Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al
Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al, виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією (002), а також зниженн...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Schriftenreihe: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76546 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al / С.Л. Хрипко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 833-841. — Бібліогр.: 38 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al,
виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що
плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією
(002), а також зниження рівня кристалічности плівок із збільшенням
концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Діяметер зерен становить близько 21—28 нм. Ширина забороненої зони за даними розрахунків
складає 3,28—3,34 еВ. Оптичне пропускання плівок досить високе; у видимій та інфрачервоній ділянках воно складає 90—96%. |
|---|