Дудин, С. (2009). Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Дудин, С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2009.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Дудин, С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2009.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.