О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги
Изучено влияние давления аргона, кислорода и азота на скорость конденсации потоков плазмы вакуумной дуги. Для аргона основным процессом, определяющим характер зависимости скорости осаждения от давления газа, является упругое рассеяние частиц металла на атомах газа. Для кислорода наряду с упругим рас...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7972 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 268-272. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Изучено влияние давления аргона, кислорода и азота на скорость конденсации потоков плазмы вакуумной дуги. Для аргона основным процессом, определяющим характер зависимости скорости осаждения от давления газа, является упругое рассеяние частиц металла на атомах газа. Для кислорода наряду с упругим рассеянием на характер данных зависимостей может оказывать химическая сорбция кислорода пленкой титана. При давлении азота 1,5 ÷ 5 Па происходит увеличение скорости осаждения покрытий, существенным образом зависящее от размеров подложки. Повышение скорости осаждения в азоте в области давлений 1,5 ÷ 5 Па может быть связано с появлением в объеме разрядной камеры возбужденных частиц обладающих повышенной рассеивающей способностью. |
|---|