Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм)
Рассмотрены вопросы прецизионного осаждения многослойных периодических покрытий рентгеновских зеркал на подложки различной кривизны с заданным распределением периода покрытия вдоль их поверхности. Предлагается новый подход к созданию объектива Шварцшильда на “углеродное окно” (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) для...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7952 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 69-75. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |