Исследование процесса совместного осаждения кремний-германиевых сплавов водородным восстановлением хлоридов кремния и германия - Журавлев, А.Ю.; Глушко, П.И.; Капустин, В.Л.; Семенов, Н.А.; Хованский, Н.А.; Шеремет, В.И.; Широков, Б.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Методом совместного газофазного осаждения при пониженном давлении получены плотные поликристаллические конденсаты Si-Ge-сплавов с концентрацией германия 5…30%, предназначенные для использования в качестве материалов для термоэлектрических преобразователей энергии. Исследована кинетика осаждения Si-Ge-сплавов. Присутствие небольших добавок германия интенсифицирует процесс осаждения кремния. Определение концентрации германия проводилось ядерно-физическим методом. Микрорентгеноспектральные исследования равномерности осаждения свидетельствуют о высокой гомогенности полученных сплавов