Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
Предложена методика обработки данных при автоматизированном дефектоскопическом контроле материалов и поверхностей, алгоритмы распознавания текстурно-однородных областей и распознавания объекта на фоне текстуры. При распознавании текстурно-однородных областей проводится сегментация изображения по тек...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70963 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники / В.Н. Крылов, С.Г. Антощук, Г.Ю. Щербакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 5-6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-70963 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-709632014-11-19T03:01:47Z Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники Крылов, В.Н. Антощук, С.Г. Щербакова, Г.Ю. Технология производства Предложена методика обработки данных при автоматизированном дефектоскопическом контроле материалов и поверхностей, алгоритмы распознавания текстурно-однородных областей и распознавания объекта на фоне текстуры. При распознавании текстурно-однородных областей проводится сегментация изображения по текстурным признакам, распознавание и классификация текстур в текстурно-однородном фрагменте. Для распознавания и классификации текстур в текстурно-однородных областях использовались геометрические моменты-признаки. The procedure of processing data on automation defectoskopic inspection of materials and surfaces, recognition algorithms of region homogeneous texture and object recognition on texture background has been proposed. On recognition of region homogeneous texture a segmentation of image on base texturial signs, recognition and classification textures in fragment homogeneous texture is given. For recognition and classification of textures in region homogeneous texture the geometrical momentssigns were used. 2000 Article Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники / В.Н. Крылов, С.Г. Антощук, Г.Ю. Щербакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 5-6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70963 621.382 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технология производства Технология производства |
| spellingShingle |
Технология производства Технология производства Крылов, В.Н. Антощук, С.Г. Щербакова, Г.Ю. Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предложена методика обработки данных при автоматизированном дефектоскопическом контроле материалов и поверхностей, алгоритмы распознавания текстурно-однородных областей и распознавания объекта на фоне текстуры. При распознавании текстурно-однородных областей проводится сегментация изображения по текстурным признакам, распознавание и классификация текстур в текстурно-однородном фрагменте. Для распознавания и классификации текстур в текстурно-однородных областях использовались геометрические моменты-признаки. |
| format |
Article |
| author |
Крылов, В.Н. Антощук, С.Г. Щербакова, Г.Ю. |
| author_facet |
Крылов, В.Н. Антощук, С.Г. Щербакова, Г.Ю. |
| author_sort |
Крылов, В.Н. |
| title |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| title_short |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| title_full |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| title_fullStr |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| title_full_unstemmed |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| title_sort |
обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2000 |
| topic_facet |
Технология производства |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70963 |
| citation_txt |
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники / В.Н. Крылов, С.Г. Антощук, Г.Ю. Щербакова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 5-6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT krylovvn obrabotkadannyhpriavtomatizaciidefektoskopičeskogokontrolâmaterialovélektronnojtehniki AT antoŝuksg obrabotkadannyhpriavtomatizaciidefektoskopičeskogokontrolâmaterialovélektronnojtehniki AT ŝerbakovagû obrabotkadannyhpriavtomatizaciidefektoskopičeskogokontrolâmaterialovélektronnojtehniki |
| first_indexed |
2025-07-05T20:04:01Z |
| last_indexed |
2025-07-05T20:04:01Z |
| _version_ |
1836838647798693888 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 5�6 45
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Òàêèì îáðàçîì, îïèñàííîå óñòðîéñòâî äëÿ òåðìî-
îáðàáîòêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí îáåñïå÷è-
âàåò áûñòðûé íàãðåâ è îõëàæäåíèå îáðàçöîâ â âîñ-
ñòàíîâèòåëüíîé ñðåäå (âîäîðîäå), ÷òî ñîçäàåò íåîá-
õîäèìûå óñëîâèÿ äëÿ ðàâíîìåðíîé ðåêðèñòàëëèçà-
öèè è óëó÷øåíèÿ ìîðôîëîãèè ÎÊ â ïðîöåññå âïëàâ-
ëåíèÿ ìåòàëëèçàöèè. Ó÷åò çàâèñèìîñòè ðåæèìîâ òåð-
ìîîáðàáîòêè îò ìàññû ïëàñòèíû ïðè èçãîòîâëåíèè
ÑÂ× ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ (ÏÒØ, äèîäîâ,
ÌÈÑ) ïîçâîëÿåò îïòèìèçèðîâàòü òåõíîëîãè÷åñêèå
ïðîöåññû ôîðìèðîâàíèÿ ÎÊ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Piotrowska A., Guivac�h A., Pelous G. Ohmic
contacts to III�V compound semiconductors: A review
of fabrication techniques // Solid-St. Electron.� 1983.�
Vol. 26, N 3.� P. 179�197.
2. Êàãàíîâè÷ Ý. Á., Ñâåøíèêîâ Ñ. Â. Ïîëó÷åíèå îìè-
÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê ïîëóïðîâîäíèêîâûì ñîåäèíåíèÿì
À3Â5 (îáçîð) // Îïòîýëåêòðîíèêà è ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ
òåõíèêà.� 1992.� Âûï. 22.� Ñ. 1�16.
3. Robinzon G. Y. Metallurgical and electrical cha-
racterization of metal-semiconductor contacts // Thin Solid
Films. � 1980. � Vol. 72, N 1. � P. 129�141.
4. Braslau M. Alloyed ohmic contacts to GaAs //
J. Vac. Sci. Technol.� 1981.�Vol. 19, N 3.� P. 803�807.
5. Áðÿíöåâà Ò. À., Ëàêàøèí Â. Â., Ëþá÷åíêî Â. Å.
Îñîáåííîñòè êîàëåñöåíöèè òîíêèõ ïëåíîê Au�Ge ïðè
ôîðìèðîâàíèè êîíòàêòîâ îãðàíè÷åííûõ ðàçìåðîâ // Ôè-
çèêà òâåðäîãî òåëà.� 1988.� Ò. 30, âûï. 3.�C. 645�
648.
6. Âîëîæåíèíîâ È. Î., Èâàùóê À. Â. Îïòèìàëüíûå
ðåæèìû òåðìîîáðàáîòêè îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê n-GaAs
// Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðè-
áîðû.� 1981.� Âûï.5.� Ñ. 74�75.
7. ²âàùóê À. Â. Ôîðìóâàííÿ îì³÷íèõ êîíòàêò³â ç
îäíî÷àñíèì î÷èùåííÿì ïîâåðõí³ àðñåí³äó ãàë³þ ³ ¿¿ ëå-
ãóâàííÿì àòîìàìè ãåðìàí³þ // Íàóêîâ³ â³ñò³.� 2000.�
Âèï. 2.� Ñ. 5�8.
8. Ïàòåíò 16522 Óêðàèíû îò 29.08.97. Ñïîñ³á âèãî-
òîâëeííÿ ñòðóêòóð ïîëüîâèõ òðàíçèñòîð³â ç áàð�ºðîì
Øîòòê³ // Â. ². Áîñèé, A. B. ²âàùóê, Â. Ï. Êîõàí òà ³í.
9. Ïàòåíò 16341 Óêðàèíû îò 29.08.97. Âèïàðíèê äëÿ
íàïèëåííÿ ðå÷îâèíè â âàêóóì³ // À. Â. ²âàùóê, Â. Ã.
Êîðíóñ, Â. Ï. Êîõàí, Â. Ì. ßøíèê.
10. À. ñ. 299219 Óêðàèíû îò 1.08.1989. Ñïîñîá èçãî-
òîâëåíèÿ îìè÷åñêîãî êîíòàêòà ê ïîëóïðîâîäíèêîâîìó ñî-
åäèíåíèþ À3Â5 ñ ïðîâîäèìîñòüþ n-òèïà // Â. È. Áîñûé, À. Â.
Èâàùóê, Â. Ï. Êîõàí, Ì. À. Ñòîâïîâîé.
11. Êóðèí Â. Â., Êðàâ÷åíêî Ë. Í., Óðàëîâ À. À. è äð.
Ñâîéñòâà îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê àðñåíèäó ãàëëèÿ íà
îñíîâå ñèñòåì Au�Ge�Ni // Ýëåêòðîííàÿ ïðîìûøëåí-
íîñòü.� 1990.� ¹ 3.� Ñ. 30�32.
Ðåøàþòñÿ çàäà÷è ðàñïîçíàâàíèÿ òåê-
ñòóð è îáúåêòîâ íà ôîíå òåêñòóðû
ïðè êîíòðîëå ìàòåðèàëîâ è ïîâåðõíî-
ñòåé èçäåëèé ýëåêòðîííîé òåõíèêè.
Ñ ðîñòîì ñòåïåíè èíòåãðàöèè è ôóíêöèîíàëüíîé
ñëîæíîñòè ìèêðîñõåì ñòàíîâÿòñÿ æåñò÷å òðåáîâà-
íèÿ ê êîíòðîëþ ñîñòîÿíèÿ ìàòåðèàëîâ ýëåêòðîííîé
òåõíèêè. Ñîçäàíèå ñîâðåìåííûõ ÁÈÑ è ÑÁÈÑ, ëè-
íèé çàäåðæêè, ôèëüòðîâ òðåáóåò èñïîëüçîâàíèÿ íà-
äåæíûõ ñðåäñòâ êîíòðîëÿ êà÷åñòâà ìàòåðèàëîâ è
ïîâåðõíîñòåé èñõîäíûõ ïëàñòèí â ïðîöåññå èõ òåõ-
íîëîãè÷åñêîé îáðàáîòêè. Âìåñòå ñ òåì òðàäèöèîííî
èñïîëüçóåìûå â ïðîèçâîäñòâå ñïîñîáû êîíòðîëÿ
îñíîâûâàþòñÿ íà òðóäîåìêèõ è ñóáúåêòèâíûõ âè-
çóàëüíûõ ìåòîäàõ. Òàêèì îáðàçîì, îñòàåòñÿ àêòóàëü-
íîé çàäà÷à àâòîìàòèçàöèè âèçóàëüíîãî äåôåêòîñêî-
ïè÷åñêîãî êîíòðîëÿ ìàòåðèàëîâ ñ òåêñòóðèðîâàííîé
ÎÁÐÀÁÎÒÊÀ ÄÀÍÍÛÕ ÏÐÈ ÀÂÒÎÌÀÒÈÇÀÖÈÈ
ÄÅÔÅÊÒÎÑÊÎÏÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÊÎÍÒÐÎËß
ÌÀÒÅÐÈÀËÎÂ ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÒÅÕÍÈÊÈ
Ê. ò. í. Â. Í. ÊÐÛËÎÂ, ê. ò. í. Ñ. Ã. ÀÍÒÎÙÓÊ,
ê. ò. í. Ã. Þ. ÙÅÐÁÀÊÎÂÀ
Óêðàèíà, Îäåññêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
Ïî ìàòåðèàëàì äîêëàäà íà ÌÍÏÊ «Ñîâðå-
ìåííûå èíôîðìàöèîííûå è ýëåêòðîííûå
òåõíîëîãèè» («ÑÈÝÒ�2000»).�
23�26 ìàÿ 2000 ã., Îäåññà
ïîâåðõíîñòüþ ïóòåì ïðèìåíåíèÿ êîìïüþòåðíûõ ñè-
ñòåì îáðàáîòêè è àíàëèçà èçîáðàæåíèé.
Íåîáõîäèìîñòü â àâòîìàòèçàöèè âèçóàëüíîãî äåôåê-
òîñêîïè÷åñêîãî êîíòðîëÿ ìàòåðèàëîâ ñ òåêñòóðèðîâàííîé
ïîâåðõíîñòüþ âîçíèêàåò òàêæå â èññëåäîâàòåëüñêèõ ðà-
áîòàõ, íàïðèìåð, ïðè çàìåíå ïðèìåíÿåìûõ â ñîñòàâå ðåçè-
ñòèâíûõ ïàñò áëàãîðîäíûõ ìåòàëëîâ è èõ ñîåäèíåíèé
íîâûìè, áîëåå äåøåâûìè ìàòåðèàëàìè [1] (ðèñ. 1), ïðè
îáíàðóæåíèè äåôåêòîâ (äèñëîêàöèé íåñîîòâåòñòâèÿ) [2]
(ðèñ. 2), ïðè àíàëèçå ôîðì ïðîÿâëåíèÿ ýôôåêòîâ ðàññåÿ-
íèÿ â ïðîöåññå ôîðìèðîâàíèÿ ìàñîê [3] (ðèñ. 3) è ò. ä.
Ïðèâåäåííûå èçîáðàæåíèÿ ïëåíîê è ìàòåðèàëîâ îò-
íîñÿòñÿ ê òåêñòóðíûì, ò. å. èìåþò, â îñíîâíîì, ïîâòîðÿ-
þùóþñÿ ñòðóêòóðó. Èçîáðàæåíèÿ äåôåêòîâ (ïîð) íà
èçîáðàæåíèÿõ îáðàçöîâ òâåðäîãî ðàñòâîðà BaB6�LaB6
(ðèñ. 1, ï � ïîðû), äèñëîêàöèé íåñîîòâåòñòâèÿ íà ãðàíè-
öå ðàçäåëà (100)CdTe/(100)GaAs (ðèñ. 2), ôîðìû ïðî-
ÿâëåíèÿ ýôôåêòîâ ðàññåÿíèÿ âî âíóòðåííåé ÷àñòè ðåãó-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 5�6
46
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
ëÿðíîãî ìàññèâà ýëåìåíòîâ (ñìûêàíèå ÿ÷ååê íà íàêëîí-
íûõ ó÷àñòêàõ çàçîðîâ) (ðèñ. 3) âûãëÿäÿò íàðóøåíèåì
ýòîé ñòðóêòóðû.
Ïðè ñîçäàíèè àâòîìàòè÷åñêèõ ñèñòåì äåôåêòîñ-
êîïè÷åñêîãî êîíòðîëÿ êà÷åñòâà ìàòåðèàëîâ è ïî-
âåðõíîñòåé ñòàëêèâàþòñÿ ñ äâóìÿ çàäà÷àìè, õàðàê-
òåðíûìè äëÿ òàêîãî êëàññà èçîáðàæåíèé, � ñ ðàñ-
ïîçíàâàíèåì òèïà òåêñòóðíî-îäíîðîäíûõ îáëàñòåé è
ðàñïîçíàâàíèåì îáúåêòà íà ôîíå òåêñòóðû.
Ïðè ðàñïîçíàâàíèè òåêñòóð íà èçîáðàæåíèè
ïðîâîäÿò ñåãìåíòàöèþ èçîáðàæåíèÿ ïî òåêñòóðíûì
ïðèçíàêàì, ðàñïîçíàâàíèå è êëàññèôèêàöèþ òåêñòóð
â òåêñòóðíî-îäíîðîäíîì ôðàãìåíòå. Äëÿ ðàñïîçíà-
âàíèÿ è êëàññèôèêàöèè òåêñòóð â òåêñòóðíî-îäíî-
ðîäíûõ îáëàñòÿõ àâòîðàìè èñïîëüçîâàëèñü ãåîìåò-
ðè÷åñêèå ìîìåíòû-ïðèçíàêè (ÃÌÏ) ýíåðãåòè÷åñêî-
ãî ñïåêòðà òåêñòóðíîãî èçîáðàæåíèÿ [4] è ïðåäóñ-
ìîòðåíû ñëåäóþùèå îïåðàöèè: 1) âû÷èñëåíèå ýíåð-
ãåòè÷åñêîãî ñïåêòðà òåêñòóðíî-îäíîðîäíîé îáëàñòè
èçîáðàæåíèÿ; 2) âûäåëåíèå, ïðîñëåæèâàíèå è àíà-
ëèç êîíòóðîâ íà äâóõìåðíîì ýíåðãåòè÷åñêîì ñïåêò-
ðå (ïðè ýòîì â îáùåì ñëó÷àå áóäåò íàáëþäàòüñÿ
ìíîãîñâÿçíàÿ îáëàñòü èëè íåñêîëüêî îáëàñòåé);
3) îïðåäåëåíèå ÃÌÏ êàæäîãî èç èññëåäóåìûõ êîí-
òóðîâ; 4) âûäåëåíèå íàèáîëåå èíôîðìàòèâíûõ ïðè-
çíàêîâ, ìèíèìèçàöèÿ è îðòîãîíàëèçàöèÿ ïðèçíàêî-
âîãî ïðîñòðàíñòâà; 5) êëàññèôèêàöèÿ.
Ïðè êëàññèôèêàöèè â êà÷åñòâå ýòàëîíîâ èñïîëü-
çîâàëèñü óñðåäíåííûå ýíåðãåòè÷åñêèå ñïåêòðû ðàñ-
ïîçíàâàåìûõ êëàññîâ òåêñòóð. Öåíòð òÿæåñòè è íîð-
ìèðîâî÷íûé ìíîæèòåëü ðàññ÷èòûâàëèñü ïî âíåøíå-
ìó êîíòóðó ýíåðãåòè÷åñêîãî ñïåêòðà.  íåêîòîðûõ
ñëó÷àÿõ îêàçàëîñü öåëåñîîáðàçíûì èñïîëüçîâàòü è
ïðèçíàêè äðóãîãî òèïà, ó÷èòûâàþùèå âçàèìíîå ïî-
ëîæåíèå èçîëèðîâàííûõ îáëàñòåé ýíåðãåòè÷åñêîãî
ñïåêòðà.
Ïðè ðàñïîçíàâàíèè îáúåêòà â òåêñòóðíî-îäíî-
ðîäíîé îáëàñòè èçîáðàæåíèÿ äîïóñêàþò, ÷òî òåêñòó-
ðà â êàêîé-òî îáëàñòè èçîáðàæåíèÿ îäíîðîäíà è
èìååòñÿ óñðåäíåííûé ýíåðãåòè÷åñêèé ñïåêòð ýòîãî
êëàññà òåêñòóð. Àâòîðàìè ïðåäëîæåí ñëåäóþùèé
àëãîðèòì ðàñïîçíàâàíèÿ îáúåêòà íà ôîíå òåêñòóðû:
1) ïðîèçâîäèòñÿ ñåãìåíòàöèÿ èçîáðàæåíèÿ íà òåê-
ñòóðíî-îäíîðîäíûå îáëàñòè; 2) â òåêñòóðíî-îäíî-
ðîäíûõ îáëàñòÿõ ïðîèçâîäèòñÿ ðàñïîçíàâàíèå òåê-
ñòóð ïî àëãîðèòìó, îïèñàííîìó âûøå; ñïåêòðàëüíàÿ
ïëîòíîñòü îáðàáàòûâàåìîãî ôðàãìåíòà çàïîìèíàåò-
ñÿ; 3) ñïåêòðàëüíàÿ ïëîòíîñòü îáðàáàòûâàåìîãî
ôðàãìåíòà äåëèòñÿ ïîýëåìåíòíî íà óñðåäíåííûé
ýíåðãåòè÷åñêèé ñïåêòð äàííîãî êëàññà òåêñòóð;
4) âû÷èñëÿåòñÿ îáðàòíîå ïðåîáðàçîâàíèå ðåçóëüòà-
òà äåëåíèÿ, ò. å. ìû âîçâðàùàåìñÿ â èñõîäíóþ ïðî-
ñòðàíñòâåííóþ îáëàñòü (âëèÿíèå òåêñòóðû íà ðå-
çóëüòàòû ðàñïîçíàâàíèÿ îáúåêòîâ ïðè ýòîì ñíèæà-
åòñÿ); 5) ïðîèçâîäèòñÿ îáíàðóæåíèå è ðàñïîçíàâà-
íèå îáúåêòà â îáðàáàòûâàåìîì ôðàãìåíòå íà áàçå
àëãîðèòìà, îïèñàííîãî â ðàáîòàõ [4, 5].
Ïðè âû÷èñëåíèè ãåîìåòðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê
îáúåêòîâ è òåêñòóð áûë èñïîëüçîâàí ðàçðàáîòàí-
íûé àâòîðàìè ìåòîä, èñïîëüçóþùèé òîëüêî èíôîð-
ìàöèþ î òî÷êàõ íàèáîëüøåé êðèâèçíû, ò. å. òàê íà-
çûâàåìûõ �õàðàêòåðíûõ òî÷êàõ� (ÕÒ) [4, 5]. Ïðè
îïðåäåëåíèè ÃÌÏ ïî ÕÒ îáû÷íîå èíòåãðèðîâàíèå
òåðÿåò ñìûñë, è â äàííîé ðàáîòå äëÿ âû÷èñëåíèÿ
ìîìåíòîâ ïðåäëàãàåòñÿ èñïîëüçîâàòü èíòåãðèðîâà-
íèå ïî Ëåáåãó. Âûðàæåíèå äëÿ âû÷èñëåíèÿ ÃÌÏ
ïðè ýòîì ïðèíèìàåò âèä
( ) ( )µ ρ ρ ϕ ψp
p
A
Q X A= ∩∫∫ , ,
( )Q i i
i
ρ ϕ
ρ ρ ϕ ϕ
ρ ρ
,
, , ;
, ,
=
= =
≠
1
0
ãäå i =1,...,J; J � ÷èñëî ÕÒ êîíòóðà îáúåêòà.
Ðèñ. 1
Ðèñ. 2
Ðèñ. 3
ìíîæåñòâî äåéñòâèòåëüíûõ ÷èñåë;
ðàäèóñ-âåêòîðû ÕÒ;
ïîðÿäîê ÃÌÏ;
ìíîæåñòâî õàðàêòåðíûõ òî÷åê êîíòóðà;
ôàçà ÕÒ;
ìåðà íà ìíîæåñòâå äåéñòâèòåëüíûõ ÷èñåë;
ïîäìíîæåñòâî äåéñòâèòåëüíûõ ÷èñåë x(ρ,ϕ)
êîîðäèíàò õàðàêòåðíûõ òî÷åê êîíòóðà ôèãóðû
â ïîëÿðíîé ñèñòåìå êîîðäèíàò.
ãäå À �
ρ �
p �
Q �
ϕ �
ψ �
Õ �
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 5�6 47
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Òàêèì îáðàçîì, â äèñêðåòíîì âèäå
( )[ ]µ ρ ψ ρ ϕp i
p
i i
i
p
x A=
=
∑ , .I
1
Ìåðîé Ëåáåãà â ïîëÿðíîé ñèñòåìå êîîðäèíàò
ÿâëÿåòñÿ ïëîùàäü òðåóãîëüíèêà
( )S i i i i∆ = −+ +
1
2 1 1ρ ρ ϕ ϕsin .
Âûðàæåíèå äëÿ âû÷èñëåíèÿ ìîìåíòîâ ïðè ýòîì
ïðèíèìàåò âèä
( ) ( )µ ρp i
p
i
i
J
= +
=
∑ * sin2
0
∆ϕ , (1)
Ýòî âûðàæåíèå áåðåòñÿ ïî ìîäóëþ, ò. ê. íàïðàâ-
ëåíèå îáõîäà ÕÒ êîíòóðà îïðåäåëÿåò çíàê ÃÌÏ, íî
íå èíòåðåñóþùåå íàñ àáñîëþòíîå çíà÷åíèå. Âûðàæå-
íèå, îäíàêî, íå îáëàäàåò èíâàðèàíòíîñòüþ ê ìàñøòàáó,
â ñâÿçè ñ ÷åì íåîáõîäèìî ïðîèçâåñòè íîðìèðîâêó
ðàäèóñ-âåêòîðîâ. Ìàøèííûé ýêñïåðèìåíò ïîêàçàë, ÷òî
íàèáîëüøåé ïîìåõîóñòîé÷èâîñòüþ îáëàäàåò ðàñ÷åò-
íàÿ ïëîùàäü ôèãóðû S. Ïîýòîìó äëÿ íîðìèðîâêè
ïðåäëàãàåòñÿ èñïîëüçîâàòü êîýôôèöèåíò
ρ
πíîðì = S
2
.
Çíà÷åíèå ρíîðì ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíî ìàñøòà-
áó ôèãóðû è, ñëåäîâàòåëüíî, ïðèãîäíî äëÿ íîðìè-
ðîâêè. Òîãäà âûðàæåíèå (1) ìîæíî ïðåîáðàçîâàòü
ê âèäó
( ) ( )Cp i
p
i
i
J
i i
=
=
+
=
∑ ρ
ρ ρ ρ
0
2
0
0
*
* *
íîðì
sin ,
/ .
∆ϕ
(2)
 ñëó÷àå åñëè ∆ϕi äîñòàòî÷íî ìàëî, ò. å. õàðàê-
òåðíûõ òî÷åê äîñòàòî÷íî ìíîãî, ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî
sin(∆ϕi)≈∆ϕi. Òîãäà âûðàæåíèå (2) ïðèíèìàåò âèä
( )Cp i
p
i
i
J
= +
=
∑ ρ 0
2
0
* .∆ϕ
Èìåííî çíà÷åíèÿ Cp è ïðåäëàãàåòñÿ èñïîëüçî-
âàòü êàê âåêòîð ïðèçíàêîâ.
Êîëè÷åñòâî îáðàáàòûâàåìûõ õàðàêòåðíûõ òî÷åê
íå ìåíåå ÷åì íà ïîðÿäîê ìåíüøå êîëè÷åñòâà òî÷åê
êîíòóðà.
Óìåíüøåíèå îáúåìà îáðàáàòûâàåìîé èíôîðìàöèè
îïðåäåëÿåò âûñîêóþ âû÷èñëèòåëüíóþ ýôôåêòèâíîñòü
ïðîöåäóðû ðàñ÷åòà ïðèçíàêîâ ôîðìû. Íàáîð ïðè-
çíàêîâ èíâàðèàíòåí ê ìàñøòàáó, ïîâîðîòó è ñäâèãó
îáúåêòà â ïîëå çðåíèÿ. Èíòåãðàëüíûé õàðàêòåð ÃÌÏ
îïðåäåëÿåò âûñîêóþ ïîìåõîóñòîé÷èâîñòü ìåòîäà.
Ñãëàæèâàþùèå ñâîéñòâà ÃÌÏ îïðåäåëÿþò ïîìåõî-
óñòîé÷èâîñòü ðàçðàáîòàííûõ ìåòîäîâ ðàñïîçíàâàíèÿ,
îäíàêî îãðàíè÷èâàþò îáëàñòü èõ ïðèìåíåíèÿ. Ïðî-
èñõîäèò ñãëàæèâàíèå ìàëîðàçìåðíûõ (1�2 ïèêñå-
ëÿ) äåòàëåé îáúåêòîâ. Ïîýòîìó äëÿ çàäà÷, â êîòî-
ðûõ òàêèå äåòàëè ÿâëÿþòñÿ îòëè÷èòåëüíûìè ïðè-
çíàêàìè, ðàçðàáîòàííûå ìåòîäû íåïðèãîäíû.
Íà áàçå ïðåäñòàâëåííîãî ìåòîäà ðàçðàáîòàíà àâ-
òîìàòèçèðîâàííàÿ ñèñòåìà îáðàáîòêè äàííûõ âèçó-
àëüíîãî äåôåêòîñêîïè÷åñêîãî êîíòðîëÿ ìàòåðèàëîâ
ýëåêòðîííîé òåõíèêè. Âûñîêàÿ ïîìåõîóñòîé÷èâîñòü
ìåòîäà ïîçâîëÿåò çíà÷èòåëüíî ñíèçèòü òðåáîâàíèÿ
ê îñâåòèòåëüíî-ôîêóñèðóþùåé àïïàðàòóðå è ê òåëå-
âèçèîííûì äàò÷èêàì, ÷òî çíà÷èòåëüíî ñíèæàåò ñòî-
èìîñòü òàêîé ñèñòåìû. Ñòåïåíü ñæàòèÿ îáðàáàòûâà-
åìûõ äàííûõ áëèçêà ê ïîòåíöèàëüíî âîçìîæíîìó
áàðüåðó, ÷òî îïðåäåëÿåò âû÷èñëèòåëüíóþ ýôôåêòèâ-
íîñòü ñèñòåìû.
Ïðåäëîæåííûé ìåòîä ìîæíî ðåêîìåíäîâàòü äëÿ
øèðîêîãî êðóãà çàäà÷, â êîòîðûõ ïðîèçâîäèòñÿ îá-
ðàáîòêà áîëüøîãî îáúåìà äàííûõ âèçóàëüíîãî êîí-
òðîëÿ ìàòåðèàëîâ ýëåêòðîííîé òåõíèêè â ðåàëüíîì
ìàñøòàáå âðåìåíè èëè îáðàáîòêà è ðàñïîçíàâàíèå
òðåõìåðíûõ èçîáðàæåíèé. Ðàçðàáîòàííàÿ àâòîìàòè-
çèðîâàííàÿ ñèñòåìà âèçóàëüíîãî äåôåêòîñêîïè÷åñ-
êîãî êîíòðîëÿ ïîêàçàëà ñâîþ âûñîêóþ ýôôåêòèâ-
íîñòü â çàäà÷àõ ðàñïîçíàâàíèÿ îáúåêòîâ íà îäíî-
ðîäíîì è òåêñòóðèðîâàííîì ôîíå, à òàêæå ïðè ðàñ-
ïîçíàâàíèè òåêñòóð ïî ôîðìå èõ ýíåðãåòè÷åñêîãî
ñïåêòðà.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Âèíèöêèé È. Ì., Ðóäü Á. Ì., Òåëüíèêîâ Å. ß.
Ñâîéñòâà òîëñòûõ ðåçèñòèâíûõ ïëåíîê íà îñíîâå Ba6B�
LaB6 // Ýëåêòðîííàÿ ïðîìûøëåííîñòü.� 1987.� ¹ 6.�
Ñ. 5�13.
2. Ðóìÿíöåâà Ñ. Í., Äóäàðåâ À. Ò., Ùåêî÷èõèí
Þ. Ì. Ìîëåêóëÿðíî-ïó÷êîâàÿ ýïèòàêñèÿ òåëëóðèäà êàä-
ìèÿ íà àðñåíèäå ãàëëèÿ // Ýëåêòðîííàÿ ïðîìûøëåí-
íîñòü.� 1989.� ¹ 8.� Ñ. 14�18.
3. Ñìîëÿíèöêèé È. ß., Ãóçü È. Â., Îãóðöîâ À. È.
Ôîðìèðîâàíèå ðåçèñòèâíîé ìàñêè ñ ïðîåêòíûìè íîð-
ìàìè 0,8...0,5 ìêì â ïðîöåññå ïðÿìîé ýëåêòðîíîëèòî-
ãðàôèè // Ýëåêòðîííàÿ ïðîìûøëåííîñòü.� 1989.�
¹ 4.� Ñ. 16�18.
4. Êðûëîâ Â. Í., Ìàêñèìîâ Ì. Â. Âòîðè÷íûå ïðåîá-
ðàçîâàòåëè ñèãíàëîâ èçîáðàæåíèé.� Îäåññà: Àñòðî-
ïðèíò, 1997.
5. Êðûëîâ Â. Í., Àíòîùóê Ñ. Ã. Îáíàðóæåíèå è ðàñ-
ïîçíàâàíèå îðèåíòèðîâ ïðè îáðàáîòêå àýðîêîñìè÷åñêèõ
äàííûõ â ñèñòåìàõ ýêîëîãè÷åñêîãî ìîíèòîðèíãà âîäíîé
ïîâåðõíîñòè // Òð. Îäåñ. ïîëèòåõí. óí-òà. Îäåññà,
1997.� Âûï. 2.� Ñ. 124�127.
ãäå ρ ρ ρi i i
* = +1 �
∆ϕi=ϕi+1�ϕi �
ñðåäíåå ãåîìåòðè÷åñêîå ðàäèóñ-âåê-
òîðîâ;
ðàçíîñòü ôàç ìåæäó i-é è (i+1)-é
ÕÒ.
|