Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr

Изучено явление тензочувствительности в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr, структурнофазовое состояние которых соответствует ГЦК Cu + ОЦК Cr и твердый раствор (α-Fe, Cr) соответственно, в интервалах продольной деформации от 0 до 1% и от 0 до 2%. Получено, что в области упругой или квазиупругой дефор...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Великодный, Д.В., Проценко, C.И., Проценко, И.Е.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7857
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr / Д.В. Великодный, C.И. Проценко, И.Е. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 37-42. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-7857
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-78572010-04-21T12:01:32Z Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr Великодный, Д.В. Проценко, C.И. Проценко, И.Е. Изучено явление тензочувствительности в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr, структурнофазовое состояние которых соответствует ГЦК Cu + ОЦК Cr и твердый раствор (α-Fe, Cr) соответственно, в интервалах продольной деформации от 0 до 1% и от 0 до 2%. Получено, что в области упругой или квазиупругой деформации коэффициент продольной тензочувствительности (γl) имеет величину порядка единицы, в то время как при пластической деформации – порядка десяти единиц. Вивчено явище тензочутливості в двошарових плівках Cu/Cr і Fe/Cr, структурно-фазовий стан яких відповідає ГЦК Cu + ОЦК Cr і твердому розчину (α-Fe, Cr) відповідно, в інтервалах поздовжньої деформації від 0 до 1% та від 0 до 2%. Встановлено, що у області пружної або квазіпружної деформації коефіцієнт поздовжньої тензочутливості (γl) має величину порядку одиниці, тоді як при пластичній деформації – порядку десяти одиниць. Researches of the size effect in strain coefficient of resistivity of double-layer films Cu/Cr and Fe/Cr with structure-phase station FCC-Cu+BCC-Cr and solid solution (α-Fe, Cr) in range of longitudinal deformation 0 – 1% and 0 – 2%. In range of elastic and quas-ielastic deformation strain coefficient of resistivity γl ~ 1 while under plastic deformation γl ~ 10. 2008 Article Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr / Д.В. Великодный, C.И. Проценко, И.Е. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 37-42. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7857 621.316.8 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	Изучено явление тензочувствительности в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr, структурнофазовое состояние которых соответствует ГЦК Cu + ОЦК Cr и твердый раствор (α-Fe, Cr) соответственно, в интервалах продольной деформации от 0 до 1% и от 0 до 2%. Получено, что в области упругой или квазиупругой деформации коэффициент продольной тензочувствительности (γl) имеет величину порядка единицы, в то время как при пластической деформации – порядка десяти единиц.
format	Article
author	Великодный, Д.В. Проценко, C.И. Проценко, И.Е.
spellingShingle	Великодный, Д.В. Проценко, C.И. Проценко, И.Е. Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
author_facet	Великодный, Д.В. Проценко, C.И. Проценко, И.Е.
author_sort	Великодный, Д.В.
title	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
title_short	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
title_full	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
title_fullStr	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
title_full_unstemmed	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr
title_sort	тензоэффект в двухслойных пленках cu/cr и fe/cr
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2008
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7857
citation_txt	Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr / Д.В. Великодный, C.И. Проценко, И.Е. Проценко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 37-42. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT velikodnyjdv tenzoéffektvdvuhslojnyhplenkahcucrifecr AT procenkoci tenzoéffektvdvuhslojnyhplenkahcucrifecr AT procenkoie tenzoéffektvdvuhslojnyhplenkahcucrifecr
first_indexed	2025-07-02T10:39:29Z
last_indexed	2025-07-02T10:39:29Z
_version_	1836531339391664128
fulltext	ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-2 37 ВВЕДЕНИЕ Большое внимание исследователей к пленоч- ным материалам обусловлено их уникальны- ми механическими, электрическими, опти- ческими и др. свойствами, что дает возмож- ность широко их использовать в качестве чув- ствительных элементов различных сенсоров [1 – 7]. Несмотря на длительное время ис- следования тензорезистивных свойств раз- личных материалов (см., например, [8]), эта проблема по-прежнему остается актуальной, хотя касательно тензочувствительности в области упругой деформации (до 1%) тонких проволок и одно- и многослойных пленок, в том числе и пленочных сплавов, эти исследо- вания имеют характер определенной завер- шенности (см. [9, 10], а также цитируемую в [8] и [11] литературу). Вместе с тем изучения тензорезистивних, механических и других свойств в области неупругой деформации ос- таются актуальными к настоящему времени. Узловыми здесь остаются вопросы, связан- ные с механизмами пластической деформа- ции, влиянием дисперсности пленок на меха- нические и электрофизические свойства, ро- ли диффузионных процессов и фазообразова- ния в этих явлениях. Анализ процитированных нами работ ука- зывает на то, что в них основное внимание уделяется взаимосвязи между механически- ми свойствами и структурным состоянием образца. Это обстоятельство и предопредели- ло цель наших исследований тензорезистив- ных свойств двухслойных пленок на основе Cu и Cr (они удовлетворяют условию двух- слойности или “бипластины”) и Fe и Cr (в них образуется твердый раствор на основе ОЦК Fe) в области продольной деформации ε l = 0 – 2%. Этот интервал ε l включает в себя упругую, квазиупругую и пластическую де- формации. МЕТОДИКА И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Методика получения образцов и исследова- ния тензорезистивных свойств состоит в сле- дующем. Двухслойные пленки общей толщи- ны до 100 нм получались методом термичес- кого испарения в установке ВУП-5М (рабо- чий вакуум 10–3– 10–4 Па) на полистироловых подложках. Низкоомные контакты (сопротив- ления ∼1 Ом) формировались в виде ступень- ки на основе пленок Cr и Cu по методике, описанной в [11]. В процессе получения и обработки резуль- татов использовался по сравнению с [11] качественно новый уровень эксперимента с использованием современных технологий автоматизации научных исследований (более подробно см. [12]). Основу автоматизирован- ной системы составляет 8-канальный 16- битный сигма-дельта АЦП ADAM-4018, с помощью которого по четырехточечной схе- ме измерялось сопротивление образцов, пре- образователь интерфейсов USB → RS 232/ 422/485 ADAM-4561, асинхронный двигатель типа Д-219П1УЗ и web-камера Creative Labs с разрешающей способностью 640×480 пик- селей. Управление автоматизированным ком- плексом осуществлялось с компьютера под управлением программы, разработанной в среде LabVIEW, с использованием модуля УДК 621.316.8 ТЕНЗОЭФФЕКТ В ДВУХСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ Cu/Cr и Fe/Cr Д.В. Великодный, C.И. Проценко, И.Е. Проценко Сумский государственный университет Украина Поступила в редакцию 09.06.2008 Изучено явление тензочувствительности в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr, структурно- фазовое состояние которых соответствует ГЦК Cu + ОЦК Cr и твердый раствор (α-Fe, Cr) со- ответственно, в интервалах продольной деформации от 0 до 1% и от 0 до 2%. Получено, что в области упругой или квазиупругой деформации коэффициент продольной тензочувствитель- ности (γ l ) имеет величину порядка единицы, в то время как при пластической деформации – порядка десяти единиц. ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-238 машинного зрения LabVIEW Vision Develop- ment Module 8.2. Подложка с системой контактов и образ- цом одним концом фиксировалась консольно, а с другого – крепилась до штока микровинта (цена деления – 0,02 мм), который через ре- дуктор присоединяется к электродвигателю, вращающемуся в противоположных направ- лениях, в зависимости от управляющих сиг- налов с релейного модуля ADAM-4068. Web- камера размещается возле микровинта и фиксирует его изображение с частотой 10 кад- ров/с. Одновременно с процессом распозна- вания делений микровинта фиксируется так- же сопротивление образца. На рис. 1 представлена структурная схема автоматизированной системы, которая позво- ляет проводить исследования тензоэффекта в динамическом или статическом режиме со скоростью деформации от 0 до 0,1%/с в ин- тервале ε l = 0 – 10%. Режимы работы системы позволяют также изучать ресурс работы пле- ночных образцов как возможных чувствите- льных элементов тензодатчиков. Для точного контроля толщины отдельных слоев нами также была разработана система автоматизированного управления заслонками испарителей и временем конденсации, что позволило получать образцы заданной толщины с точностью ±1 ÷ 2 нм (рис. 2). Систему можно структурно разделить на следующие составные части: систему контро- ля и измерения толщины конденсируемой ме- таллической пленки (включает в себя пласти- ну кварца, на которую конденсируется плен- ка, внешний генератор и частотомер); систе- му обратной связи компьютера с вакуумной установкой; персональный компьютер с соот- ветствующим программным обеспечением, разработанным в среде программирования LabVIEW. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ В работе проведены исследования тензорези- стивного эффекта в однослойных пленках Cu, Cr, Fe, и двухслойных Cu/Cr/П и Fe/Cr/П Рис. 1. Структурная схема автоматизированной систе- мы исследования тензоэффекта – а) и интерфейс про- граммного обеспечения – б). а) б) а) б) Рис. 2. Структурная схема автоматизированной систе- мы получения тонкопленочных образцов – а) и интер- фейс программного обеспечения – б). ТЕНЗОЭФФЕКТ В ДВУХСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ Cu/Cr и Fe/Cr ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-2 39 (П-подложка) как при статически-динамичес- ких, так и динамических продольных дефор- мациях в интервалах ∆ε l1 = 0 – 1% и ∆ε l2 = 0 – 2% при I – VII циклах „нагрузка-снятие нагрузки”. Образцы, продеформированные в интервале ∆ε l1, затем деформировались в ин- тервале ∆ε l2. С целью стабилизации микро- пластических процессов через интервал ∆ε l = = 0,05% осуществлялась остановка на 10 с. Помимо этого было проведено исследование влияния скорости деформации на величину коэффициента тензочувствительности. С этой целью в некоторых экспериментах де- формационные циклы проводились в дина- мическом режиме с разными скоростями. Ав- томатизированная система позволяла реали- зовать четыре различных скорости дефор- мации. Поскольку тензоэффект целесообразно изучать лишь при условии структурной цело- стности образца, то в процессе эксперимен- та нами осуществлялся контроль структурно- го состояния по методике, описанной в рабо- те [11]. Суть ее состоит в регистрации относи- тельной интенсивности (I) световых лучей, прошедших через систему образец/П, с помо- щью фотоэлемента (измерялось напряжение U ∼ I на p-n-переходе фотодиода). Как было показано в [11], зависимость I от ε l имеет ли- нейный характер в области упругой или ква- зиупругой деформации и претерпевает излом при переходе к пластической деформации. При появлении микротрещин в образцах (они обнаруживаются в растровом или атомно-си- ловом микроскопе) зависимость отклоняется от линейной. Кроме этого, как будет показано ниже, изменение электрического сопротивле- ния (R) и значения мгновенного коэффициен- та продольной тензочувствительности i i i м R R l l ε∆ ∆⋅=γ 1 (i – номер интервала ∆ε l ) в зави- симости от ε l коррелируют с типом дефор- мации. На рис. 3 представлены примеры дефор- мационных зависимостей R, ∆R/Rн и U для двух интервалов ∆ε l (индексом “н” обозна- чается начальное значение R и U). Линейный характер зависимости R и ∆R/Rн от εl в интервале до 1% для II – VII де- формационных циклов можно объяснить уп- ругой (до ε l – 0,25%) или квазиупругой (в ин- тервале ε l = 0,25 – 0,90%) деформацией плен- ки Cr. Резкое отличие I деформационного цикла от остальных мы объясняем протека- нием различных релаксационных процессов (частичный разворот зерен, микропластиче- ская деформация, перераспределение и дви- жение дефектов кристаллического строения и инородных атомов и т.п.). При увеличении продольной деформации до 2% (рис. 3б) мы переходим в область пластической деформа- ции, о чем можно судить по нелинейной зави- симости R и ∆R/Rн от εl . Вместе с тем отмеча- ем, что зависимости U и ∆U/Uн от εl имеют линейный характер, что говорит о сохране- нии структурной целостности пленки (диф- ференциальная зависимость ∆Ui/Ui от ε li имеет вид горизонтальной линии, что также подтверждает вывод об отсутствии микро- и макротрещин в пленочном образце). Увели- чение интенсивности прошедших через сис- тему пленка/П лучей при росте деформации можно объяснить исходя из данных работы [9], в которой методом электронной микро- скопии был изучен механизм продольной деформации до 5% химически осажденных пленок Al толщиной 2 мкм и средним разме- ром зерен от 1,1 (сразу после осаждения) до 2,3 мкм (после отжига до 720 К). Авторами [9] было установлено, исходя из диаграмм на- пряжение-деформация, что механические свойства массивных и пленочных образцов существенно отличаются. Так при граничном значении упругой деформации пленок Al ε l – 0,15% имеет место высокая граница теку- чести – 92 – 125 МПа в пленках при 10 МПа в массивных образцах. Кроме этого в пленках наблюдается низкая пластичность. Эти ре- зультаты объясняются локальным уменьше- нием толщины отдельных зерен и их границ в результате перемещения дислокаций в объем зерен. В нашем случае дополнительное пропускание световых лучей связано также с утонением полистироловой подложки, о чем свидетельствуют полученные нами ре- зультаты при деформации подложки без пле- ночного образца. В случае однослойных пленок Cr получе- ны аналогичные для пленок Cu результаты, которые также согласуются с данными рабо- ты [11]. Как в пленках Cu, так и в пленках Cr Д.В. ВЕЛИКОДНЫЙ, C.И. ПРОЦЕНКО, И.Е. ПРОЦЕНКО ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-240 граница перехода от упругой (квазиупругой) до пластической деформации уменьшается при увеличении толщины (например, при толщинах пленки Cr d – 35 и 75 нм граничное значение ε l соответственно равно 0,6 и 0,4%). На рис. 4 и 5 приведены примеры различ- ных деформационных зависимостей для двухслойных пленок Cu/Cr/П и Fe/Cr/П. Из данных, приведенных на рис. 4, видно, что при большом количестве деформацион- ных циклов наступает своеобразная стабили- зация микродеформационных процессов (эф- фект неупругости поликристаллов [13]), что позволяет указать на некоторую аналогию с термостабилизацией резистивных свойств пленочных материалов. Зависимости ∆R/Rн, полученные при VIII – XI деформационных циклах (рис. 4а) при различных скоростях деформации (1% при τд= 140, 67, 30 и 20 с, соответственно), позволяют сделать вывод о слабой зависимости l γ от скорости деформа- ции: l γ –2,30 при τд= 140 с и 2,50 при τд= 20 с. Значительно большее отличие имеет место при переходе от упругой к пластичес- кой деформации (рис. 4а, б). В тоже время близость величин γ lм и l γ , подобный характер зависи-мостей ∆R/Rн и γ lм для пленочной сис- темы Fe/Cr/П (рис. 5) позволяет утверждать, что в этом случае пластическая деформация имеет место начиная с ε l – 0,4. Косвенным подтверждением этого могут служить отно- сительно большие темпы увеличения сопро- тивления при деформации. ВЫВОДЫ Проведенные исследования позволяют сде- лать вывод о возможности использования пленочных систем на основе Cu и Cr или Fe и Cr в качестве чувствительных элементов тензодатчиков. Если сравнивать величину γ l указанных пленочных систем и различных пленочных материалов, которые предлагают- ся авторами [2, 6, 14 – 17] как чувствительные элементы тензодатчиков, то в отдельных слу- чаях двухслойные пленки Cu/Cr и Fe/Cr име- ют преимущество с точки зрения величины а) б) в) г) Рис. 3. Деформационная зависимость относительного изменения сопротивления – а) и сопротивления – б), от- носительного изменения напряжения – в) и напряжения на p-n-переходе фотодиода – г) для пленки Cr(30,6)/П. В скобках указана толщина в нм. I – VII – номера деформационных циклов. ТЕНЗОЭФФЕКТ В ДВУХСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ Cu/Cr и Fe/Cr ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-2 41 а) б) в) г) Рис. 4. Зависимость R, ∆R/Rн и γ lмот ε l для пленочных систем Cu(20)/Cr(14)/П (а, б); Cu(20)/Cr(30)/П. l γ – среднее значение коэффициента продольной тензочувствительности. а) б) l γ . Так в пленках оксинитридов Ta, которые рассматриваются [14] в качестве высокотем- пературных датчиков, l γ – 3,0 – 3,5 единиц; в алмазных поликристаллических пленках [15] l γ – 40 – 50 единиц; в пленках TaNx (x = 0,04 – 0,20) l γ изменяется от 3,4 (x – 0,04) до 6 (x – 0,12) единиц, а при отжиге пленки TaN0,08 от 870 до 1270 К l γ умeньшается от 4,25 до 4,05 единиц [16]; в нанокристаличес- ких пленках Si l γ = 10 – 25 (p-тип) и l γ = –(10 – 20) единиц (n-тип) [17], что, до некоторой степени, соответствует нашим данным, по- лученным в области упругой деформации. Работа выполнена в рамках украинско-ин- дийского совместного научно-технического проекта Сумского государственного универ- Рис. 5. Зависимость R, ∆R/Rн и γ lм от εl для пленочной системы Fe(21)/Cr(31)/П. Д.В. ВЕЛИКОДНЫЙ, C.И. ПРОЦЕНКО, И.Е. ПРОЦЕНКО ФІП ФИП PSE, 2008, т. 6, № 1-2, vol. 6, No. 1-242 ситета и Университета Барода (г. Вадодара, Индия). ЛИТЕРАТУРА 1. Treutler C.P.O. Magnetic sensors for automotive applications//Sens. Actuators A.– 2001.– Vol. 91. – P. 2-6. 2. Rieger G., Ludwig K., Hauch J., Clemens W. GMR Sensors for contactless position detection //Sens. Actuators A. – 2001.– Vol. 91. – P. 7-11. 3. Giebeler C., Adelerhof D.J., Kuiper A.E.T., Van Zon J.B.A. et al. Robust GMR Sensors for angle detection and rotation speed sensing//Sens. Actuators A. – 2001. – Vol. 91.– P. 16-20. 4. Duenas T., Sehrbrock A., Lohndorf M. et al. Mic- rosensor coupling magnetostriction and magne- toresistive phenomena//J. Magn. Magn. Mater.– 2002. – № 242-245. – P. 1132-1135. 5. Rife J.C., Miller M.M., Sheehan P.E., Tamana- ha C.R. et al. Design and performance of GMR sensor for the detection of magnetic microbeads in biosensors // Sens. Actuators A. – 2003. – Vol. 107. – P. 209-218. 6. Dokupil S., Bootsmann M.-T., Stein S., Lohn- dorf M. et al. Positive/negative magnetostrictive GMR trilayer systems as strain gauges//J. Magn. Mater.– 2005.– № 290-291.– P. 795-799. 7. Amor A.V., Budde T., Gatzen H.H. A magneto- elastic microtransformer – based misrostrain gauge//Sens. Actuators A. – 2006. – Vol. 129. – P. 41-44. 8. Однодворець Л.В., Проценко С.І., Чорно- ус А.М., Проценко І.Ю. Ефект тензочутливос- ті в металевих плівкових матеріалах//Успехи физ. мет. – 2007. – Том 8, № 2. – С. 109-156. 9. Lee H.-J., Zhang P., Bravman J.C. Tensile failure by grain thinnihg in micromachined aluminum thin films//J. Appl. Phys.– 2003.– Vol. 93, № 3.– P. 1443-1451. 10. Lacour S.P., Wagner S., Huang Z., Suo Z. Stretc- hable gold conductors on elastomeric substrates //Appl. Phys. Lett. – 2003. – Vol. 82, № 15. – P. 2404-2406. 11. Забіла Є.О., Проценко І.Ю. Методика вив- чення тензорезистивних властивостей плівок хрому при відносно малих і великих деформа- ціях//УФЖ.– 2005.– Том 50, № 7.– С. 729-736. 12. Великодный Д.В., Проценко С.И. Автоматиза- ция процесса исследования тензорезистив- ных свойств тонкопленочных материалов// Материалы 2-й междунар. науч. конф. “Сов- ременные информационные системы. Проб- лемы и тенденции развития”.– Харьков-Туа- псе. – 2007. – С. 164-165. 13. Машинский Э.И., Тушинский Л.И., Потеря- ев Ю.П. Эффект неупругости поликристаллов в диапазоне малых деформаций//Приборы и системы управления. – 1984. – № 9. – С. 103-107. 14. Ayerdi I., Castano E., Garcia-Alonso A., Gra- cia F.J. Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges// Sens. Actuators A. – 1995. – Vol. 46-47. – P. 218-221. 15. Yamamoto A., Tsutsumoto T. Piezoresistive ef- fect of CDV polycrystalline diamond films//Dia- mond Relat. Mater.– 2004.–Vol. 13.– P. 863-866. 16. Chung G.-S. Characteristics of tantalum nitride thin film strain gauges for harsh environments// Sens. Actuators A.–2007.– Vol. 135.– P. 355-359. 17. Alpuim P., Andrade M., Sencadas V., Ribeiro M. et al. Piezoresistive properties of nanacrystalline silicon thin films deposited on plastic substrates by hot-wire chemical vapor deposition//Thin Solid Films.– 2007.– Vol. 515.– P. 7658-7661. ТЕНЗОЕФЕКТ У ДВОШАРОВИХ ПЛІВКАХ Cu/Cr І Fe/Cr Д.В. Великодний, C.І. Проценко, І.Ю. Проценко Вивчено явище тензочутливості в двошарових плівках Cu/Cr і Fe/Cr, структурно-фазовий стан яких відповідає ГЦК Cu + ОЦК Cr і твердому роз- чину (α-Fe, Cr) відповідно, в інтервалах поздовж- ньої деформації від 0 до 1% та від 0 до 2%. Вста- новлено, що у області пружної або квазіпружної деформації коефіцієнт поздовжньої тензочутли- вості (γ l ) має величину порядку одиниці, тоді як при пластичній деформації – порядку десяти одиниць. STRAIN SENSITIVITY EFFECT IN DOUBLE-LAYERED Cu/Cr AND Fe/Cr FILMS D.V. Velykodnyi, S.I. Protsenko, I.Yu. Protsenko Researches of the size effect in strain coefficient of resistivity of double-layer films Cu/Cr and Fe/Cr with structure-phase station FCC-Cu+BCC-Cr and solid solution (α-Fe, Cr) in range of longitudinal deformation 0 – 1% and 0 – 2%. In range of elas- tic and quas-ielastic deformation strain coefficient of resistivity γ l ∼ 1 while under plastic deformation γ l ∼ 10. ТЕНЗОЭФФЕКТ В ДВУХСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ Cu/Cr и Fe/Cr

Тензоэффект в двухслойных пленках Cu/Cr и Fe/Cr

Репозитарії

Схожі ресурси