âûïîëíå-
íèÿ ôóíäàìåíòàëüíûõ ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèõ èññëå-
äîâàíèé, ïîèñêîâûõ ÍÈÐ, ïàòåíòíûõ ðàáîò è ìîæåò ñî-
ñòàâëÿòü 10�15 ëåò, ÷òî íàìíîãî áîëüøå öèêëîâ ñìåíû
âûïóñêàåìûõ èçäåëèé (~ ãîä), îáîðóäîâàíèÿ (~2�3 ãîäà),
ðåèíâåñòèöèé (2,5�4 ãîäà).
Óêàçàííûå öèêëû ïî äëèòåëüíîñòè ñîèçìåðèìû ñ
ôàçàìè ðàçâèòèÿ ýêîíîìèêè � ñòðóêòóðíûìè èçìåíå-
íèÿìè, èçìåíåíèÿìè ðûíî÷íûõ ôîðì, äåíåæíûõ ñòðóê-
òóð (10�20 ëåò).
Äî ïîñëåäíåãî âðåìåíè ðàçðàáîòêîé îáîðóäîâà-
íèÿ çàíèìàëèñü ñïåöèàëüíûå ïðåäïðèÿòèÿ ëèáî êðóï-
íûå ôèðìû � ïðîèçâîäèòåëè ÈÌÑ. Îäíàêî â ñâÿ-
çè ñ òåì, ÷òî ñòîèìîñòü îñíîâíûõ ñðåäñòâ Ï4, Ï5,
Ï13, Ï14 ñåãîäíÿ äîñòèãëà íåñêîëüêèõ ñîòåí ìèë-
ëèîíîâ äîëëàðîâ (äëÿ ñóáìèêðîííûõ òåõíîëîãèé),
ïîñòàâùèêè îáîðóäîâàíèÿ óæå ñòàâÿò âîïðîñ î öå-
ëåñîîáðàçíîñòè ïåðåäà÷è ïðåäïðèÿòèÿì ÈÌÑ íå îáî-
ðóäîâàíèÿ, à óñëóã ïî èçãîòîâëåíèþ ïëàñòèí ÈÌÑ
è ñàìèõ ÈÌÑ.
Ñ äðóãîé ñòîðîíû, èñòîêè ñîçäàíèÿ ñîâðåìåííûõ
ìàññîâûõ ÈÌÑ ìîãóò áûòü â èíñòèòóòàõ, çàíèìàþ-
ùèõñÿ ðàçðàáîòêîé ïðîãðàììíîãî îáåñïå÷åíèÿ. Íà-
ïðèìåð, êîëëåêòèâîì ïîä ðóêîâîäñòâîì àêàäåìèêà
Á. À. Áàáàÿíà (Ìîñêâà) çàêîí÷åíà ëîãè÷åñêàÿ ðàç-
ðàáîòêà ìèêðîïðîöåññîðà «Ýëüáðóñ-2000». Ýòîò ìèê-
ðîïðîöåññîð ïðè 0,18 ìêì òåõíîëîãèè â 1,5 ðàçà
áûñòðåå èíòåëîâñêîãî Merced [15]. Ðåçóëüòàò äîñ-
òèãíóò áëàãîäàðÿ îïûòó â ðàçðàáîòêå êîìïèëÿòî-
ðîâ êîäîâ äëÿ çàðóáåæíûõ ìèêðîïðîöåññîðîâ, à òàê-
æå ìèêðîïðîöåññîðîâ ñåðèè «Ýëüáðóñ». Ïî îöåíêå
àêàä. Á. À. Áàáàÿíà, òðåáóåìûå äëÿ ïðîìûøëåííîãî
îñâîåíèÿ èíâåñòèöèè ñîñòàâëÿþò ~ $ 40 ìëí. Â
Ðîññèè, îäíàêî, íåò òåõíîëîãè÷åñêîé áàçû, ïîçâîëÿ-
þùåé âûïóñêàòü ýòîò ìèêðîïðîöåññîð, è åãî ðàçðà-
áîò÷èêè íà ïðèåìëåìûõ óñëîâèÿõ ãîòîâû âîñïîëü-
çîâàòüñÿ óñëóãàìè ëþáîé ôèðìû, èìåþùåé òàêóþ
òåõíîëîãèþ.
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
Èç èçëîæåííîãî ñëåäóåò, ÷òî ïðîèçâîäñòâî ÈÌÑ
ëþáûõ êëàññîâ ìîãóò ñåáå ïîçâîëèòü åäèíèöû ýëè-
òàðíûõ ñòðàí; îñòàëüíûå ñòðàíû (â ïðåäåëàõ óïî-
ìÿíóòûõ öèêëîâ èññëåäîâàíèé è ôàç ïåðåñòðîéêè
ýêîíîìèêè) íå ìîãóò áûòü òåõíè÷åñêè íåçàâèñèìû
 çàêëþ÷åíèå
 òàáë. 3 ñõåìàòè÷íî èçëîæåí êîíöåïòóàëüíûé
âçãëÿä íà âàæíåéøèå àòðèáóòû ïðîãðàììû ñîçäà-
íèÿ èíäóñòðèè ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ.
Ïàðê îáîðóäîâàíèÿ ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ â Óê-
ðàèíå íóæäàåòñÿ â çàìåíå èëè ìîäåðíèçàöèè. Âåðî-
ÿòíîñòü èíâåñòèöèé â Óêðàèíó èçâíå ñîòåí ìèëëè-
îíîâ äîëëàðîâ äëÿ ïðèîáðåòåíèÿ íîâåéøèõ ïðî-
èçâîäñòâåííûõ ñèñòåì äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ÈÌÑ ìàñ-
ñîâîãî ïðèìåíåíèÿ � íåâåëèêà, êàê è âåðîÿòíîñòü
ýâîëþöèè ñóùåñòâóþùèõ ÏÑ ê ñîâðåìåííîìó óðîâ-
íþ � äàæå ïðè òàëàíòëèâûõ ñïåöèàëèñòàõ è îðãà-
íèçàòîðàõ.
 ñëîæèâøåéñÿ ñèòóàöèè åñòåñòâåííî ïîëüçîâàòü-
ñÿ óñëóãàìè ïðåäïðèÿòèé, èìåþùèõ äåéñòâóþùèå
òåõíîëîãè÷åñêèå ëèíèè è óñïåõè â îáëàñòè ñîçäà-
íèÿ ïðîöåññîðîâ, ñõåì ïàìÿòè, ÷èï-ñåòîâ, ïðîãðàììè-
ðóåìûõ ÈÌÑ. Èìè ìîãóò áûòü «Èíòåãðàë» (Ìèíñê),
«Ýëåêòðîíèêà» (Âîðîíåæ), ìåæäóíàðîäíûå êîðïî-
ðàöèè «Intel», «Motorola». Íåîáõîäèìà èíòåãðàöèÿ â
ìåæäóíàðîäíûå ñòðóêòóðû äëÿ îáåñïå÷åíèÿ ïîñòà-
âîê ÈÌÑ, ñòîëü æå íàäåæíûõ, êàê ïîñòàâêè íåôòè.
Ñ ó÷åòîì èçëîæåííîãî ðàíåå ñîáñòâåííûå èíâå-
ñòèöèè â Óêðàèíå öåëåñîîáðàçíî íàïðàâèòü íà îò-
íîñèòåëüíî ìåíåå êàïèòàëîåìêèå òåõíîëîãèè èçãî-
òîâëåíèÿ çàêàçíûõ è ñïåöèàëüíûõ ÈÌÑ. Â Êèòàå,
íàïðèìåð, áûëà èìïîðòèðîâàíà, à çàòåì ðàçâèòà òåõ-
íîëîãèÿ ASIC, â ðåçóëüòàòå ÷åãî â íàñòîÿùåå âðåìÿ
òàì ñóùåñòâóþò äåñÿòêè öåíòðîâ ïðîåêòèðîâàíèÿ
çàêàçíûõ ÑÁÈÑ [16].
Êàê áûëî ïîêàçàíî, ïðåäïîñûëêè ñòàòü êîíêó-
ðåíòîñïîñîáíûìè åñòü ó ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèé
èçãîòîâëåíèÿ óñòðîéñòâ íà íîâûõ ôèçè÷åñêèõ ïðèí-
öèïàõ è ñ ìèíèìàëüíûìè ðàçìåðàìè ýëåìåíòîâ.
2
Òàáëèöà 3
Àòðèáóòû ïðîöåññà âîññòàíîâëåíèÿ ïðîèçâîäñòâà ÈÌÑ
Êëàññ ïðîèçâîäñòâåííîé ñèñòåìû
Àòðèáóòû
ÏÑ
Ìàññîâîå
ïðîèçâîäñòâî ÈÌÑ
Ïðîèçâîäñòâî
çàêàçíûõ ÈÌÑ
Ïðîèçâîäñòâî
ñïåöèàëüíûõ ÈÌÑ
Êîäèðîâàíèå
ñòðóêòóðû ÈÌÑ
Õàðàêòåðíàÿ öåëü
ñîçäàíèÿ
Ñîçäàíèå ðàáî÷èõ
ìåñò, êîíêóðåíòî-
ñïîñîáíûõ ÈÌÑ è
ïîëó÷åíèå ïðèáûëè
Îáåñïå÷åíèå ïàðà-
ìåòðîâ ðàçðàáàòû-
âàåìûõ óñòðîéñòâ
Îáåñïå÷åíèå
ñïåöèàëüíîé
ýëåìåíòíîé áàçîé
Îáåñïå÷åíèå
ðàçðàáîòîê íîâûõ
óñòðîéñòâ
Ãîëîâíûå
èñïîëíèòåëè
Ñîâìåñòíûå ïðåä-
ïðèÿòèÿ ñ èíîñòðàí-
íûì îñíîâíûì
êàïèòàëîì
Êðóïíûå
ñîâìåñòíûå
ïðåäïðèÿòèÿ
Îòðàñëåâûå
ãîñóäàðñòâåííûå è
÷àñòíûå
ïðåäïðèÿòèÿ
Ïðåäïðèÿòèÿ
ëþáûõ òèïîâ
Îñíîâíûå
èíâåñòîðû
Çàðóáåæíûå,
îòå÷åñòâåííûå
Îòå÷åñòâåííûå,
çàðóáåæíûå
Îòå÷åñòâåííûå,
çàðóáåæíûå Îòå÷åñòâåííûå
Ñïîñîá
îáåñïå÷åíèÿ
îáîðóäîâàíèåì
Ïîñòàâêà
çàðóáåæíîãî
îáîðóäîâàíèÿ
Ðàçðàáîòêà ëèáî
çàêóïêà
Ìîäåðíèçàöèÿ,
ñàìîñòîÿòåëüíàÿ
ðàçðàáîòêà
Çàêóïêà çà ðóáåæîì
ÑÀÏÐ
Îñíîâàíèå äëÿ
ïðîâåäåíèÿ ðàáîò Ñòðàòåãè÷åñêîå ðåøåíèå ïðàâèòåëüñòâà Ðåøåíèå
ïðåäïðèÿòèÿ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
10
Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîðûâ áîëåå âåðîÿòåí â îáëà-
ñòÿõ, â êîòîðûõ èìåþòñÿ íàó÷íûå çàäåëû.  Óêðàè-
íå ìîæíî âûäåëèòü ðàáîòû ïî ñóáìèêðîííûì òåõ-
íîëîãèÿì è îïòîýëåêòðîíèêå, âûïîëíåííûå ðàíåå â
ÍÏÎ «Ñàòóðí» è Èíñòèòóòå êèáåðíåòèêè èì. Â. Ì.
Ãëóøêîâà ÍÀÍÓ, ÍÈÈ Ìèêðîïðèáîðîâ, ïî ÑÂ×-
ïðèáîðàì â ÍÈÈ «Îðèîí», ïîçâîëÿþùèå ñîçäàòü
êîíêóðåíòîñïîñîáíîå ïîêîëåíèå ìèêðîñõåì ãèãàãåð-
öåâîãî è îïòè÷åñêîãî äèàïàçîíà.
 ÑØÀ ðàçðàáîòêà îáîðóäîâàíèÿ è òåõíîëîãèè
çàêàçíûõ ÑÁÈÑ îñóùåñòâëÿëàñü ïî çàêàçàì Ìèíè-
ñòåðñòâà îáîðîíû. Äîëæíî ëè íàøå ãîñóäàðñòâî
(Ïðàâèòåëüñòâî, Âåðõîâíûé Ñîâåò) ñàìîóñòðàíÿòü-
ñÿ îò ðåøåíèÿ ýòîé ïðîáëåìû? Ïî ìíåíèþ àâòîðà,
îïðåäåëåííîå âûøå ïîíÿòèå èíäóñòðèè ÈÌÑ äîë-
æíî áûòü ñóáúåêòîì çàêîíîäàòåëüñòâà; ïîëèòè÷åñ-
êîå æå ðåøåíèå ìîæåò áûòü íàéäåíî, íàïðèìåð, íà
îñíîâå èííîâàöèîííîé òåîðèè èçâåñòíîãî óêðàèíñ-
êîãî ýêîíîìèñòà Ì. È. Òóãàí-Áàðàíîâñêîãî è êîí-
öåïöèé ñòðàòåãèè ýêîíîìè÷åñêîãî ðàçâèòèÿ â ïåðå-
õîäíûé ïåðèîä Í. À. Ïàâëîâñêîãî [17].
Ïðîìûøëåííàÿ ïîëèòèêà ìîæåò áûòü íàïðàâëå-
íà íà îáðàçîâàíèå íà îñíîâå ÏÑ (ñì. ðèñ. 2) ïðè-
áûëüíûõ ìèêðîýëåêòðîííûõ ôèíàíñîâî-ïðîìûøëåí-
íûõ ãðóïï (íà îñíîâå, íàïðèìåð, ÍÈÈ Ìèêðîïðèáî-
ðîâ â ã. Êèåâå). Â ðàìêàõ òàêîé ïîëèòèêè äîëæíû
áûòü âûáðàíû öåëè ñîçäàíèÿ èíäóñòðèè ïðîèçâîä-
ñòâà ÈÌÑ, ïóòè îáåñïå÷åíèÿ îáîðóäîâàíèåì è ëüãî-
òû ïðè ôóíêöèîíèðîâàíèè.
Ïðîáëåìû âîññòàíîâëåíèÿ èíäóñòðèè ÈÌÑ ñòðà-
òåãè÷åñêè íàñòîëüêî âàæíû, ÷òî èññëåäîâàíèÿ, âçàè-
ìîäåéñòâèå ñ âåäóùèìè ïðîèçâîäèòåëÿìè, ñîçäàíèå
ÑÀÏÐ òåõíîëîãèè è ÈÌÑ, îáåñïå÷åíèå òåõíîëîãè-
÷åñêèì îáîðóäîâàíèåì öåëåñîîáðàçíî ïðîèçâîäèòü
íå òîëüêî íà îñíîâå ñàìîôèíàíñèðîâàíèÿ êàêèõ-òî
ïðîåêòîâ, íî è öåíòðàëèçîâàííî � ìîæåò áûòü, ïðî-
ïîðöèîíàëüíî ñðåäñòâàì íà îáîðîíó.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Áîðù Í. È., Ðåïÿõ À. Ï. Ïóòè ðàçâèòèÿ ýëåìåíò-
íîé áàçû äëÿ ÐÝÀ â ñîâðåìåííûõ óñëîâèÿõ // Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.�
1997.� ¹2.� Ñ. 3�5.
2. Ìåðæâèíñêèé À. À. Àëüòåðíàòèâû ðàçâèòèÿ ïðî-
èçâîäñòâà ìèêðîñõåì â Óêðàèíå // ²íôîðìàòèçàö³ÿ òà
íîâ³ òåõíîëî㳿.� 1996.� ¹ 2.� Ñ. 9�12.
3. Êóòàíîâ À. Ò., Þäèöêèé Ñ. À. Êîìïëåêñ ìîäåëåé
êîìïüþòåðèçèðîâàííîé ñèñòåìíîé èíæåíåðèè (CASE-
òåõíîëîãèé) // Àâòîìàòèêà è òåëåìåõàíèêà.� 1995.�
¹ 1.� Ñ. 174�187.
4. Ôîððåñòåð Äæ. Îñíîâû êèáåðíåòèêè ïðåäïðèÿ-
òèÿ. Èíäóñòðèàëüíàÿ äèíàìèêà.� Ì.: Ïðîãðåññ, 1971.
5. Ëèòþøêèí Â. Â. Ìîäåëè ïðîèçâîäñòâåííûõ ñèñ-
òåì // Ïðèáîðû è ñèñòåìû óïðàâëåíèÿ.� 1994.� ¹ 4.�
Ñ. 45�47.
6. Ìîë÷àíîâ À. À. Ìîäåëèðîâàíèå è ïðîåêòèðîâà-
íèå ñëîæíûõ ñèñòåì.� Ê.: Âèùà øêîëà, 1988.
7. Sharad Saxena and Amy Unruh. Diagnosis of semi-
conductor manufacturing equipment and processes // IEEE
Transañtion on Semiconductor Manufacturing.� May
1994.� Vol. 7, N 2.� Ð. 220�232.
8. ×åðíÿåâ Â. Í. Òåõíîëîãèÿ ïðîèçâîäñòâà èíòåãðàëü-
íûõ ñõåì è ìèêðîïðîöåññîðîâ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1987.
9. Ìåðæâèíñêèé À. À., Îñèíñêèé Â. È., Êîðæèíñêèé
Ô. È. Ñòðóêòóðà êîìïëåêñà çàäà÷ óïðàâëåíèÿ ýëåêò-
ðîííî-ëèòîãðàôè÷åñêèì ïðîöåññîì è ñîâðåìåííûå êîí-
öåïöèè èõ ðåøåíèÿ / Ñá. ìàò-ëîâ 6 ìåæäóíàð. êðûìñ-
êîé êîíô. «ÑÂ×-òåõíèêà è òåëåêîììóíèêàöèîííûå òåõ-
íîëîãèè», Ñåâàñòîïîëü, 16�19 ñåíòÿáðÿ 1996.� Ñ. 447�
451.
10. Áóáåííèêîâ À. Í., Áóáåííèêîâ À. À. Òåõíî-
ýêîíîìèêà â ïðîèçâîäñòâå íàóêîåìêèõ ïðîäóêòîâ ìèê-
ðîýëåêòðîíèêè // Ýëåêòðîíèêà: Íàóêà, Òåõíîëîãèÿ, Áèç-
íåñ.� 1997.� ¹ 6.� Ñ. 49�54.
11. Krishna S. Saraswat, Pushkar P. Aple, Leonard Both
et al. Rapid thermal multiprocessing fîr a programable
factory for adaptable manufacturing of IC�S // IEEE Trans-
añtion on Semiconductor Manufacturing.� May 1994.�
Vol. 7, N 2.� Ð. 159�173.
12. John MñGehee, John Hebley and Jack Mahabley.
The MMST ñomputer integrated manufacturing system
framework // Ibid.� P. 107�117.
13. Äåðêà÷ Â. Ï. Ñîñòîÿíèå è âàæíåéøèå òåíäåíöèè
â ðàçâèòèè ýëåìåíòíî-òåõíîëîãè÷åñêîé áàçû ÝÂÌ //
ÓÑèÌ.� 1987.� ¹ 6.� Ñ. 61�70.
14. Îñèíñêèé Â. È., Îëåêñåíêî Ï. Ô., Ïàëàãèí À. Â.
è äð. Ïðîáëåìû èíòåãðàöèè ñòðóêòóð ãåòåðîýëåêòðîíèêè
ñ êðåìíèåâûìè ÈÑ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â
ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.�1999.� ¹ 1.� Ñ. 3�17.
15. «Ýëüáðóñ-2000». Èíòåðâüþ ñ Áàáàÿíîì Á. À. //
Ýëåêòðîíèêà: Íàóêà, Òåõíîëîãèÿ, Áèçíåñ.� 1999.�
¹ 1.� Ñ. 3�5.
16. Ýëåêòðîííàÿ ïðîìûøëåííîñòü çà ðóáåæîì. �
Ì.: Ïðîãðåññ, 1988.
17. Ïàâëîâñüêèé Ì. À. Ìàêðîåêîíîì³êà ïåðåõ³äíî-
ãî ïåð³îäó: Óêðà¿íñüêèé êîíòåêñò.� Ê.: Òåõí³êà, 1999.
ÒÅÕÍÈ×ÅÑÊÀß ÏÎËÈÒÈÊÀ
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â
ï
îðòô
åë
å
ðåä
àê
ö
è
è
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
ä
àê
ö
è
è
Ø
Ø
Àâòîìàòèçèðîâàííûé ìîíòàæ êðèñòàëëîâ ìîùíûõ òðàíçèñòîðîâ âèáðàöèîííîé ïàéêîé. Ë. Ï.
Àíóôðèåâ, Â. Ë. Ëàíèí, À. Ô. Êåðåíöåâ, À. Ì. Èâàø (Áåëîðóññèÿ, ã. Ìèíñê)
Ñèñòåìà äèàãíîñòèðîâàíèÿ ìàøèííîãî îáîðóäîâàíèÿ. Ý. À. Äìèòðèåâ, Ñ. Â. Åìåëüÿíîâ (Óêðàè-
íà, ã. Îäåññà)
Ø
Ø
Óñòðîéñòâî äëÿ î÷èñòêè è ëåãèðîâàíèÿ ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêà.
À. Â. Èâàùóê, Â. Ï. Êîõàí (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Îñîáåííîñòè ïðèìåíåíèÿ íàïûëåííîé ôîëüãè äëÿ àëþìèíèåâûõ ýëåêòðî-
ëèòè÷åñêèõ êîíäåíñàòîðîâ. Ã. Ô. Ãîðäèåíêî, À. È. Ñòðåìåöêèé, Ã. Â. Òðè-
ôîíîâà (Óêðàèíà, ã. Õìåëüíèöêèé)
|