Дудин, С. (2009). Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationДудин, С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2009.
MLA (8th ed.) CitationДудин, С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2009.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.