Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки. Представлены результаты по оптимизации пар...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2008
|
| Series: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76179 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени / А.В. Костановский, Л.А. Жиляков, А.А. Пронкин, А.В. Кириллин // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 3. — С. 911—917. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |