Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the so...
Gespeichert in:
| Datum: | 2005 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79778 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |