TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
The results of reactive ion-plasma etching of TiN coatings from a surface of the tool in a beam-plasma system are submitted. The researches were made on the industrial set-up of a type «the Plasma boiler» with a magnetic field of the plug configuration. The electron guns on the basis of magnetron di...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78562 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system / A.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, М. Danziger, S. Phiodorov // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 6. — С. 163-165. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSchreiben Sie den ersten Kommentar!