Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения - Кунченко, В.В.; Кунченко, Ю.В.; Картмазов, Г.Н.; Неклюдов, И.М.; Мигаль, А.А.; Романов, А.А.; Гладких, Н.Т.; Крышталь, А.П.; Казаринов, Ю.Г. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний.