Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» - Торяник, И.Н.; Грудницкий, В.В.; Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Литовченко, C.В.; Турбин, П.В.; Сердюк, И.В.; Гончаров, И.Ю. (Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка».