Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене - Литовченко, С.В.; Нечипоренко, Е.П.; Чишкала, В.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2001)
Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса.