Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать источник для применения в различных приложениях. В составе источника в качестве...
Saved in:
Date: | 2006 |
---|---|
Main Authors: | , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
Series: | Вопросы атомной науки и техники |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81279 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 218-221. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |