Структурные превращения в никеле при имплантации ионов N⁺ и постимплантационных отжигах - Неклюдов, И.М.; Морозов, А.Н.; Кулиш, В.Г. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
C использованием методов электронной дифракции, электронной микроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов Не⁺, термодесорбционной спектроскопии проведены исследования структурных превращений в пленках никеля, облученных ионами N⁺. С ростом дозы облучения наблюдался плавный переход ГЦК-структуры никеля в ГПУ-фазу α-Ni₃N с параметрами решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм. Завершение перехода после достижения концентрации имплантированного азота, соответствующей стехиометрическому соотношению Ni₃N, свидетельствует о химической природе наблюдаемого структурного изменения. В процессе нагрева прослеживалось изменение структуры, что позволило наблюдать четыре структуры нитрида никеля: 1) α-Ni₃N с неупорядоченным расположением атомов азота (ГПУ-фаза с параметром решетки а=0.266 нм и с=0.430 нм); 2) β-Ni₃N с упорядоченным расположением атомов азота (две гексагональные решетки с параметрами а=0.266 нм, с=0.430 нм и а=0.466 нм, с=0.43 нм); 3) нитрид никеля Ni₄N, имеющий структуру примитивной кубической решетки с параметром а=0.377 нм; 4) нитрид никеля Ni₈N, имеющий структуру ГЦК с параметром а=0.725 нм