Полевые эмиссионные катоды на основе пористого анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок - Соловей, Д.В.; Горох, Г.Г.; Сахарук, В.Н. (Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2011)
Разработан технологический процесс формирования массивов полевых эмиссионных катодов с заданными диаметрами и шагом расположения на основе пористых матриц анодного оксида алюминия и углеродных нанотрубок. Форма полевых эмиссионных катодов задавалась с помощью фотолитографии, выполненной по поверхности анодного оксида алюминия, и представляла собой набор колонн цилиндрической формы с диаметрами от 10 до 50 мкм, расположенных с шагом 100 и 160 мкм и имеющих высоту 2 мкм. При синтезе углеродные нанотрубки располагались в порах и на поверхности областей из оксида алюминия; при этом нанотрубки, находившиеся на поверхности пористого оксида, имели многостенную структуру, а нанотрубки, расположенные непосредственно в порах, использовали для своего образования элементы, входящие в состав оксида, вероятно, с получением карбидных соединений. Исследования автоэмиссионных свойств показали, что эмиссия электронов из полученных структур равномерна по поверхности массивов, протекает в соответствии с теорией Фаулера—Нордгейма, а разработанная конструкция позволяет полностью устранить эффект экранирования, вызванного близким расположением нанотрубок, синтезированных в пористой матрице оксида алюминия.