Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий - Пашнев, В.К.; Стрельницкий, В.Е.; Опалев, О.А.; Грицына, В.И.; Выровец, И.И.; Бизюков, Ю.А.; Столбовой, В.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2004)
В ННЦ ХФТИ (г. Харьков) разработан метод активации рабочего газа с помощью тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмаза из газовой фазы. Этот метод обладает рядом преимуществ по сравнению с другими существующими методами: СВЧ-методом, различными типами дуговых разрядов и методом "горячей нити". Тлеющий разряд, стабилизированный магнитным полем, позволяет наносить покрытия на большие поверхности (до 50 см диаметром), получать достаточно высокую скорость роста алмазных покрытий и обладает низким уровнем примесей. Представлены результаты исследований, проведенных на установке с уровнем мощности, вводимой в разряд, около 5 кВт и диаметром подложкодержателя 5 см. Скорость роста алмазного покрытия достигала 3 мкм/ч.