Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм)

Рассмотрены вопросы прецизионного осаждения многослойных периодических покрытий рентгеновских зеркал на подложки различной кривизны с заданным распределением периода покрытия вдоль их поверхности. Предлагается новый подход к созданию объектива Шварцшильда на “углеродное окно” (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) для...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2009
1. Verfasser: Бугаев, Е.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7952
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 69-75. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine