Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах
Доказывается возможность создания эффективных излучающих диодов на основе полупроводников типа A₂B₆, использующих барьер Шоттки. Известные преимущества высокого квантового выхода таких полупроводников не реализованы из-за трудности создания на их основе p—n-перехода и из-за малой дырочной составляющ...
Gespeichert in:
Datum: | 2000 |
---|---|
1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70931 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах / А.С. Гаркавенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 60-61. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-70931 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-709312014-11-17T03:01:42Z Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах Гаркавенко, А.С. Материалы для компонентов Доказывается возможность создания эффективных излучающих диодов на основе полупроводников типа A₂B₆, использующих барьер Шоттки. Известные преимущества высокого квантового выхода таких полупроводников не реализованы из-за трудности создания на их основе p—n-перехода и из-за малой дырочной составляющей тока у металлов, применяемых для получения барьера. Между тем у сурьмы, ванадия, хрома и др. Эта составляющая достигает более 10²⁵ м⁻³. The opportunity of creation of effective radiating diodes is proved on the basis of semiconductors of A₂B₆ type using a Shottki's barrier. The known advantages of a high quantum exit of such semiconductors are not realized because of difficulty of creation on their basis p n-transition and small hole component of a current at metals used for reception of a barrier. Meanwhile in antimony, vanadium, chrom etc this component achieves more than 10²⁵ m⁻³. 2000 Article Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах / А.С. Гаркавенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 60-61. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70931 535.34:621.362.1 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Материалы для компонентов Материалы для компонентов |
spellingShingle |
Материалы для компонентов Материалы для компонентов Гаркавенко, А.С. Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Доказывается возможность создания эффективных излучающих диодов на основе полупроводников типа A₂B₆, использующих барьер Шоттки. Известные преимущества высокого квантового выхода таких полупроводников не реализованы из-за трудности создания на их основе p—n-перехода и из-за малой дырочной составляющей тока у металлов, применяемых для получения барьера. Между тем у сурьмы, ванадия, хрома и др. Эта составляющая достигает более 10²⁵ м⁻³. |
format |
Article |
author |
Гаркавенко, А.С. |
author_facet |
Гаркавенко, А.С. |
author_sort |
Гаркавенко, А.С. |
title |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
title_short |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
title_full |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
title_fullStr |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
title_full_unstemmed |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
title_sort |
металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2000 |
topic_facet |
Материалы для компонентов |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70931 |
citation_txt |
Металлы с дырочной проводимостью в излучающих поверхностно-барьерных диодах / А.С. Гаркавенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 60-61. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT garkavenkoas metallysdyročnojprovodimostʹûvizlučaûŝihpoverhnostnobarʹernyhdiodah |
first_indexed |
2025-07-05T20:02:46Z |
last_indexed |
2025-07-05T20:02:46Z |
_version_ |
1836838569035956224 |
fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
60
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÎÂ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
18.11 1999 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. À. ÌÎÊÐÈÖÊÈÉ
Ê. ô.-ì. í. À. Ñ. ÃÀÐÊÀÂÅÍÊÎ
Óêðàèíà, ã. Ëüâîâ, Öåíòð ôèç.-ìàò. èññëåäîâàíèé �Êâàðê�
ÌÅÒÀËËÛ Ñ ÄÛÐÎ×ÍÎÉ ÏÐÎÂÎÄÈÌÎÑÒÜÞ
 ÈÇËÓ×ÀÞÙÈÕ ÏÎÂÅÐÕÍÎÑÒÍÎ-ÁÀÐÜÅÐÍÛÕ
ÄÈÎÄÀÕ
Ìåòàëëû ñ äûðî÷íîé ïðîâîäèìîñòüþ
ïîçâîëÿþò ïîëó÷èòü èçëó÷àþùèå äèî-
äû íà îñíîâå áàðüåðà Øîòòêè ñ ïîëó-
ïðîâîäíèêàìè A2B6.
Èçâåñòíî, ÷òî ïîëóïðîâîäíèêîâûå ìàòåðèàëû ñ
óíèïîëÿðíîé ïðîâîäèìîñòüþ (ZnS, ZnO, CdS, CdSe,
GaN è ò. ä.) ÿâëÿþòñÿ ïðÿìîçîííûìè è èìåþò âû-
ñîêèé êâàíòîâûé âûõîä èçëó÷àòåëüíîé ðåêîìáèíà-
öèè. Â ýòîé ñâÿçè àêòóàëüíûì ñòàíîâèòñÿ âîïðîñ î
ñîçäàíèè íà îñíîâå ýòèõ ìàòåðèàëîâ ñâåòîäèîäîâ è
èíæåêöèîííûõ ëàçåðîâ. Îäíàêî ïîëó÷åíèå ð�n-ïå-
ðåõîäà íà ZnS, ZnO, GaN ïðàêòè÷åñêè íåâîçìîæíî, à
íà CdS, CdSe, ZnSe � ñâÿçàíî c ñóùåñòâåííûìè
òåõíîëîãè÷åñêèìè òðóäíîñòÿìè [1]. Ýòè òðóäíîñòè
ïîáóæäàþò ñïåöèàëèñòîâ ñîçäàâàòü íà îñíîâå òàêèõ
ñîåäèíåíèé äðóãèå òèïû âûïðÿìëÿþùèõ ñòðóêòóð,
íàïðèìåð, äèîäû Øîòòêè èëè, êàê îíè åùå íàçûâà-
þòñÿ, ïîâåðõíîñòíî-áàðüåðíûå äèîäû, îñíîâàííûå íà
êîíòàêòå «ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê».
Ïîñêîëüêó áàçîâûé ïîëóïðîâîäíèê çäåñü èìå-
åò n-òèï ïðîâîäèìîñòè, òî äëÿ âîçíèêíîâåíèÿ ëþìè-
íåñöåíòíîãî èçëó÷åíèÿ íåîáõîäèìà èíæåêöèÿ äû-
ðîê â íåãî. Êàê ïðàâèëî, äëÿ ìåòàëëîâ äûðî÷íàÿ
ñîñòàâëÿþùàÿ òîêà � íè÷òîæíàÿ äîëÿ ýëåêòðîí-
íîé. Âìåñòå ñ òåì èíæåêöèÿ äûðîê èç ìåòàëëà â
ïîëóïðîâîäíèê ñòàíîâèòñÿ ñóùåñòâåííîé ïðè ñèëü-
íîì èñêðèâëåíèè ýíåðãåòè÷åñêèõ çîí ó ïîâåðõíîñòè,
ò. å. ïðè âûñîêîì ïîòåíöèàëüíîì áàðüåðå [2, ñ. 116].
Ýòèì ìîæíî âîñïîëüçîâàòüñÿ äëÿ ñîçäàíèÿ äèîäîâ
íà îñíîâå Au�ZnS, Au�ZnSe, Ni�ZnSe [3], íî òà-
êèå äèîäû îáëàäàþò íèçêèì êâàíòîâûì âûõîäîì
(0,1�0,01 %) è íèçêîé èíòåíñèâíîñòüþ èçëó÷åíèÿ
(500�1000 ôîòîí/ñ) . Ýòî åñòåñòâåííî, ïîñêîëüêó
åñëè ïëîòíîñòü ïîòîêà äûðîê îöåíèòü ïî ôîðìóëå
( )[ ]N S N E eu kTp T g≈ − −ϑ exp , (1)
òî îíà ñîñòàâèëà ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå (ïðè
u≈1,4...1,6 Â, ϑÒ≈107 ñì/ñ è N≈1018...1019 ñì�3) ïðè-
ìåðíî 102�108 ñ�1, ò. å. áûëà äîñòàòî÷íî ìàëà äëÿ
èíòåíñèâíîé èíæåêöèîííîé ëþìèíåñöåíöèè.
Äëÿ óâåëè÷åíèÿ ïëîòíîñòè ïîòîêà äûðîê èç ìå-
òàëëà â ïîëóïðîâîäíèê â äàííîé ðàáîòå ïðåäëàãàåò-
ñÿ èñïîëüçîâàòü êîíòàêòèðóþùèé ìåòàëë, îáëà-
äàþùèé íå ýëåêòðîííîé, à äûðî÷íîé ïðîâîäèìîñ-
òüþ. Òàêèìè ìåòàëëàìè, ïî äàííûì èçìåðåíèÿ ýô-
ôåêòà Õîëëà [4, ñ. 76], ÿâëÿþòñÿ âàíàäèé, õðîì, ìàð-
ãàíåö, æåëåçî. Â ýòîì ðÿäó ìîæåò áûòü ðàññìîòðåí
è ïîëóìåòàëë ñóðüìà. Ñóðüìà, íàïðèìåð, èìååò âûñî-
êóþ êîíöåíòðàöèþ äûðîê (ð≈5,5·1019 ñì�3 [5, ñ. 124]),
à äûðî÷íàÿ ïðîâîäèìîñòü ñîõðàíÿåòñÿ âïëîòü äî
òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ.
Äëÿ ñèëüíî ëåãèðîâàííîãî ïîëóïðîâîäíèêà n-òèïà
ïëîòíîñòü ïðÿìîãî òîêà ÷åðåç áàðüåð Øîòòêè ðàâ-
íà [11]
j
ep
eT
eu
kT= −
ϑ
4
1 , (2)
ãäå epϑÒ/4=jS � ïëîòíîñòü òîêà íàñûùåíèÿ, ðàâ-
íàÿ ïëîòíîñòè äûðî÷íîãî òîêà èç ìåòàëëà â ïîëó-
ïðîâîäíèê.
Âåëè÷èíó ïîëíîãî ïîòîêà èíæåêöèîííîé ëþìè-
íåñöåíöèè ìîæíî îöåíèòü ïî ôîðìóëå
I≈pd/τ, (3)
Ïðè ð≈1019 ñì�3, d≈0,1 ìêì, τ≈10�7 ñ âåëè÷èíà I
ïðèìåðíî ðàâíà 1021 ôîòîí/(ñì2·ñ), ÷òî ñâèäåòåëü-
ñòâóåò îá èíòåíñèâíîé ëþìèíåñöåíöèè. (Ïðèìåíå-
íèå, íàïðèìåð, ñóðüìû äëÿ ñîçäàíèÿ áàðüåðà Øîò-
òêè ñ ñóëüôèäîì êàäìèÿ ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ïîë-
íûé ïîòîê èíæåêöèîííîé ëþìèíåñöåíöèè îêîëî
1025 ôîòîí/ (ì2·ñ).)
Î÷åâèäíî, ýòîò ôàêò ìàëîèçâåñòåí (èëè íåèçâåñ-
òåí âîâñå), è âñå ïðåäøåñòâóþùèå èññëåäîâàòåëè èç-
ëó÷àþùèõ äèîäîâ Øîòòêè ïðîøëè ìèìî íåãî. Àâòî-
ðîì ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ ôèçè÷åñêèõ õàðàêòåðè-
ñòèê òàêèõ èçëó÷àþùèõ äèîäîâ íà îñíîâå êîíòàêòà
Sb�ZnS, Sb�ZnSe, Sb�ZnO, Sb�CdS, Sb�GaN è
ò. ä. è çàïàòåíòîâàí ñïîñîá èõ ïîëó÷åíèÿ.
ãäå S �
ϑÒ �
N �
Eg �
å �
u �
k �
Ò �
ïëîùàäü ïåðåõîäà;
ñðåäíÿÿ òåïëîâàÿ ñêîðîñòü íîñèòåëåé;
ýôôåêòèâíàÿ ïëîòíîñòü ñîñòîÿíèé â ìåòàëëå;
øèðèíà çàïðåùåííîé çîíû ïîëóïðîâîäíèêà;
çàðÿä ýëåêòðîíà;
ïðÿìîå íàïðÿæåíèå, ïðèëîæåííîå ê äèîäó;
ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà;
àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà,
âðåìÿ æèçíè íîñèòåëåé;
øèðèíà îáåäíåííîãî ñëîÿ.
ãäå τ �
d �
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 61
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÄËß ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÎÂ
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ãåîðãîáèàíè À. Í., Êîòëÿðåâñêèé Ì. Á. Ïðîáëåìû
ñîçäàíèÿ èíæåêöèîííûõ ñâåòîäèîäîâ íà îñíîâå øèðîêî-
çîííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé À2Â6 // Èçâ. ÀÍ
ÑÑÑÐ. Ñåð. Ôèç.� 1985.� Ò. 49, ¹ 10.� Ñ. 1916�1992.
2. Âåðåùàãèí È. Ê., Êîâàëåâ Á. À., Êîñÿ÷åíêî
Ë. À., Êîêèí Ñ. Í. Ýëåêòðîëþìèíåñöåíòíûå èñòî÷íèêè
ñâåòà.� Ì. : Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1990.
3. Ãàðêàâåíêî À. Ñ., Ãàòàëî Ì. Ñ., Êîñîáóöêèé Ï. Ñ.
Èçìåðåíèå êâàíòîâîãî âûõîäà ôîòî- è ýëåêòðîëþìèíåñ-
öåíöèè // Ôèçè÷åñêàÿ ýëåêòðîíèêà.� 1992.� Âûï.
42.� Ñ. 116�118.
4. Ñîáîëåâ Â. Ä. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû ýëåêòðîííîé
òåõíèêè.� Ì. : Âûñøàÿ øêîëà, 1979.
5. Êàëëóýé Äæ. Òåîðèÿ ýíåðãåòè÷åñêîé çîííîé ñòðóê-
òóðû.� Ì. : Ìèð, 1969.
Ñôîðìóëèðîâàíû ïðåäëîæåíèÿ ïî îðãà-
íèçàöèè â Äîíåöêîì ÍÈÈ êîìïëåêñ-
íîé àâòîìàòèçàöèè öåíòðà ïî ïðîèç-
âîäñòâó îòå÷åñòâåííûõ âîëîêîííî-îï-
òè÷åñêèõ ýíäîñêîïîâ.
Êàê èçâåñòíî, âîëîêîííî-îïòè÷åñêèå ýíäîñêîïû,
ïðèáîðû âèçóàëüíîé ìåäèöèíñêîé è òåõíè÷åñêîé äè-
àãíîñòèêè, îòíîñÿòñÿ ê èçäåëèÿì òåõíîëîãèé âûñî-
êîãî óðîâíÿ [1, 2]. Îñîáåííî ïåðñïåêòèâíû èõ ïðè-
ìåíåíèÿ ñ ó÷åòîì ïîÿâëåíèÿ äàííûõ ïî âçàèìîäåé-
ñòâèþ áèîëîãè÷åñêèõ òêàíåé ñ ëàçåðíûì èçëó÷åíèåì
[3], êîãäà ñ ïîìîùüþ âîëîêîííî-îïòè÷åñêèõ ëèíèé
ïåðåäà÷è ëàçåðíîãî èçëó÷åíèÿ ëåãêî ðåøàþòñÿ çàäà-
÷è òåðàïèè è õèðóðãèè òðóäíîäîñòóïíûõ îðãàíîâ.
 ðàìêàõ ïðîãðàììû ðàçâèòèÿ ìåäèöèíñêîãî ïðè-
áîðîñòðîåíèÿ Äîíåöêèì ÍÈÈ êîìïëåêñíîé àâòîìà-
òèçàöèè áûëà íà÷àòà ðàçðàáîòêà ïåðâîãî îòå÷åñòâåí-
íîãî âîëîêîííî-îïòè÷åñêîãî (ãèáêîãî) ãàñòðîäóî-
äåíîñêîïà (ÃÄ-ÂÎ-1). (Çàêàç÷èêîì ÿâëÿåòñÿ ÃÓÎ
«Ïîëèòåõìåä», ìåäèêî-òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ íà
ðàçðàáîòêó óòâåðæäåíû Êîìèòåòîì ïî íîâîé ìåäè-
öèíñêîé òåõíèêå ÌÎÇ Óêðàèíû.) Äî ýòîãî â Óêðà-
èíå íå ðàçðàáàòûâàëèñü è íå èçãîòîâëÿëèñü èçäåëèÿ
òàêîãî óðîâíÿ.  êà÷åñòâå àíàëîãà áûë ïðèíÿò ãàñ-
òðîäóîäåíîñêîï ïðîèçâîäñòâà Ñàíêò-Ïåòåðáóðãñêî-
ãî îáúåäèíåíèÿ «ËÎÌλ � ÃÄ-Á-ÂÎ-3.
Ñîèñïîëíèòåëÿìè ðàçðàáîòêè âûñòóïèëè ÑÊÒÁ
«Ýëåêòðîìåäòåõíèêà» (ã. Êàìåíåö-Ïîäîëüñê), Èí-
ñòèòóò ïðîáëåì ðåãèñòðàöèè èíôîðìàöèè ÍÀÍÓ
(ã. Êèåâ), íàó÷íî-ïðîèçâîäñòâåííûå ôèðìû «Îïò-
ðîí» (ã. Ìåëèòîïîëü) è «ÄÈÑÊ» (ã. Äîíåöê).
Ìåäèêî-òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ ê ãàñòðîäóîäå-
íîñêîïó: îáùàÿ äëèíà � 1349,5±40 ìì; ðàçìåð ïî-
ïåðå÷íîãî ñå÷åíèÿ ðàáî÷åé ÷àñòè � 12,3±1,0 ìì;
äèàìåòð èíñòðóìåíòàëüíîãî êàíàëà � 2,8±0,2 ìì;
äëèíà ðàáî÷åé ÷àñòè � 1035±30 ìì; äëèíà äèñòàëü-
íîãî óïðàâëÿåìîãî êîíöà � 100± 5 ìì; äëèíà æåñ-
òêîé ÷àñòè äèñòàëüíîãî êîíöà � íå áîëåå 10 ìì;
äëèíà îñâåòèòåëüíîãî êàáåëÿ � 1600±48 ìì; ïîëå
çðåíèÿ ãàñòðîäóîäåíîñêîïà äîëæíî èìåòü ðåçêóþ
ãðàíèöó, â íåì íå äîëæíî áûòü âèäíî ñâåòÿùèõñÿ
ôàñîê îïòè÷åñêèõ äåòàëåé è ðåôëåêñîâ, ìåøàþùèõ
íàáëþäåíèþ è ñíèæàþùèõ êà÷åñòâî èçîáðàæåíèÿ;
ïðè îñìîòðå ïîëÿ çðåíèÿ ãàñòðîäóîäåíîñêîïà â
ïðîõîäÿùåì ñâåòå íå äîëæíû áûòü âèäíû çàãðÿçíå-
íèÿ, ïÿòíà, öàðàïèíû, íàëåòû, ñâèëè è äûìû, ìåøàþ-
ùèå íàáëþäåíèþ; óãëîâîå ïîëå îïòè÷åñêîé ñèñòå-
ìû ãàñòpîäóîäåíîñêîïà â ïðîñòðàíñòâå ïðåäìå-
òîâ � 100±15°; äèàïàçîí ðàáî÷èõ ðàññòîÿíèé îïòè-
÷åñêîé ñèñòåìû � 3�100 ìì; ðàñ÷åòíîå ðàáî÷åå
ðàññòîÿíèå � 15± 5 ìì; âèäèìîå óâåëè÷åíèå îïòè-
÷åñêîé ñèñòåìû íà ðàñ÷åòíîì ðàáî÷åì ðàññòîÿíèè
� íå ìåíåå 1,5 êðàò; ðàçðåøàþùàÿ ñïîñîáíîñòü îï-
òè÷åñêîé ñèñòåìû íà ðàñ÷åòíîì ðàáî÷åì ðàññòîÿíèè
â öåíòðå ïîëÿ � íå ìåíåå 3 ëèí/ìì; ìàêñèìàëüíàÿ
îñâåùåííîñòü ðàáî÷åé çîíû íà ðàñ÷åòíîì ðàáî÷åì
ðàññòîÿíèè � íå ìåíåå 3000 ëê è íå ìåíåå 3600 ëê
� ïðè ôîòîãðàôèðîâàíèè; â ïîëå çðåíèÿ ãàñòpîäóî-
äåíîñêîïà íå äîëæíî áûòü áîëåå 40 òåìíûõ è ñå-
ðûõ ïÿòåí; êîýôôèöèåíò ðàâíîìåðíîñòè îñâåùåí-
íîñòè îáúåêòà íàáëþäåíèÿ � íå ìåíåå 0,6; êîýô-
ôèöèåíò èíòåãðàëüíîãî ñâåòîïðîïóñêàíèÿ êàíàëîâ
îñâåùåíèÿ è ïåðåäà÷è èçîáðàæåíèÿ � íå ìåíåå
7 %; óãîë èçãèáà äèñòàëüíîãî êîíöà ãàñòpîäóîäåíî-
ñêîïà: ââåðõ � 180°, âíèç � 90°, âïðàâî � 100°,
âëåâî � 100°; äîïóñòèìîå îòêëîíåíèå óãëà èçãèáà
äèñòàëüíîãî êîíöà íå áîëåå +20°, �10°; äèîïòðèéíàÿ
ïîäâèæêà îêóëÿðà � ± 5 äïòð; ðàáî÷àÿ ÷àñòü ãàñò-
ðîäóîäåíîñêîïà äîëæíà áûòü ãåðìåòè÷íîé; ìàññà
ãàñòpîäóîäåíîñêîïà � íå áîëåå 1,5 êã; ãàñòpîäóî-
ÃÀÑÒÐÎÄÓÎÄÅÍÎÑÊÎÏ Ñ ÂÎËÎÊÎÍÍÎÉ ÎÏÒÈÊÎÉ
Óêðàèíà, ã. Äîíåöê, ÍÈÈ êîìïëåêñíîé àâòîìàòèçàöèè
ÎÒ ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Ê ÂÍÅÄÐÅÍÈÞ
|