Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr
Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пл...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7962 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr / И.П. Бурык, С.И. Воробьев, Л.В. Однодворец // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 115-118. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пленок Ni/Mo и Ni/Cr и сделан вывод о неполном сохранении индивидуальности отдельных слоев непосредственно после конденсации образцов. Получено, что величина коэффициента тензочувствительности двухслойных пленок лежит в пределах от 3 до 8 единиц, причем при увеличении общей толщины пленки монотонно уменьшается. |
|---|