CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом - Кунченко, В.В.; Андреев, А.А.; Кунченко, Ю.В.; Картмазов, Г.Н. (Вопросы атомной науки и техники, 2004)
CrNх покрытия различной стехиометрии получены методом вакуумно-дугового осаждения. Изучено влияние основных параметров (давление азота PN = 0…0,6 Па, температура подложки ТП = 150….600 °С, её потенциал UП = -15…-120 В) на структурные и механические (микротвёрдость) свойства покрытий. Показано, что фазовый состав определяется давлением азота при конденсации, в то время как UП и ТП оказывают существенное влияние на стехиометрию, уровень плотности дефектов кристаллических решёток фаз (α-Cr, β-Cr2N, CrN), текстуру, микротвёрдость и их изменения вследствие отжигов в вакууме и на воздухе. Установлено, что при определённых сочетаниях условий осаждения (PN, UП, ТП) могут быть получены покрытия с микротвёрдостью от 4…5 до 20…22 ГПа, стабильные в течение длительного (3 года) хранения в нормальных условиях.